一种插槽式吸盘组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种插槽式吸盘组件,集气板、吸盘密封板、插槽底座和吸取组件，吸盘密封板位于集气板与插槽底座之间，吸取组件由若干吸盘构成，插槽底座设置有若干安装插槽，一组安装插槽对应安装一组吸盘，吸盘密封板为集气板与插槽底座的进气通道进行密封，集气板为吸取组件供气，吸取组件吸取硅片，本实用新型专利技术的吸盘采用独立的插片方式插入插槽底座，每个吸盘对应独立的一个安装插槽，保证了吸盘相互之间的精度，吸盘损坏或其它原因需要更换时只需拆掉固定装置，将需要更换的吸盘取出更换不会影响其它的吸盘位置精度。会影响其它的吸盘位置精度。会影响其它的吸盘位置精度。

【技术实现步骤摘要】
一种插槽式吸盘组件


[0001]本技术属于光伏领域，涉及一种插槽式吸盘组件。

技术介绍

[0002]花篮是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高，而吸盘组件就是硅片装卸和分合片的重要部件，因为硅片发展趋势越来越大，越来越薄，所以吸盘也将会做的越来越大，吸盘越大加工精度会越差，导致吸盘叠片安装的方式会出现更大的累计误差，不能满足使用要求。
[0003]现常用吸插片式的吸盘组件以解决上述问题，但吸插片式吸盘厚度偏薄，通气孔也比较窄小，密封性效果差，容易出现漏气问题，且每个吸盘对应一个插槽口，对吸盘插槽底座、槽口大小尺寸和槽间距尺寸精度的要求很高，会增加加工的难度，本技术将会解决此种问题。

技术实现思路

[0004]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种插槽式吸盘组件。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种插槽式吸盘组件,其特征在于：包括集气板、吸盘密封板、插槽底座和吸取组件，吸盘密封板位于集气板与插槽底座之间，吸取组件由若干吸盘构成，插槽底座设置有若干安装插槽，一组安装插槽对应安装一组吸盘，吸盘密封板对集气板与插槽底座的进气通道进行密封，集气板为吸取组件供气，吸取组件吸取硅片,还包括固定装置，固定装置包括吸盘固定板和紧固杆，吸盘固定板包括用于压紧的压紧部和用于固定的紧固部，所述吸盘包括固定部和吸取部，吸盘的固定部两侧对称固设有压紧槽口，压紧部插入压紧槽口并压紧吸盘，使吸盘顶端与密封板相抵。
[0006]进一步的；所述集气板内设置有开口朝外的导气腔，集气板两侧面固设有与导气腔连通的进气孔，进气孔连通设置有进气管接头，进气管接头与外接真空设备连通，外接真空设备将气体沿进气管接头导入导气腔内为吸取组件供能，一组集气板与两组进气管接头连接，控制两组进气管接头同时进气或出气。
[0007]进一步的；所述集气板上固设有第一安装腔，第一安装腔设置为内凹的方环结构，且分布在导气腔的外侧，第一安装腔内安装有密封圈，用于密封集气板与吸盘密封板，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通。
[0008]进一步的；所述吸盘密封板由连接板和密封板构成，连接板设置为铝制板，密封板设置为硅胶板；密封板用于密封吸盘密封板与吸取组件，连接板固设有内腔，内腔内固设有贯穿密封板的若干输气腔，输气腔与吸盘一一对应，输气腔沿内腔的长度方向横向分布，进气管接头、导气腔以及输气腔形成由集气板至吸取组件的供气通道。
[0009]进一步的；所述插槽底座上固设有上下贯穿的腔体，气体沿腔体上下方向流通，腔体内固设有若干加强筋，加强插槽底座的强度并减少插槽底座的变形量，加强筋将腔体分
为若干分区，分区两组侧面对称固设有若干隔板，同侧的隔板与相邻加强筋以及同侧的相邻隔板之间形成用于限制吸盘的插槽口，安装插槽由两侧对应的插槽口以及分区构成。
[0010]进一步的；所述固定部的高度与安装插槽的高度相配，吸盘插入插槽底座并与密封板相抵。
[0011]进一步的；所述紧固部上固设有若干第一锁紧通孔，插槽底座固设有若干第二锁紧通孔，紧固杆依次穿过第一锁紧通孔和第二锁紧通孔将吸取组件与插槽底座固定连接。
[0012]进一步的；所述吸盘包括吸附面和导气面，导气面上固设有气道和凹槽，气道与输气腔连通，气体由供气通道通入气道，气道内固设有贯穿吸盘的吸取孔，凹槽与气道形成外放型的阶梯结构，吸盘还包括用于密封气道的盖板，位于吸取部的吸附面上固设有吸取道，吸取孔贯穿吸取道，使吸取道与气道通过吸取孔连通，吸取部侧边设置为楔形结构，利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。进一步的；所述吸盘还包括吸盘侧板，吸盘侧板固设于吸取部侧面，吸取部的侧边设置为楔形结构，利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出，吸盘侧板上设置有通气道，通气道与吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的吸附通道。
[0013]进一步的；所述集气板的上固设有若干第一连接孔，集气板的端面固设有与第一连接孔连通的沉孔，吸盘密封板上固设有第二连接孔，第二连接孔与第一连接孔一一对应设置；插槽底座与吸盘密封板相对的侧面固设有若干第三连接孔，第三连接孔与第一连接孔一一对应设置，第一紧固件依次插入沉孔、第一连接孔、第二连接孔以及第三连接孔将集气板、吸盘密封板和插槽底座固设连接。
[0014]综上所述，本技术的有益之处在于：
[0015]1)、本技术设置两组进气管接头，通过控制两组进气管接头同时进气或出气，保证导气腔内气体的均匀性，并增大瞬间吸附能力。
[0016]2)、本技术设置密封圈，保证集气板与吸盘密封板安装后的密封性，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通，在吸盘密封板设置密封板，保证吸盘密封板与吸取组件之间的密封性，提高气体进入吸取组件的效率。
[0017]3)、本技术的吸盘采用独立的插片方式插入插槽底座，每个吸盘对应独立的一个安装插槽，保证了吸盘相互之间的精度，吸盘损坏或其它原因需要更换时只需拆掉固定装置，将需要更换的吸盘取出更换不会影响其它的吸盘位置精度。
[0018]4)、本技术通过设置吸盘侧板增加了吸盘与硅片的接触面积，增加了对硅片的吸附能力，特别是对于大尺寸硅片，吸盘侧板可大大提高硅片的吸取效率。
附图说明
[0019]图1为本技术的装置分解示意图。
[0020]图2为本技术的集气板示意图。
[0021]图3为本技术的吸盘密封板示意图一。
[0022]图4为本技术的吸盘密封板示意图二。
[0023]图5为本技术中插槽底座示意图。
[0024]图6为本技术的吸盘示意图一。
[0025]图7为本技术的吸盘示意图二。
[0026]图8为本技术的吸盘示意图三。
[0027]图9为本技术的吸盘固定板示意图。
[0028]图中标识：集气板1、导气腔11、进气孔12、进气管接头13、第一连接孔 14、沉孔15、第一安装腔16、密封圈17、吸盘密封板2、连接板21、密封板 22、第二连接孔23、内腔211、输气腔212、插槽底座3、安装插槽30、加强筋 31、分区32、隔板33、插槽口34、第三连接孔35、吸取组件4、吸盘41、固定部411、吸取部412、压紧槽口4111、吸附面413、导气面414、气道4141、凹槽4142、吸取孔4143、盖板416、吸取道4121、吸盘侧板415、通气道4151、固定装置5、吸盘固定板51、紧固杆52、压紧部511、紧固部512、第一锁紧通孔5121。
具体实施方式
[0029]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种插槽式吸盘组件,其特征在于：包括集气板、吸盘密封板、插槽底座和吸取组件，吸盘密封板位于集气板与插槽底座之间，吸取组件由若干吸盘构成，插槽底座设置有若干安装插槽，一组安装插槽对应安装一组吸盘，吸盘密封板对集气板与插槽底座的进气通道进行密封，集气板为吸取组件供气，吸取组件吸取硅片,还包括固定装置，固定装置包括吸盘固定板和紧固杆，吸盘固定板包括用于压紧的压紧部和用于固定的紧固部，所述吸盘包括固定部和吸取部，吸盘的固定部两侧对称固设有压紧槽口，压紧部插入压紧槽口并压紧吸盘，使吸盘顶端与密封板相抵。2.根据权利要求1所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述集气板内设置有开口朝外的导气腔，集气板两侧面固设有与导气腔连通的进气孔，进气孔连通设置有进气管接头，进气管接头与外接真空设备连通，外接真空设备将气体沿进气管接头导入导气腔内为吸取组件供能，一组集气板与两组进气管接头连接，控制两组进气管接头同时进气或出气。3.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述集气板上固设有第一安装腔，第一安装腔设置为内凹的方环结构，且分布在导气腔的外侧，第一安装腔内安装有密封圈，用于密封集气板与吸盘密封板，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通。4.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述吸盘密封板由连接板和密封板构成，连接板设置为铝制板，密封板设置为硅胶板；密封板用于密封吸盘密封板与吸取组件，连接板固设有内腔，内腔内固设有贯穿密封板的若干输气腔，输气腔与吸盘一一对应，输气腔沿内腔的长度方向横向分布，进气管接头、导气腔以及输气腔形成由集气板至吸取组件的供气通道。5.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述插槽底座上固设有上下贯穿的腔体，气体沿腔体上下方向流通，腔体内固设有若干加强筋，加强插槽底座的强度并减少插槽底...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，周欢，时祥，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：