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一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法制造方法及图纸
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下载一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法的技术资料
文档序号:34798092
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本发明实施例公开了一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法,装置包括:与所述手套箱可连通或闭合地连接且形成有多个通道的连通腔体,以及分别与其中一个所述通道可连通或闭合地连接的真空环境发生机构、惰性气体发生机构和样品传输机构;且,所述...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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