一种半导体制造用机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体制造用机械手臂，包括底座，还包括立杆和安装机构，所述底座顶部安装有立杆，所述立杆动力输出端安装有连接臂，所述立杆通过连接臂安装有安装机构，所述安装机构包括驱动臂、转轴、滑槽、滑块、气缸和安装孔，所述连接臂动力输出端安装有驱动臂，所述驱动臂内部靠近连接臂一侧开设有滑槽，所述连接臂动力输出端安装有与滑槽位置对应的滑块，气缸运行，其动力输出端带动滑块在滑槽内部移动，进而调整驱动臂与连接臂之间位置，使得动作端远离连接臂一侧，随后转轴旋转对驱动臂角度进行翻转即可完成动力执行组件的选择和调整，相较于传统的机械臂，可以灵活的执行不同动作，提高了机械臂的使用灵活性。提高了机械臂的使用灵活性。提高了机械臂的使用灵活性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造用机械手臂


[0001]本技术涉及机械臂
，特别涉及一种半导体制造用机械手臂。

技术介绍

[0002]机械臂是指高精度，多输入多输出、高度非线性、强耦合的复杂系统，因其独特的操作灵活性，已在工业装配、安全防爆等领域得到广泛应用，在半导体制造行业，机械臂也有着广泛的运用，主要用来进行装配和工件的移动作业。
[0003]专利号为CN 207326983 U的专利公布了一种半导体制造用机械手臂，机械手臂连接凹槽可以在连接时直接将机械手臂进行固定连接，同时缓冲垫圈可以在使用时将机械手臂之间的连接进行缓冲减压，操作起来更加的顺畅。
[0004]该一种半导体制造用机械手臂在使用时存在以下弊端：1、传统的机械臂其驱动端只能安装单一的工作组件，其使用不够灵活，只能执行单一种类的作业；2、传统的机械臂且作业半径固定，无法进行调节，不能满足不同情况下的使用需求，为此，我们提出一种半导体制造用机械手臂。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种半导体制造用机械手臂，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种半导体制造用机械手臂，包括底座，还包括立杆和安装机构，所述底座顶部安装有立杆，所述立杆动力输出端安装有连接臂，所述立杆通过连接臂安装有安装机构，所述安装机构包括驱动臂、转轴、滑槽、滑块、气缸和安装孔，所述连接臂动力输出端安装有驱动臂，所述驱动臂内部靠近连接臂一侧开设有滑槽，所述连接臂动力输出端安装有与滑槽位置对应的滑块，所述滑槽内部一端安装有气缸，所述气缸动力输出端与滑块相连接。
[0008]进一步地，还包括调节机构，所述立杆与驱动臂之间安装有调节机构，所述调节机构包括固定臂、调节臂、螺纹槽和螺母，所述立杆动力输出端安装有固定臂，所述固定臂与连接臂之间安装有调节臂，所述调节臂外侧壁两端和固定臂以及连接臂表面一端均开设有螺纹槽，所述螺纹槽之间配合连接有螺母；固定臂与连接臂之间可以直接对接，对接时在连接位置拧入螺母即可将固定臂与连接臂之间连接在一起，此时作业机械臂作业半径较小，当需要增加机械臂作业半径时，将固定臂与连接臂之间拆开，选用合适长度规格的调节臂置于固定臂与连接臂直径，且连接处对齐，顺着表面开设的螺纹槽拧动螺母，使得螺母拧入至调节臂两端的连接处即可完成固定，此时机械臂整体长度增加，作业半径加大，使用灵活，调节方便。
[0009]进一步地，所述连接臂末端安装有转轴，所述连接臂通过转轴与驱动臂相连接；通过转轴可以对驱动臂进行角度的调整。
[0010]进一步地，所述滑块安装至滑槽内部；滑块在滑槽内部滑动可以调整驱动臂与连
接臂之间的位置。
[0011]进一步地，所述驱动臂两端均开设有安装孔；通过驱动臂两端的安装孔可以方便安装不同的执行组件。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：底座的顶部通过立杆连接有驱动臂，驱动臂的两端均开设有安装孔，在实际使用过程中，驱动臂两端可以用来安装不同的动作执行组件，进而使得驱动臂可以执行不同的动作，驱动臂工作端高度较低，需要改变动作组件时，气缸运行，其动力输出端带动滑块在滑槽内部移动，进而调整驱动臂与连接臂之间位置，使得动作端远离连接臂一侧，随后转轴旋转对驱动臂角度进行翻转即可完成动力执行组件的选择和调整，相较于传统的机械臂，可以灵活的执行不同动作，提高了机械臂的使用灵活性；固定臂与连接臂之间可以直接对接，对接时在连接位置拧入螺母即可将固定臂与连接臂之间连接在一起，此时作业机械臂作业半径较小，当需要增加机械臂作业半径时，将固定臂与连接臂之间拆开，选用合适长度规格的调节臂置于固定臂与连接臂直径，且连接处对齐，顺着表面开设的螺纹槽拧动螺母，使得螺母拧入至调节臂两端的连接处即可完成固定，此时机械臂整体长度增加，作业半径加大，使用灵活，调节方便。
附图说明
[0013]图1为本技术一种半导体制造用机械手臂的整体结构示意图。
[0014]图2为本技术一种半导体制造用机械手臂的驱动臂内部结构示意图。
[0015]图3为本技术一种半导体制造用机械手臂的调节机构结构示意图。
[0016]图中：1、底座；2、立杆；201、连接臂；3、安装机构；301、驱动臂；302、转轴；303、滑槽；304、滑块；305、气缸；306、安装孔；4、调节机构；401、固定臂；402、调节臂；403、螺纹槽；404、螺母。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]如图1
‑
3所示，一种半导体制造用机械手臂，包括底座1，还包括立杆2和安装机构3，所述底座1顶部安装有立杆2，所述立杆2动力输出端安装有连接臂201，所述立杆2通过连接臂201安装有安装机构3，所述安装机构3包括驱动臂301、转轴302、滑槽303、滑块304、气缸305和安装孔306，所述连接臂201动力输出端安装有驱动臂301，所述驱动臂301内部靠近连接臂201一侧开设有滑槽303，所述连接臂201动力输出端安装有与滑槽303位置对应的滑块304，所述滑槽303内部一端安装有气缸305，所述气缸305动力输出端与滑块304相连接。
[0019]其中，还包括调节机构4，所述立杆2与驱动臂301之间安装有调节机构4，所述调节机构4包括固定臂401、调节臂402、螺纹槽403和螺母404，所述立杆2动力输出端安装有固定臂401，所述固定臂401与连接臂201之间安装有调节臂402，所述调节臂402外侧壁两端和固定臂401以及连接臂201表面一端均开设有螺纹槽403，所述螺纹槽403之间配合连接有螺母404；固定臂401与连接臂201之间可以直接对接，对接时在连接位置拧入螺母404即可将固定臂401与连接臂201之间连接在一起，此时作业机械臂作业半径较小，当需要增加机械臂作业半径时，将固定臂401与连接臂201之间拆开，选用合适长度规格的调节臂402置于固定
臂401与连接臂201直径，且连接处对齐，顺着表面开设的螺纹槽403拧动螺母404，使得螺母404拧入至调节臂402两端的连接处即可完成固定，此时机械臂整体长度增加，作业半径加大，使用灵活，调节方便。
[0020]其中，所述连接臂201末端安装有转轴302，所述连接臂201通过转轴302与驱动臂301相连接；通过转轴302可以对驱动臂301进行角度的调整。
[0021]其中，所述滑块304安装至滑槽303内部；滑块304在滑槽303内部滑动可以调整驱动臂301与连接臂201之间的位置。
[0022]其中，所述驱动臂301两端均开设有安装孔306；通过驱动臂301两端的安装孔306可以方便安装不同的执行组件。
[0023]需要说明的是，本技术为一种半导体制造用机械手臂，工作时，底座1的顶部通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用机械手臂，包括底座(1)，其特征在于，还包括立杆(2)和安装机构(3)，所述底座(1)顶部安装有立杆(2)，所述立杆(2)动力输出端安装有连接臂(201)，所述立杆(2)通过连接臂(201)安装有安装机构(3)，所述安装机构(3)包括驱动臂(301)、转轴(302)、滑槽(303)、滑块(304)、气缸(305)和安装孔(306)，所述连接臂(201)动力输出端安装有驱动臂(301)，所述驱动臂(301)内部靠近连接臂(201)一侧开设有滑槽(303)，所述连接臂(201)动力输出端安装有与滑槽(303)位置对应的滑块(304)，所述滑槽(303)内部一端安装有气缸(305)，所述气缸(305)动力输出端与滑块(304)相连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用机械手臂，其特征在于：还包括调节机构(4)，所述立杆(2)与驱动臂(301)之间安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宏，
申请(专利权)人：天津星云律动科技有限公司，
类型：新型
国别省市：