一种兼容输送线及兼容输送系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种兼容输送线及兼容输送系统，包括主线输送线、换向输送线和辅助输送线，主线输送线上形成有容置空间，换向输送线设置于容置空间中，且换向输送线被配置为相对于主线输送线的输送面高度可调，换向输送线和主线输送线的输送方向相互垂直；辅助输送线设置于主线输送线的一侧或者两侧，且辅助输送线的输入端与换向输送线的输出端相对接设置，辅助输送线的输送方向与换向输送线的输送方向相一致。可以实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。片的兼容输送。片的兼容输送。

【技术实现步骤摘要】
一种兼容输送线及兼容输送系统


[0001]本专利技术属于硅片输送领域，具体地说，涉及一种兼容输送线及兼容输送系统。

技术介绍

[0002]随着硅片尺寸的不断丰富多样化以及半片硅片、三分之硅片等多分片的出现，当前对硅片的输送的兼容性要求越来越高，传统的兼容不同尺寸的整片硅片已不能满足现在的兼容需求。
[0003]因此，如何实现各种尺寸的多分片至整片的兼容输送，是目前亟需解决的一个技术问题。

技术实现思路

[0004]针对各种尺寸的多分片至整片的兼容问题，本技术提供了一种兼容输送线及兼容输送系统。
[0005]一方面，本技术提出了一种兼容输送线，兼容输送线包括主线输送线、换向输送线和辅助输送线，主线输送线上形成有容置空间，换向输送线设置于容置空间中，且换向输送线被配置为相对于主线输送线的输送面高度可调，换向输送线和主线输送线的输送方向相互垂直；辅助输送线设置于主线输送线的一侧或者两侧，且辅助输送线的输入端与换向输送线的输出端相对接设置，辅助输送线的输送方向与换向输送线的输送方向相一致；主线输送线包括并行设置的第一主线输送带和第二主线输送带，第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距可调；换向输送线包括至少三条并行设置的换向输送带，至少两条相邻的换向输送带被配置为输送硅片；辅助输送线包括与换向输送带条数相同的辅助输送带，且辅助输送带的输入端与换向输送带的输出端相对接设置，至少两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片。
[0006]通过在主线输送线上设置容置空间，将换向输送线设置于容置空间中，在换向输送线的升降作用向下，实现硅片从主线输送线上向辅助输送线上的换向输送；将第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距设计成可调，可以实现对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送，并行设置至少三条换向输送带和与其数量相同的辅助输送带，可以实现换向时及换向后对各种尺寸的多分片至整片的兼容输送。
[0007]可选的，主线输送线还包括第一侧板和第二侧板，第一侧板的第一端和第二侧板的第一端均设置有主动轮；第一侧板的第二端和第二侧板的第二端均设置有从动轮；第一侧板和第二侧板上均开设有至少三个凹槽，每个凹槽边缘设置有至少一个从动轮；第一主线输送带绕设于第一侧板上的主动轮和各个从动轮上，第二主线输送带绕设于第二侧板上的主动轮和各个从动轮上，形成容置空间。
[0008]通过在第一侧板和第二侧板上开设至少三个凹槽，为至少三条换向输送带提供安装空间，将换向输送带嵌设于主线输送线之中，更好的实现硅片由主线输送线向辅助输送线的转换；在每个凹槽边缘设置至少一个从动轮，能够对主线输送带进行形态限制，以配合
凹槽形成容置空间。
[0009]可选的，主线输送线还包括安装支架、驱动机构和滑动机构，第一侧板和第二侧板通过滑动机构滑动连接于安装支架，驱动机构的两个驱动端分别固定连接第一侧板和第二侧板，用于驱动第一侧板和第二侧板相互远离运动或相互靠近运动。
[0010]通过驱动机构驱动滑动机构，滑动机构带动与其连接的第一侧板和第二侧板相互远离运动或相互靠近运动，从而实现第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节，结构简单，调整简洁稳定。
[0011]可选的，第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节范围为80mm～230mm。
[0012]将第一主线输送带和第二主线输送带之间的间距调节范围设置在80mm～230mm之间，能够满足目前的主流硅片的兼容需求。
[0013]可选的，换向输送线的两端部和中部均设置有吸附机构，吸附机构设置于相邻的换向输送带之间。
[0014]在换向输送线上设置吸附机构，能够提高硅片在换向输送线上被顶升时，在换向输送线上的稳定性；在换向输送线的两端部和中部均设置吸附机构，能够提高吸附的均匀性，不会因吸附不均匀，产生硅片局部翘起的现象，从而降低对硅片的损伤。
[0015]可选的，换向输送线还包括位置感应器，位置感应器设置在沿主线输送线的输送方向的第一条换向输送带的侧边，用于感应由主线输送线输送至换向输送线的硅片是否到位；换向输送线还包括托板和顶升机构，换向输送线安装于托板上，顶升机构设置于托板下方，用于带动托板升降。
[0016]在换向输送线上设置位置传感器，硅片从主线输送线输送至第一条换向输送带的侧边时，及时对硅片对位置信息进行感应，并根据当前的感应信息，控制换向输送带进行升降，能够更准确地实现硅片的换向。
[0017]可选的，当只有两条相邻的换向输送带、两条相邻的辅助输送带被配置为输送硅片时，两条相邻的换向输送带的中心线与两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线。
[0018]保证两条相邻的换向输送带的中心线与两条相邻的辅助输送带的中心线保持共线，特别是，当输送多分硅片时，即多分硅片的长边与输送方向平行时，能够增加这种多分硅片的输送稳定性。
[0019]可选的，辅助输送线还包括检测机构，两条相邻的辅助输送带靠近检测机构设置，两条相邻的辅助输送带外边缘之间的间距小于硅片垂直于辅助输送带输送方向的边长。
[0020]在辅助输送线上设置检测机构，能够及时对当前辅助输送线输送的硅片进行检测，当硅片偏离检测机构时，能够及时检测到异常状态，防止因硅片偏离辅助输送线而造成的异常堆叠。
[0021]可选的，硅片为整片硅片、半片硅片、多分片中的任意一种。
[0022]本技术色兼容输送线能够兼容整片硅片、半片硅片、多分片中的任意一种，，兼容性相比现有的兼容输送线兼容性更高。
[0023]另一方面，本技术提出了一种兼容输送系统，兼容输送系统包括若干个依次排布的本技术的兼容输送线，若干个兼容输送线的主线输送线依次首尾设置。
[0024]本技术通过将若干个兼容输送线依次排布，形成一个具有多个辅助输送线换向端的兼容输送系统，能够对多种不同等级的硅片进行下料处理。
附图说明
[0025]图1为本技术的兼容输送线的一种实施方式示意图；
[0026]图2为本技术的主线输送线的一种实施方式示意图；
[0027]图3为图2的另一视角示意图；
[0028]图4为本技术的换向输送线的一种实施方式示意图；
[0029]图5为图4的换向输送线输送一种半片硅片的示意图；
[0030]图6为图4的换向输送线输送整片硅片的示意图；
[0031]图7为本技术的辅助输送线的一种实施方式示意图；
[0032]图8为图7的辅助输送线输送一种半片硅片的示意图；
[0033]图9为本技术的兼容输送系统的一种实施方式示意图。
[0034]图中：主线输送线100；第一主线输送带110；第二主线输送带120；换向输送线200；容置空间130；第一凹槽131；第二凹槽132；第三凹槽133；第一侧板140；第二侧板150；主动轮160；从动轮170；安装支架180；驱动机构191；第一连杆机构1911；第二连杆机构1912；调节螺杆1913；竖向滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种兼容输送线，其特征在于，所述兼容输送线包括主线输送线、换向输送线和辅助输送线，所述主线输送线上形成有容置空间，所述换向输送线设置于所述容置空间中，且所述换向输送线被配置为相对于所述主线输送线的输送面高度可调，所述换向输送线和所述主线输送线的输送方向相互垂直；所述辅助输送线设置于所述主线输送线的一侧或者两侧，且所述辅助输送线的输入端与所述换向输送线的输出端相对接设置，所述辅助输送线的输送方向与所述换向输送线的输送方向相一致；所述主线输送线包括并行设置的第一主线输送带和第二主线输送带，所述第一主线输送带和所述第二主线输送带之间的间距可调；所述换向输送线包括至少三条并行设置的换向输送带，至少两条相邻的所述换向输送带被配置为输送硅片；所述辅助输送线包括与所述换向输送带条数相同的辅助输送带，且所述辅助输送带的输入端与所述换向输送带的输出端相对接设置，至少两条相邻的所述辅助输送带被配置为输送硅片。2.根据权利要求1所述的兼容输送线，其特征在于，所述主线输送线还包括第一侧板和第二侧板，所述第一侧板的第一端和所述第二侧板的第一端均设置有主动轮；所述第一侧板的第二端和所述第二侧板的第二端均设置有从动轮；所述第一侧板和所述第二侧板上均开设有至少三个凹槽，每个所述凹槽边缘设置有至少一个从动轮；所述第一主线输送带绕设于所述第一侧板上的主动轮和各个从动轮上，所述第二主线输送带绕设于所述第二侧板上的主动轮和各个从动轮上，形成所述容置空间。3.根据权利要求2所述的兼容输送线，其特征在于，所述主线输送线还包括安装支架、驱动机构和滑动机构，所述第一侧板和所述第二侧板通过所述滑动机构滑动连接于所述安装支架，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛冬冬，李昶，刘世挺，
申请(专利权)人：无锡奥特维科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：