对位设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种对位设备，其包含有一第一载台、一第二载台、及一镜头模块。所述第一载台具有一第一承载面、及自所述第一承载面形成有一观察窗口。所述第一承载面用以供一第一对象置于其上，并使所述第一对象的第一对位标记的位置对应于所述观察窗口。所述第二载台具有一第二承载面，用以供一第二对象置于其上，并使所述第二对象的第二对位标记的位置对应于所述观察窗口。所述第一载台与所述第二载台能通过相对地移动，以使得所述第一对位标记与所述第二对位标记落在所述镜头模块的一景深范围内。据此，所述第一对象与所述第二物件能在间隔较小的相对位置之下完成对位，进而利于准确地实施后续作业。准确地实施后续作业。准确地实施后续作业。

【技术实现步骤摘要】
对位设备


[0001]本技术涉及一种对位设备，尤其涉及一种利于缩小对位误差的对位设备。

技术介绍

[0002]现有对位设备是通过将一读取单元移动至待对位的两个对象之间，据以分别读取待对位的两个所述对象的对位标记，进而实现两个所述对象的对位作业。然而，在现有对位设备的架构之下，两个所述对象之间的分开距离较大，因而不利于在上述对位作业之后，对两个所述对象实施后续的其他作业。
[0003]于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本技术。

技术实现思路

[0004]本技术实施例在于提供一种对位设备及对位方法，其能改善现有对位设备所可能产生的缺陷。
[0005]本技术实施例公开一种对位设备，其包括：一第一载台，具有一第一承载面，并且第一载台自第一承载面沿一预设方向形成有一观察窗口；其中，第一载台的第一承载面用以供一第一对象置于其上，并使第一对象的第一对位标记的位置对应于观察窗口；一第二载台，具有一第二承载面，用以供一第二对象置于其上，并使第二对象的第二对位标记的位置对应于观察窗口；以及一镜头模块，其沿预设方向对应于第一载台的观察窗口设置，并且镜头模块具有一景深范围；其中，第一载台与第二载台能通过相对地移动，以使得第一对位标记与第二对位标记落在镜头模块的景深范围内，以供镜头模块通过观察窗口且沿预设方向进行观察。
[0006]可选地，对位设备进一步包括有一补偿机构，其安装于第一载台与第二载台的至少其中之一；其中，补偿机构能依据镜头模块的观察结果，而对应地调整第一载台与第二载台的相对位置。
[0007]可选地，补偿机构包含有具备不同补偿精度的多组补偿单元。
[0008]可选地，对位设备进一步包括有：一第一腔体，其内部安装有第一载台；一第二腔体，其内部安装有第二载台，并且第一腔体与第二腔体能闭合而共同构成一作业腔室；以及一抽气模块，连通于第一腔体与第二腔体的至少其中之一，用以对作业腔室进行抽气。
[0009]可选地，镜头模块选择性地移动进入第一腔体且沿预设方向面向观察窗口。
[0010]可选地，镜头模块固定于第一腔体的内部且沿预设方向面向观察窗口。
[0011]可选地，第一腔体与第二腔体未设有任何观察窗口。
[0012]可选地，观察窗口包含位于第一载台不同侧且呈镂空状的多个穿孔。
[0013]可选地，观察窗口包含位于第一载台不同侧的多个穿孔，并且观察窗口于每个穿孔内镶嵌有一透明体。
[0014]可选地，镜头模块的景深范围小于100微米。
[0015]综上所述，本技术实施例所公开的对位设备，能通过在所述第一载台形成有所述观察窗口，以使所述镜头模块能通过所述观察窗口来观察位于其所述景深范围内的所述第一对位标记与所述第二对位标记，来令所述第一对象与所述第二对象在间隔较小的相对位置之下完成对位，进而利于所述第一对象与所述第二对象准确地实施后续作业。
[0016]为能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本技术，而非对本技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例一的对位设备的示意图。
[0018]图2为本技术实施例一的对位方法的步骤流程示意图。
[0019]图3为本技术实施例一的对位方法的设置步骤的示意图。
[0020]图4为本技术实施例一的对位方法的调距步骤的示意图。
[0021]图5为本技术实施例一的对位方法的对位步骤的示意图。
[0022]图6为本技术实施例一的对位方法的抽气步骤的示意图。
[0023]图7为本技术实施例一的对位方法的连接步骤的示意图。
[0024]图8为本技术实施例二的对位设备的示意图。
具体实施方式
[0025]以下是通过特定的具体实施例来说明本技术所公开有关“对位设备”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果。本技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。
[0026]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0027]实施例一
[0028]请参阅图1至图7所示，其为本技术的实施例一。如图1和图2所示，本实施例公开一种对位设备100及对位方法S100，并且为了便于理解，所述对位方法S100的实施于本实施例中是以采用所述对位设备100来说明，但本技术不以此为限。举例来说，在本技术未绘示的其他实施例中，所述对位方法S100也可以是采用其他设备来实施。
[0029]如图3至图6所示，所述对位设备100于本实施例中包含一第一腔体1、搭配于所述第一腔体1的一第二腔体2、一抽气模块3、安装于所述第一腔体 1内部的一第一载台4、安装于所述第二腔体2内部的一第二载台5、一镜头模块6、及一补偿机构7，但本技术不以此为限。举例来说，在本技术未绘示的其他实施例中，所述第一腔体1、所述第二腔体2、所述抽气模块 3、及所述补偿机构7可以依据设计需求而省略或以其他构件取代。
[0030]于本实施例中，所述第一腔体1与所述第二腔体2能通过相对地移动，据以闭合而共同构成一作业腔室P(如：图6)。其中，所述第一腔体1与所述第二腔体2较佳是未设有任何观察窗口，据以降低所述第一腔体1与所述第二腔体2的制造成本，但本技术不以此为限。
[0031]再者，所述抽气模块3可以是连通于所述第一腔体1与所述第二腔体2 的至少其中之一(如：所述抽气模块3于本实施例中是安装且连通于所述第一腔体1)，用以对所述作业腔室P进行抽气。于本实施例中，所述作业腔室P 较佳是通过所述抽气模块3进行抽气、直至其达到一预设压力值的一真空环境，并且所述预设压力值例如是小于50托(torr)，但本技术不以此为限。
[0032]所述第一载台4于本实施例中是沿一预设方向D可移动地安装于所述第一腔体1，并且所述第一载台4具有一第一承载面41、及自所述第一承载面41 沿所述预设方向D形成有一观察窗口42。其中，所述第一载台4的所述第一承载面41用以供一第一对象O1置于其上，并使所述第一对象O1的第一对位标记O11的位置对应于所述观察窗口42。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对位设备，其特征在于，所述对位设备包括：一第一载台，具有一第一承载面，并且所述第一载台自所述第一承载面沿一预设方向形成有一观察窗口；其中，所述第一载台的所述第一承载面用以供一第一对象置于其上，并使所述第一对象的第一对位标记的位置对应于所述观察窗口；一第二载台，具有一第二承载面，用以供一第二对象置于其上，并使所述第二对象的第二对位标记的位置对应于所述观察窗口；以及一镜头模块，其沿所述预设方向对应于所述第一载台的所述观察窗口设置，并且所述镜头模块具有一景深范围；其中，所述第一载台与所述第二载台能通过相对地移动，以使得所述第一对位标记与所述第二对位标记落在所述镜头模块的所述景深范围内，以供所述镜头模块通过所述观察窗口且沿所述预设方向进行观察。2.依据权利要求1所述的对位设备，其特征在于，所述对位设备进一步包括有一补偿机构，其安装于所述第一载台与所述第二载台的至少其中之一；其中，所述补偿机构能依据所述镜头模块的观察结果，而对应地调整所述第一载台与所述第二载台的相对位置。3.依据权利要求2所述的对位设备，其特征在于，所述补偿机构包含有具备不同补偿精度的多组补偿单元。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄进昌，吕峻杰，陈士骏，
申请(专利权)人：盟立自动化股份有限公司，
类型：新型
国别省市：