一种材料释气量测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种材料释气量测装置，包括：量测箱体、空气通入装置和空气排出装置，所述量测箱体内设置有若干个独立的测试箱，每个所述测试箱内均设置有空气循环通道和测试室；所述空气通入装置用于向所述量测箱体内通入空气，通入的空气在空气循环通道和测试室之间进行循环；所述空气排出装置用于将所述量测箱体内的空气排出。本实用新型专利技术通过空气温湿度调节装置将气体的温湿度调节至与实际应用场合相近，测试结果更符合材料实际使用过程中的释气量，减小温湿度等外部条件对检测结构的干扰，误差较小，能够更符合工程应用；且测试箱中放置的材料大小不受限制，能够增大可检测到的释气量，检测方式更为简单。检测方式更为简单。检测方式更为简单。

【技术实现步骤摘要】
一种材料释气量测装置


[0001]本技术涉及材料检测
，具体涉及一种材料释气量测装置。

技术介绍

[0002]释气，英文outgasing，意指材料在自然状态下自行会释放微量的气体，如：NH3或有机物。在半导体步入纳米时代时，对环境中微量气体浓度有要求，因此，材料释气的量测将成为影响材料使用的重要关键。
[0003]现有技术中，通常采用高温或真空来进行材料释气量测，例如中国专利CN103983532，其在真空室内放置测试材料，并通过真空室内的辐射灯对测试材料进行加热控温，然后进行气体压力的两侧，虽然能够测试出材料释放的所有气体组分的量；但是，材料的释气会根据温度的变化而变化，半导体材料的实际使用场合并不会是高温或真空，而上述方法所检测的是高温且真空环境下，该方法所测得的释气量与气体组分与实际应用过程中产生的释气量与气体组分存在明显差异，检测结果存在一定误差，该方法测得的数据其可参考性不高，不利于工程应用；此外，该申请中将材料放置在测试材料盒中进行测试，限制了材料的大小，释气量较小，采集较为困难。
[0004]因此，开发一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种材料释气量测装置，其特征在于，包括：量测箱体，所述量测箱体内设置有若干个独立的测试箱，每个所述测试箱内均设置有空气循环通道和与所述空气循环通道连接的测试室；空气通入装置，所述空气通入装置与所述量测箱体进行连接，所述空气通入装置用于向所述量测箱体内通入空气，通入的空气在空气循环通道和测试室之间进行循环；空气排出装置，所述空气排出装置与所述量测箱体进行连接，所述空气排出装置用于将所述量测箱体内的空气排出。2.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，每个所述测试箱上均设置有空气通入口和空气输出口，所述空气通入装置与所述空气通入口连接并与空气循环通道连通，所述空气排出装置与所述空气输出口连接并与所述空气循环通道连通。3.根据权利要求1所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，所述空气通入装置包括第一空气过滤装置、空气温湿度调节装置和第一风机，所述空气通入装置与所述量测箱体之间通过第一连接管路进行连接。4.根据权利要求3所述的一种材料释气量测装置，其特征在于，所述第一连接管路远离所述空气通入装置的一端分为若干个第一连接支路，所述第一连接支...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨政谕，
申请(专利权)人：亚翔系统集成科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：