一种光学滤光片及其应用制造技术

本发明专利技术提供了一种光学滤光片及其应用，所述光学滤光片包括：玻璃基板；设置于玻璃基板的一个表面上的增透膜层；光学复合薄膜单元；所述光学复合薄膜单元为多个，叠层设置于玻璃基板的另一个表面上；每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成；所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜设位于二氧化硅/二氧化铪复合薄膜之上，所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜位于二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜之上；该光学滤光片不会因温湿度的变化而影响折射率率，保证光学滤光片的光学性能，也保证了滤光片不受湿度温度影响而造成中心波长漂移。造成中心波长漂移。造成中心波长漂移。

【技术实现步骤摘要】
一种光学滤光片及其应用


[0001]本专利技术属于滤光片
，具体涉及一种光学滤光片及其应用。

技术介绍

[0002]光学滤光片是现代光通信中最为主要的元件之一，有设计灵活、体积轻便、信号稳定等特点。在光通信系统中，许多光线发射和接收设备都需要高质量的镀膜滤光片。滤光片是DWDM模块的心脏，它能通过极窄光谱范围的光反射另外一些波长的光，多个滤光片串置起来，可将不同波长的光耦合进光纤或从光纤中分解出不同波长的光，形成复用器与解复用器，从而达到网络传输速率快、容量高、延时低的效果。
[0003]近年来随着通信技术和投影技术的发展，对光学薄膜的要求越来越高，传统的光学滤光片中使用五氧化二钽及二氧化硅搭配作为光学薄膜，其虽然具有好的折射率，但是缺点是，滤光片膜层吸湿后随着温度的上升和膜层中水的损失，折射率会减小，而这种折射率减小的影响远大于薄膜材料折射率随温度上升和热膨胀引起的几何厚度增大的影响，从而引起中心波长向短波方向漂移。。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种光学滤光片及和应用，该光学滤光片不会因温湿度的变化而影响折射率率，保证光学滤光片的光学性能，也保证了滤光片不受湿度温度影响而造成中心波长漂移。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案如下：
[0006]一种光学滤光片，包括：玻璃基板；设置于玻璃基板的一个表面上的增透膜层；光学复合薄膜单元；
[0007]所述光学复合薄膜单元为多个，叠层设置于玻璃基板的另一个表面上；
[0008]每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成；
[0009]所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜设位于二氧化硅/二氧化铪复合薄膜之上，所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜位于二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜之上。
[0010]所述光学复合薄膜单元的个数为10
‑
12个。
[0011]所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜中，二氧化铪薄膜位于二氧化硅薄膜之上。
[0012]所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜中，五氧化二钽薄膜位于二氧化硅薄膜之上。
[0013]所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜中，三氧化二钛薄膜位于二氧化硅薄膜之上。
[0014]二氧化硅薄膜的厚度均为0.12
‑
0.18μm。
[0015]所述氧化硅/二氧化铪复合薄膜的厚度为0.3
‑
0.5μm。
[0016]所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜的厚度之比为1:0.7
‑
0.9:0.9
‑
1.2。
[0017]所述玻璃基板的厚度为0.8～1.2mm。
[0018]本专利技术提供的光学滤光片可应用在光学器件中。
[0019]与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
[0020]本专利技术提供的光学滤光片的结构中，在玻璃基板之上设置了多个光学复合薄膜单元，每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成，而二氧化铪与二氧化硅的搭配、三氧化二钛与二氧化硅的搭配，由于配合紧密，不会因温湿度的变化而影响折射率，不仅保证了滤光片的光学性能，也保证了滤光片不受温湿度影响造成中心波长漂移。
附图说明
[0021]图1为本专利技术中的滤光片的结构示意图；
[0022]图2为图1中的光学复合薄膜单元的结构示意图；
[0023]图3为图2中的二氧化硅/二氧化铪复合薄膜的结构示意图；
[0024]图4为图2中的二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜的结构示意图；
[0025]图5为图2中的二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜的结构示意图；
[0026]图中1
‑
增透膜、2
‑
玻璃基板、3
‑
光学复合薄膜单元、3
‑1‑
二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、3
‑2‑
二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、3
‑3‑
二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜、3
‑1‑1‑
二氧化硅薄膜、3
‑1‑2‑
二氧化铪薄膜、3
‑2‑2‑
五氧化二钽薄膜、3
‑3‑2‑
三氧化二钛薄膜。
具体实施方式
[0027]本专利技术提供了一种光学滤光片，包括：玻璃基板；设置于玻璃基板的一个表面上的增透膜层；光学复合薄膜单元；所述光学复合薄膜单元为多个，叠层设置于玻璃基板的另一个表面上；每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成；所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜设位于二氧化硅/二氧化铪复合薄膜之上，所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜位于二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜之上。
[0028]所述光学复合薄膜单元的个数为10
‑
12个。
[0029]所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜中，二氧化铪薄膜位于二氧化硅薄膜之上。
[0030]所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜中，五氧化二钽薄膜位于二氧化硅薄膜之上。
[0031]所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜中，三氧化二钛薄膜位于二氧化硅薄膜之上。
[0032]二氧化硅薄膜的厚度均为0.12
‑
0.18μm。
[0033]所述氧化硅/二氧化铪复合薄膜的厚度为0.3
‑
0.5μm。
[0034]所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜的厚度之比为1:0.7
‑
0.9:0.9
‑
1.2。
[0035]所述玻璃基板的厚度为0.8～1.2mm。
[0036]本专利技术提供的光学滤光片的结构中，在玻璃基板之上设置了多个光学复合薄膜单元，每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成，而二氧化铪与二氧化硅的搭配、三氧化二钛与二氧化硅的搭配，由于配合紧密，不会因温湿度的变化而影响折射率，不仅保证了滤光片的光学性能，也保证了滤光片不受温湿度影响造成中心波长漂移。
[0037]本专利技术提供的光学滤光片的制备方法，包括以下步骤：
[0038](1)对一面含有增透膜的玻璃基板进行清洗、晾干，
[0039](2)采用真空离子束溅射的方法在玻璃基板的另一面依次镀制二氧化硅薄膜、二氧化铪薄膜；
[0040](3)然后在步骤(2)中的二氧化铪薄膜之上采用真空离子束溅射的方法依次镀制二氧化硅薄膜、五氧化二钽薄膜；
[0041](4)然后在步骤(3)中的五氧化二钽薄膜之上采用真空离子束溅射的方法依次镀制二氧化硅薄膜、三氧化二钛薄膜；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学滤光片，其特征在于，所述光学滤光片包括：玻璃基板；设置于玻璃基板的一个表面上的增透膜层；光学复合薄膜单元；所述光学复合薄膜单元为多个，叠层设置于玻璃基板的另一个表面上；每个光学复合薄膜单元均由二氧化硅/二氧化铪复合薄膜、二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜、二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜组成；所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜设位于二氧化硅/二氧化铪复合薄膜之上，所述二氧化硅/三氧化二钛复合薄膜位于二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜之上。2.根据权利要求1所述的光学滤光片，其特征在于，所述光学复合薄膜单元的个数为10
‑
12个。3.根据权利要求1所述的光学滤光片，其特征在于，所述二氧化硅/二氧化铪复合薄膜中，二氧化铪薄膜位于二氧化硅薄膜之上。4.根据权利要求1所述的光学滤光片，其特征在于，所述二氧化硅/五氧化二钽复合薄膜中，五氧化二钽薄膜位于二氧化硅薄膜之上。5.根据权利要求1所述的光学滤光片，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张椿英，陈家星，周衍浩，陈鸿飞，
申请(专利权)人：安徽信息工程学院，
类型：发明
国别省市：