一种XYθ对位平台制造技术

本发明专利技术涉及精密对位平台技术领域，具体涉及一种XYθ对位平台，将安装基座、X轴滑动机构、第一滑动座、X轴驱动调节机构、Y轴滑动机构、第二滑动座、Y轴驱动调节机构、旋转座和旋转驱动调节机构集中一起，结构紧凑、简单，且旋转驱动调节机构依次穿设于第二滑动座、第一滑动座以及安装基座，极大程度地缩小了XYθ对位平台的高度和宽度，避免了传统的XYθ对位平台的叠加性造成整体高度高而精度不易保证的问题；使用时，避免了采用现有的XXY工作平台而构造比较复杂、需要配套专用的复杂算法达到旋转而不容易设计、造价比较昂贵，节省生产成本。节省生产成本。节省生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种XY
θ
对位平台


[0001]本专利技术涉及精密对位平台
，具体涉及一种XYθ对位平台。

技术介绍

[0002]基于机器视觉的精密对位系统结构复杂，集成了精密机械技术、光学系统/图像处理技术/智能控制技术等多项技术。精密机械工作平台是精密机械技术的重要组成部分，也是精密对位系统中的关键子系统，它对组装对位设备完成精确的器件对位起着至关重要的作用。
[0003]现有XYθ对位平台，θ是独立的转动轴,可以旋转大角度，缺点是平台的叠加性造成了误差的叠加放大，精度不易保证；随着平板显示技术迅猛发展，平板展示产品对其加工设备精度的要求也不断提高，XYθ平台大多不被精密对位应用场合所应用；转而常采用XXY工作平台进行精密对位，“XXY”在日本常用名称为“UVW”，XXY就是两个X方向的轴向，搭配一个Y方向轴向，剩余一轴采用自由轴，它的出现用来取代传统的XYθ的应用，不同于传统的XYθ的结构，整体高度有效降低，提高了机台空间的利用率，但XXY工作平台的构造比较复杂、需要配套专用的复杂算法达到旋转而不容易设计，造价比较昂贵，不利于节省生产成本。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本专利技术的目的在于提供一种XYθ对位平台。
[0005]本专利技术的目的通过下述技术方案实现：一种XYθ对位平台，包括安装基座、X轴轴向设置于安装基座的X轴滑动机构、通过X轴滑动机构与安装基座滑动连接的第一滑动座、固定安装于安装基座并用于驱动第一滑动座沿X轴轴向滑动的X轴驱动调节机构、Y轴轴向设置于第一滑动座的Y轴滑动机构、通过Y轴滑动机构与第一滑动座滑动连接的第二滑动座、固定安装于第一滑动座并用于驱动第二滑动座沿Y轴轴向滑动的Y轴驱动调节机构、旋转设置于第二滑动座上方的旋转座、以及固定安装于第二滑动座的中部并用于驱动旋转座旋转的旋转驱动调节机构，所述旋转驱动调节机构依次穿设于所述第二滑动座的中部、第一滑动座的中部以及安装基座的中部。
[0006]优选的，所述X轴滑动机构包括X轴轴向固定设置于所述安装基座的X轴滑轨、以及与X轴滑轨滑动连接的第一滑块，所述第一滑动座与第一滑块固定连接；所述Y轴滑动机构包括Y轴轴向固定设置于所述第一滑动座的Y轴滑轨、以及与Y轴滑轨滑动连接的第二滑块，所述第二滑动座与第二滑块固定连接。
[0007]优选的，所述X轴驱动调节机构包括固定安装于安装基座的第一丝杆步进电机、以及与第一丝杆步进电机的螺杆端螺纹连接的第一丝杆螺母，所述第一丝杆螺母的外侧壁固定连接于第一滑动座；所述Y轴驱动调节机构包括固定安装于第二滑动座的第二丝杆步进电机、以及与第二丝杆步进电机的螺杆端螺纹连接的第二丝杆螺母，所述第二丝杆螺母的外侧壁固定连接于第一滑动座。
[0008]优选的，所述第一丝杆步进电机和第二丝杆步进电机均为贯通轴式丝杆步进电机。
[0009]优选的，所述安装基座连接有第一连接座，所述第一丝杆步进电机通过所述第一连接座与所述安装基座固定连接，所述第二滑动座连接有第二连接座，所述第二丝杆步进电机通过所述第二连接座与所述第二滑动座固定连接。
[0010]优选的，所述旋转驱动调节机构包括固定安装于所述第二滑动座的中部的旋转驱动电机、以及与旋转驱动电机的输出端连接的减速器，所述减速器的输出端与旋转座固定连接，所述旋转驱动电机依次穿设于所述第二滑动座、第一滑动座以及安装基座。
[0011]优选的，所述第二滑动座的底部连接有电机连接座，所述旋转驱动电机通过所述电机连接座与所述第二滑动座固定连接。
[0012]优选的，所述电机连接座的内侧开设有容置卡槽，所述旋转驱动电机的上端盖卡设于电机连接座的容置卡槽并通过螺栓与所述容置卡槽固定连接。
[0013]优选的，所述旋转驱动电机为步进电机，所述减速器为谐波减速器，所述减速器的波发生器与旋转驱动电机固定连接，所述减速器的刚轮与旋转座固定连接。
[0014]优选的，所述XYθ对位平台还包括设置于所述第一滑动座侧壁的X轴感应件、设置于所述第二滑动座侧壁的Y轴感应件、设置于所述旋转座底部的旋转感应件、设置于所述安装基座并与X轴感应件配合用于检测所述第一滑动座X轴轴向滑动位移的X轴位移传感组件、设置于所述第一滑动座并与Y轴感应件配合用于检测所述第二滑动座Y轴轴向滑动位移的Y轴位移传感组件、以及设置于所述第二滑动座并与旋转感应件配合用于检测所述旋转座旋转位移的旋转位移传感组件。
[0015]本专利技术的有益效果在于：本专利技术的XYθ对位平台，将安装基座、X轴滑动机构、第一滑动座、X轴驱动调节机构、Y轴滑动机构、第二滑动座、Y轴驱动调节机构、旋转座和旋转驱动调节机构集中一起，结构紧凑、简单，且旋转驱动调节机构依次穿设于第二滑动座、第一滑动座以及安装基座，极大程度地缩小了XYθ对位平台的高度和宽度，避免了传统的XYθ对位平台的叠加性造成整体高度高而精度不易保证的问题；使用时，通过X轴驱动调节机构驱动第一滑动座沿X轴轴向滑动调节，通过Y轴驱动调节机构驱动第二滑动座沿Y轴轴向滑动调节，通过旋转驱动调节机构驱动旋转座旋转，避免了采用现有的XXY工作平台而构造比较复杂、需要配套专用的复杂算法达到旋转而不容易设计、造价比较昂贵，节省生产成本。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的结构示意图；
[0017]图2是本专利技术另一视角的结构示意图；
[0018]图3是本专利技术又一视角的结构示意图；
[0019]图4是本专利技术的分解结构示意图。
[0020]附图标记为：1、安装基座；2、第一滑动座；3、第二滑动座；4、旋转座；5、X轴滑动机构；51、X轴滑轨；52、第一滑块；6、X轴驱动调节机构；61、第一丝杆步进电机；62、第一丝杆螺母；7、Y轴滑动机构；71、Y轴滑轨；72、第二滑块；8、Y轴驱动调节机构；81、第二丝杆步进电机；82、第二丝杆螺母；9、第一连接座；10、第二连接座；11、旋转驱动电机；12、减速器；13、电机连接座；14、容置卡槽；15、X轴感应件；16、Y轴感应件；17、旋转感应件；18、X轴位移传感组
件；19、Y轴位移传感组件；20、旋转位移传感组件。
具体实施方式
[0021]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例及附图对本专利技术作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本专利技术的限定。
[0022]如图1
‑
4所示，一种XYθ对位平台，包括安装基座1、X轴轴向设置于安装基座1的X轴滑动机构5、通过X轴滑动机构5与安装基座1滑动连接的第一滑动座2、固定安装于安装基座1并用于驱动第一滑动座2沿X轴轴向滑动的X轴驱动调节机构6、Y轴轴向设置于第一滑动座2的Y轴滑动机构7、通过Y轴滑动机构7与第一滑动座2滑动连接的第二滑动座3、固定安装于第一滑动座2并用于驱动第二滑动座3沿Y轴轴向滑动的Y轴驱动调节机构8、旋转设置于第二滑动座3上方的旋转座4、以及固定安装于第二滑动座3的中部并用于驱动旋转座4旋转的旋转驱动调节机构，所述旋本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种XYθ对位平台，其特征在于：包括安装基座、X轴轴向设置于安装基座的X轴滑动机构、通过X轴滑动机构与安装基座滑动连接的第一滑动座、固定安装于安装基座并用于驱动第一滑动座沿X轴轴向滑动的X轴驱动调节机构、Y轴轴向设置于第一滑动座的Y轴滑动机构、通过Y轴滑动机构与第一滑动座滑动连接的第二滑动座、固定安装于第一滑动座并用于驱动第二滑动座沿Y轴轴向滑动的Y轴驱动调节机构、旋转设置于第二滑动座上方的旋转座、以及固定安装于第二滑动座的中部并用于驱动旋转座旋转的旋转驱动调节机构，所述旋转驱动调节机构依次穿设于所述第二滑动座的中部、第一滑动座的中部以及安装基座的中部。2.根据权利要求1所述的一种XYθ对位平台，其特征在于：所述X轴滑动机构包括X轴轴向固定设置于所述安装基座的X轴滑轨、以及与X轴滑轨滑动连接的第一滑块，所述第一滑动座与第一滑块固定连接；所述Y轴滑动机构包括Y轴轴向固定设置于所述第一滑动座的Y轴滑轨、以及与Y轴滑轨滑动连接的第二滑块，所述第二滑动座与第二滑块固定连接。3.根据权利要求1所述的一种XYθ对位平台，其特征在于：所述X轴驱动调节机构包括固定安装于安装基座的第一丝杆步进电机、以及与第一丝杆步进电机的螺杆端螺纹连接的第一丝杆螺母，所述第一丝杆螺母的外侧壁固定连接于第一滑动座；所述Y轴驱动调节机构包括固定安装于第二滑动座的第二丝杆步进电机、以及与第二丝杆步进电机的螺杆端螺纹连接的第二丝杆螺母，所述第二丝杆螺母的外侧壁固定连接于第一滑动座。4.根据权利要求3所述的一种XYθ对位平台，其特征在于：所述第一丝杆步进电机和第二丝杆步进电机均为贯通轴式丝杆步进电机。5.根据权利要求3所述的一种XYθ对位平台，其特征在于：所述安装基座连...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊世伟，
申请(专利权)人：广东立迪智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：