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本实用新型公开了一种半导体制造用机械手臂，包括底座，还包括立杆和安装机构，所述底座顶部安装有立杆，所述立杆动力输出端安装有连接臂，所述立杆通过连接臂安装有安装机构，所述安装机构包括驱动臂、转轴、滑槽、滑块、气缸和安装孔，所述连接臂动力输出端...
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