本实用新型专利技术公开了一种MOCVD气体过滤装置，涉及气体过滤技术领域。该MOCVD气体过滤装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有回收壳和液体过滤装置，所述回收壳的内部设置有筛选装置，所述回收壳的左右两壁分别固定连接有气体回收管和气体粉尘进入管。本实用新型专利技术中，电机通过主动直齿轮和从动直齿轮驱动磁性球体转动，磁性球体对气体中的金属颗粒进行吸附，转动的过程中通过限位件实现剔除，增加了对金属颗粒的回收效率，通过气体吹扫装置将氮气通过两个进气管对电机和磁性球体吹动，实现对电机降温，同时实现对磁性球体表面的灰尘吹扫，增加了过滤的效果，同时减少气体通过进料口，限位件的容纳腔内的隔板阻挡气体外流，减少对空气的污染。少对空气的污染。少对空气的污染。
【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD气体过滤装置
[0001]本技术涉及气体过滤
，尤其涉及一种MOCVD气体过滤装置。
技术介绍
[0002]MOCVD设备作为一种常用的外延生产设备，因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，在高温、密闭、低压的环境中会形成大量反应残留粉尘，且粉尘中含有较高浓度的氨气，
[0003]对比申请号：CN CN201520081766.7提供的“一种用于MOCVD机台的除尘装置”，通过离心过滤装置将粉尘在收集部件内呈漩涡状旋转，较大的粉尘颗粒沉降至收集部件底部，气体吹扫装置有效保证了吸尘器电机部件的正常工作时的散热问题及电机的清洁，减少短路现象，延长吸尘器的使用寿命，液体过滤装置有效吸收并过滤废气中的氨气及残留的固体颗粒，减小了最终排放的废气的再次污染的可能性，但是，采用离心过滤装置对粉尘颗粒的沉降时，由于金属颗粒的质量大，容易对金属颗粒进行沉降，导致对金属颗粒的回收效率不高，使用效果不好。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MOCVD气体过滤装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种MOCVD气体过滤装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有回收壳和液体过滤装置，所述回收壳的内部设置有筛选装置，所述回收壳的左右两壁分别固定连接有气体回收管和气体粉尘进入管；
[0006]所述筛选装置包括防尘壳体、电机、主动直齿轮、从动直齿轮、转轴、磁性球体、遮挡壳体、金属盛放壳体和限位件，所述防尘壳体的上端与回收壳的上壁固定连接，所述防尘壳体的另一端与金属盛放壳体固定连接，所述防尘壳体的内侧壁与电机固定连接，所述电机的输出端与主动直齿轮固定连接，所述转轴与防尘壳体转动连接，所述转轴位于防尘壳体内的一端与从动直齿轮固定连接，所述主动直齿轮与从动直齿轮相互啮合；
[0007]所述转轴的另一端贯穿防尘壳体，延伸至回收壳的右壁，且转轴与回收壳的右壁转动连接，所述转轴的外侧面与磁性球体固定连接，所述金属盛放壳体的上端与遮挡壳体固定连接，所述遮挡壳体的下表面与限位件固定连接，所述限位件的前端与磁性球体的外侧面贴合，且设置有盛放磁性球体外侧面的金属颗粒的容纳腔，所述限位件的容纳腔内转动连接有阻挡气体通过的隔板，所述限位件的容纳腔的前壁剔除磁性球体外侧面的金属颗粒，所述金属盛放壳体的内部设置有盛放金属颗粒的放置腔，且上端设置有进料口，所述金属盛放壳体的进料口与限位件的容纳腔相互连通。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述气体粉尘进入管呈L形，所述气体粉尘进入管位于回收壳内的一端朝向磁性球体，且位于磁性球体的正前方。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述回收壳的上表面固定连接有氮气供应装置和气体吹扫装置，所述氮气供应装置的输出端与气体吹扫装置固定连接，所述气体吹扫装置的输出端固定连接有两个进气管，两个所述进气管的另一端均贯穿回收壳的上壁，且分别与防尘壳体的上端、遮挡壳体的后壁固定连接。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述防尘壳体的后壁均匀开设有若干通气孔。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述回收壳内底壁放置有灰尘盛放壳，且朝向回收壳的前侧移出。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述金属盛放壳体呈直角梯形，且下壁的右端高度高于左端，所述金属盛放壳体的下端设置有出料口。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述气体回收管位于回收壳外部的一端插入至液体过滤装置的内部的吸收溶液中，所述液体过滤装置的左端设置有排液阀。
[0020]作为上述技术方案的进一步描述：
[0021]所述液体过滤装置的上端固定连接有排气管，所述排气管的另一端固定连接有MOCVD排风管道。
[0022]本技术具有如下有益效果：
[0023]1、本技术中，电机通过主动直齿轮和从动直齿轮驱动磁性球体转动，磁性球体对气体中的金属颗粒进行吸附，转动的过程中通过限位件实现剔除，增加了对金属颗粒的回收效率。
[0024]2、本技术中，通过气体吹扫装置将氮气通过两个进气管对电机和磁性球体吹动，实现对电机降温，同时实现对磁性球体表面的灰尘吹扫，增加了过滤的效果，同时减少气体通过进料口，限位件的容纳腔内的隔板阻挡气体外流，减少对空气的污染。
[0025]3、本技术中，通过液体过滤装置实现对气体中的氨气等气体被水吸收，细小粉尘进一步被水沉降、过滤，吸收后的液体供回收再利用，节约资源的使用。
附图说明
[0026]图1为本技术提出的一种MOCVD气体过滤装置的结构图；
[0027]图2为本技术提出的一种MOCVD气体过滤装置的正视图；
[0028]图3为本技术提出的一种MOCVD气体过滤装置的正向剖视图；
[0029]图4为本技术提出的一种MOCVD气体过滤装置的俯向剖视图；
[0030]图5为本技术提出的一种MOCVD气体过滤装置的遮挡壳体和限位件的结构图；
[0031]图6为本技术提出的一种MOCVD气体过滤装置的金属盛放壳的局部剖视图。
[0032]图例说明：
[0033]1、底座；2、回收壳；3、气体粉尘进入管；4、进气管；5、气体吹扫装置；6、氮气供应装置；7、气体回收管；8、MOCVD排风管道；9、排气管；10、液体过滤装置；11、灰尘盛放壳；12、转轴；13、磁性球体；14、从动直齿轮；15、主动直齿轮；16、电机；17、防尘壳体；18、遮挡壳体；
19、限位件；20、金属盛放壳体；21、出料口；22、进料口。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]参照图1
‑
6，本技术提供的一种实施例：一种MOCVD气体过滤装置，包括底座1，底座1的上表面固定连接有回收壳2和液体过滤装置10，回收壳2的内部设置有筛选装置，回收壳2的左右两壁分别固定连接有气体回收管7和气体粉尘进入管3，气体粉尘进入管3呈L形，气体粉尘进入管3位于回收壳2内的一端朝向磁性球体13，且位于磁性球体13的正前方，使得气体和分成与磁性球体13充分接触。
[0036]筛选装置包括防尘壳体17、电机16、主动直齿轮15、从动直齿轮14、转轴12、磁性球体13、遮挡壳体18、金属盛放壳体20和限位件19，防尘壳体17的后壁均匀开设有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种MOCVD气体过滤装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有回收壳(2)和液体过滤装置(10)，所述回收壳(2)的内部设置有筛选装置，所述回收壳(2)的左右两壁分别固定连接有气体回收管(7)和气体粉尘进入管(3)；所述筛选装置包括防尘壳体(17)、电机(16)、主动直齿轮(15)、从动直齿轮(14)、转轴(12)、磁性球体(13)、遮挡壳体(18)、金属盛放壳体(20)和限位件(19)，所述防尘壳体(17)的上端与回收壳(2)的上壁固定连接，所述防尘壳体(17)的另一端与金属盛放壳体(20)固定连接，所述防尘壳体(17)的内侧壁与电机(16)固定连接，所述电机(16)的输出端与主动直齿轮(15)固定连接，所述转轴(12)与防尘壳体(17)转动连接，所述转轴(12)位于防尘壳体(17)内的一端与从动直齿轮(14)固定连接，所述主动直齿轮(15)与从动直齿轮(14)相互啮合；所述转轴(12)的另一端贯穿防尘壳体(17)，延伸至回收壳(2)的右壁，且转轴(12)与回收壳(2)的右壁转动连接，所述转轴(12)的外侧面与磁性球体(13)固定连接，所述金属盛放壳体(20)的上端与遮挡壳体(18)固定连接，所述遮挡壳体(18)的下表面与限位件(19)固定连接，所述限位件(19)的前端与磁性球体(13)的外侧面贴合，且设置有盛放磁性球体(13)外侧面的金属颗粒的容纳腔，所述限位件(19)的容纳腔内转动连接有阻挡气体通过的隔板，所述限位件(19)的容纳腔的前壁剔除磁性球体(13)外侧面的金属颗粒，所述金属盛放壳体(20)的内部设置有盛放金属颗粒的放置腔，且上端设置有进料口(22)，所述金属盛放壳体(20)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈凯辉，李中云，
申请(专利权)人：申集半导体科技徐州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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