一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法，装置包括：与所述手套箱可连通或闭合地连接且形成有多个通道的连通腔体，以及分别与其中一个所述通道可连通或闭合地连接的真空环境发生机构、惰性气体发生机构和样品传输机构；且，所述真空环境发生机构用于将所述连通腔体中形成为超高真空环境；所述惰性气体发生机构用于向所述连通腔体中提供惰性气体；所述样品传输机构用于将样品自所述连通腔体中转移至所述手套箱中。实现了样品在超高真空环境和可控高纯惰性气体环境之间的切换，同时整个过程能够有效保证样品的高度清洁，为后续研究提供了有利的支持的效果。持的效果。持的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法


[0001]本专利技术实施例涉及新型材料样品真空转移
，具体涉及一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法。

技术介绍

[0002]手套箱因其优良的隔离特性在医学，半导体器件，有机器件，真空镀膜，新材料的研究等领域有着广泛应用。但是，目前常见的用于凝聚态物理研究领域材料制备和表征的超高真空系统，如分子束外延，扫描隧道显微镜，光电子能谱等与手套箱之间的样品转移的兼容性存在一定的问题，在整个转移过程中，难以有效实现真空和具有一定压力环境的转换，并且，在转移过程中，转移中的样品容易受到环境的影响和污染，从而影响后续研究过程的研究结果的准确性。

技术实现思路

[0003]为此，本专利技术实施例提供一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法，通过真空环境发生机构和惰性气体发生机构的同步配合，在样品传输机构的有效协调下，实现样品在超高真空环境和可控高纯惰性气体环境之间的切换，同时整个过程能够有效保证样品的高度清洁，为后续研究提供了有利的支持。
[0004]为了实现上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，包括：与所述手套箱(1)可连通或闭合地连接且形成有多个通道(11)的连通腔体(2)，以及分别与其中一个所述通道(11)可连通或闭合地连接的真空环境发生机构(3)、惰性气体发生机构和样品传输机构(4)；且，所述真空环境发生机构(3)用于将所述连通腔体(2)中形成为超高真空环境；所述惰性气体发生机构用于向所述连通腔体(2)中提供惰性气体；所述样品传输机构(4)用于将样品自所述连通腔体(2)中转移至所述手套箱(1)中。2.根据权利要求1所述的一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，所述真空环境发生机构(3)至少包括分别与其中一个所述通道(11)可连通地设置的多个真空发生器；且，多个所述真空发生器的最大真空度不完全相同。3.根据权利要求2所述的一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，多个所述真空发生器至少包括多级真空泵组和低温吸附泵(31)。4.根据权利要求3所述的一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，多级真空泵组为具有分子泵(32)和机械泵(33)的二级真空泵组。5.根据权利要求1
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4中任意一项所述的一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，所述样品传输机构(4)包括分别与其中一个所述通道(11)可连通设置的样品转移件和样品传递件(42)；且，所述样品转移件用于将样品自外部转移至所述连通腔体(2)中，和/或将位于所述连通腔体(2)中的样品移动至所述手套箱(1)中；所述样品传递件(42)用于对位于所述连通腔体(2)中的样品在所述样品转移件之间进行传递。6.根据权利要求1
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4中任意一项所述的一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，所述连通腔体(2)上还设置有观察窗；所述连通腔体(2)、所述真空环境发生机构(3)、所述惰性气体发生机构和所述样品传输机构(4)中的至少一个安装于支架(5)上；所述真空环境发生机构(3)、所述惰性气体发生机构和所述样品传输机构(4)中的至少一个与所述连通腔体(2)之间通过闸板阀可连通或闭合地连接；所述连通腔体(2)上还连通设置有真空测量机构(6)。7.根据权利要求1
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4中任意一项所述的一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置，其特征在于，用于连接所述惰性气体发生机构的所述通道(11)中远离所述惰性气体发生机构的一端还设置有弹性气体分散件；所述弹性气体分散件至少包括与所述通道(11)的侧壁连接且向所述连通腔体(2)的内壁延伸的环状连接体(12)，以及位于所述环状连接体(12)端部的弹性气体分散球(13)，且所述弹性气体分散球(13)的直径小于所述通道(11)的直径，同时其上形成有多个气体通孔(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：武旭，许自强，胡亘宇，韩旭，乔婧思，黄元，王业亮，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：