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一种透明柔性的防激光探测薄膜制造技术

技术编号:34446953 阅读:11 留言:0更新日期:2022-08-06 16:43
本发明专利技术提供一种透明柔性的防激光探测薄膜及其制备方法,该防激光探测薄膜包括:透明柔性衬底和生长于所述透明柔性衬底上的激光反射层;其中,所述激光反射层包括由至少两种不同折射率的介质材料交替生长而成的多个子层;其中,所述激光反射层的厚度为2.9~3.5μm;所述防激光探测薄膜对可见光具有60%以上的透过率,对于波长在1.55μm处的激光具有90%以上的截止率,且在1.55μm波长附近具有90%以上截止率的波长范围对应的带宽不小于100nm。本发明专利技术能够用于普通窗户玻璃上,不影响室内和室外的视觉效果,并能对外界激光探测进行反制;其实用性强、操作简单、成本低,可以适用于各种重要场合下的防激光探测需求。用于各种重要场合下的防激光探测需求。用于各种重要场合下的防激光探测需求。

【技术实现步骤摘要】
一种透明柔性的防激光探测薄膜


[0001]本专利技术涉及一种防探测薄膜及其制造方法,尤其涉及一种透明柔性的防激光探测薄膜及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着现代科学技术的进步发展,偷听、窃密技术变得更加简单,成本更加低廉,已经从传统的、政治等领域扩展到普通的生活,保护人们的隐私愈发重要。
[0003]一种常用的偷听或窃密技术即为激光探测技术。激光探测技术通常是通过发射一束激光,透过玻璃穿入房间内,当室内人说话的声波振动引起激光反射相位的变化时,室外人员可以通过捕捉反射光能量,解调激光相关信息得到屋内的具体谈话内容。因此,为了有效防止被探测,尤其是被激光探测技术探测,需要进行一定的防激光探测处理。
[0004]现有的一些防激光探测技术通过采用超声波干扰单元和控制单元去干扰声波的振动规律,从而使激光光斑无法准确捕获室内谈话信息。然而,这些超声波干扰单元和控制单元的成本昂贵,同时系统搭建相对复杂,不利于在室内通过灵活调控以实现反探测的目的。
[0005]因此,需要找寻一种成本低廉且可操作性极强的装置或方式,以从根本上阻隔激光从户外进入室内的可能性,且从外观上尽可能避免改变室内形态,以防止引起外界人员的警惕性。
[0006]一种期望的解决方式是研制出一种防激光探测薄膜,其用材简单,成本低廉,能够贴装于玻璃窗上,并能够对相应通信波段(例如,1.55μm波段)的激光进行有效反射,同时对可见光具有良好的高透性,使该防激光探测薄膜贴附在玻璃上时与普通贴膜的外观效果无异。
[0007]研制这种薄膜的难点主要在于:(1)需要寻找出对近红外波段(特别是1.55μm附近的光通信波段)具有高截止率,且对可见光波段具有高透过率的膜系材料;(2)激光的光束窄,且能量集中,为了防止薄膜被激光束照射时由于热效应而被击穿,通常需要确保达到一定的薄膜厚度,而较高的薄膜厚度一方面将导致可见光波段的透过率低,可能使薄膜变得有色或不透明,另一方面较高的薄膜厚度还可能使生长出来的薄膜更容易出现表面不平整,影响薄膜质量和使用效果的问题。

技术实现思路

[0008]针对以上问题,本专利技术的目的在于提供一种透明柔性的防激光探测薄膜及其制备方法,该防激光探测薄膜贴附在玻璃上与普通贴膜观测效果无异,还能有效防止激光探测。
[0009]为达到上述目的,根据本专利技术的第一方面,公开了一种透明柔性的防激光探测薄膜。该透明柔性的防激光探测薄膜包括:由至少两种不同折射率的介质材料交替生长而成的多个子层;其中,所述激光反射层的厚度为 2.9~3.5μm;所述防激光探测薄膜对可见光具有60%以上的透过率,对于波长在1.55μm处的激光具有90%以上的截止率,且在1.55μm
波长附近具有90%以上截止率的波长范围对应的带宽不小于100nm。
[0010]优选地,所述多个子层的光学导纳系数匹配,且所述激光反射层与所述透明柔性衬底的光学导纳系数匹配。
[0011]优选地,所述至少两种不同折射率的材料包括第一介质材料和第二介质材料,其中所述第一介质材料的折射率为1.9~2.4,所述第二介质材料的折射率为1.3~1.6;所述多个子层中任一子层的厚度为20~500nm。
[0012]优选地,所述第一介质材料选自TiO2、Ta2O5、Nb2O5、ZnO或 HfO2;所述第二介质材料选自SiO2、Al2O3或BaF2。
[0013]优选地,所述至少两种不同折射率的材料包括第一介质材料、第二介质材料和第三介质材料,其中所述第一介质材料的折射率为1.9~2.4,所述第二介质材料的折射率为1.3~1.6,所述第三介质材料的折射率大于第二介质材料的折射率且小于第一介质材料的折射率;所述多个子层中任一子层的厚度为20~500nm。
[0014]优选地,所述第一介质材料和第三介质材料选自TiO2、Ta2O5、 Nb2O5、ZnO或HfO2;所述第二介质材料选自SiO2、Al2O3或BaF2。
[0015]优选地,所述激光反射层从所述透明柔性衬底出发的膜系结构为(M1/M2)^n1/M1(M1/M2)^n2/M1;其中,M1和M2分别代表由所述第一介质材料形成的层和由所述第二介质材料形成的层,n1和n2分别代表M1 和M2交替生长的第一周期数和第二周期数。
[0016]优选地,所述第一介质材料和所述第二介质材料分别为ZnO和BaF2, n1=7,n2=0,且HfO2层的厚度均为203nm,SiO2层的厚度均为265nm。
[0017]优选地,所述第一介质材料和所述第二介质材料分别为HfO2和SiO2, n1=6,n2=0,且所述膜系结构中各子层的物理厚度依次为:197nm、 245nm、204nm、243nm、200nm、243nm、201nm、247nm、198nm、247nm、196nm、252nm、186nm、285nm、378nm。
[0018]优选地,所述第一介质材料和所述第二介质材料分别为Ta2O5和 SiO2,n1=4,n2=3,且所述膜系结构中各子层的物理厚度依次为: 191nm、265nm、261nm、196nm、29nm、62nm、27nm、307nm、 134nm、59nm、264nm、190nm、263nm、185nm、278nm、179nm。
[0019]优选地,所述激光反射层从所述透明柔性衬底出发的膜系结构为 (Nb2O5/SiO2)^4HfO2/SiO2/HfO2/Nb2O5/SiO2,且所述膜系结构中各子层的物理厚度分别为:201nm、319nm、465nm、244nm、251nm、218nm、 151nm、323nm、188nm、229nm、57nm、150nm和261nm。
[0020]优选地,所述透明柔性衬底使用PET薄膜或PI薄膜。
[0021]优选地,所述透明柔性的防激光探测薄膜还包括在所述激光反射层上的钝化层。
[0022]优选地,所述钝化层为SiO2层,所述钝化层的厚度为0.1~0.3μm。
[0023]根据本专利技术的第二方面,公开了一种透明柔性的防激光探测薄膜的制备方法。该方法包括:提供透明柔性衬底;在所述透明柔性衬底上依次交替用至少两种不同折射率的介质材料形成包括多个子层的激光反射层;所述激光反射层的厚度为2.9~3.5μm;所述防激光探测薄膜对可见光具有 60%以上的透过率,对于波长在1.55μm处的激光具有90%以上的截止率,且在1.55μm波长附近具有90%以上截止率的波长范围对应的带宽不小于 100nm。
[0024]优选地,所述至少两种不同折射率的介质材料对应的多个子层的光学导纳系数匹配,所述激光反射层与所述透明柔性衬底的光学导纳系数匹配。
[0025]优选地,所述至少两种不同折射率的材料包括第一介质材料和第二介质材料,其中所述第一介质材料的折射率为1.9~2.4,所述第二介质材料的折射率为1.3~1.6;所述多个子层中任一子层的厚度为20~500nm。
[0026]优选地,所述第一介本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,包括:透明柔性衬底和生长于所述透明柔性衬底上的激光反射层;其中,所述激光反射层包括由至少两种不同折射率的介质材料交替生长而成的多个子层;所述激光反射层的厚度为2.9~3.5μm;所述防激光探测薄膜对可见光波段具有60%以上的透过率,对于波长在1.55μm处的激光具有90%以上的截止率,且在1.55μm波长附近具有90%以上截止率的波长范围对应的带宽不小于100nm。2.根据权利要求1所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述多个子层的光学导纳系数匹配,且所述激光反射层与所述透明柔性衬底的光学导纳系数匹配。3.根据权利要求1所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述至少两种不同折射率的材料包括第一介质材料和第二介质材料,其中所述第一介质材料的折射率为1.9~2.4,所述第二介质材料的折射率为1.3~1.6;所述多个子层中任一子层的厚度为20~500nm。4.根据权利要求3所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述第一介质材料选自TiO2、Ta2O5、Nb2O5、ZnO或HfO2;所述第二介质材料选自SiO2、Al2O3或BaF2。5.根据权利要求1所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述至少两种不同折射率的材料包括第一介质材料、第二介质材料和第三介质材料,其中所述第一介质材料的折射率为1.9~2.4,所述第二介质材料的折射率为1.3~1.6,所述第三介质材料的折射率大于第二介质材料的折射率且小于第一介质材料的折射率;所述多个子层中任一子层的厚度为20~500nm。6.根据权利要求5所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述第一介质材料和所述第三介质材料选自TiO2、Ta2O5、Nb2O5、ZnO或HfO2;所述第二介质材料选自SiO2、Al2O3或BaF2。7.根据权利要求3所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述激光反射层从所述透明柔性衬底出发的膜系结构为(M1/M2)^n1/M1(M1/M2)^n2/M1;其中,M1和M2分别代表由所述第一介质材料形成的层和由所述第二介质材料形成的层,n1和n2分别代表M1和M2交替生长的第一周期数和第二周期数。8.根据权利要求7所述的透明柔性的防激光探测薄膜,其特征在于,所述第一介质材料和所述第二介质材料分别为ZnO和BaF2,n1...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴国璋刘建国张阳
申请(专利权)人:吴国璋
类型:发明
国别省市:

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