一种晶圆干燥模组上盖制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆干燥模组上盖，包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；底部盖板上设有若干排气口，混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；第一腔室的外壁还分别设有氮气输入接口、异丙醇输入接口、混合输入接口。晶圆干燥模组上盖可以分别向干燥模组内充入氮气、异丙醇气体以及加热后的氮气和异丙醇的混合物质，有助于破坏高深宽比孔穴或孔柱结构的表面张力，使得空乏区内的水分子被不断析出，提升干燥效果。升干燥效果。升干燥效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆干燥模组上盖


[0001]本技术涉及晶圆干燥设备领域，具体涉及一种晶圆干燥模组上盖。

技术介绍

[0002]晶圆干燥技术作为晶圆清洗的收尾环节，需要有效清除晶圆表面的水分，同时需要对晶圆表面的清洁度进行控制。
[0003]现有的干燥工艺使得晶圆产品类型受到限制，晶圆产品分为表面无加工的晶圆片、表面处理后平整的晶圆片以及具有部分图案的晶圆产品，第三种晶圆产品表面图案的存在，对于较高深宽比的图案，图案表面张力构成的毛细现象导致水分吸附高深宽比的孔穴或者孔柱，水分子回流到图案底下的空乏区，干燥过程中仅表面干燥，空乏区内的水分难以干燥，干燥效果不理想。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，提出了采用混合加热氮气和异丙醇气体以及纯氮气和纯异丙醇的方式破坏高深宽比孔穴或孔柱结构的表面张力，使得空乏区内的水分子被不断析出，基于此，本技术提供了一种晶圆干燥模组上盖，借助该晶圆干燥模组上盖实现混合加热氮气和异丙醇气体以及纯氮气、纯异丙醇的输送。
[0005]本技术的技术目的是通过以下技术方案实现的：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，其结构包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；所述底部盖板上设有若干排气口，所述混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；所述第一腔室的外壁还分别设有向氮气管输入氮气的氮气输入接口、向异丙醇管中输入异丙醇气体的异丙醇输入接口、向混合排放管内输入加热后的氮气和异丙醇的混合物的混合输入接口。2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述氮气管及异丙醇管平行设置在第一腔室内，所述氮气管的端部和异丙醇管的端部分别延伸穿过第一腔室的侧壁，所述氮气输入接口连接到氮气管的端部，所述异丙醇输入接口连接到异丙醇管的端部。3.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥模组上盖，其特征在于，所述混合排放管包括平行设置的方管，所述方管的底部贴靠底部盖板的上端面；所述混合排放管的出气口设置在方管的底部且与排气口直接连通。4.根据权利要求3所述的一种晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈新来，邓信甫，唐宝国，徐铭，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：