一种MOCVD用的废气收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种MOCVD用的废气收集装置，涉及MOCVD技术领域。该一种MOCVD用的废气收集装置，包括处理箱，所述处理箱上端的左侧固定连接有进料管，所述处理箱内部的上侧设置有喷洒机构，所述处理箱的左右内壁之间设置有过滤机构，所述处理箱的右侧固定连接有出料管，所述出料管的右侧固定连接有收集箱，所述处理箱下端的左侧固定连接有排水管。本实用新型专利技术中，通过设置有连通板、喷头、滤板、处理箱与排水管，使废气通过进料管进入到处理箱进行喷洒与过滤处理，对废气中大部分杂质进行处理，减少后期处理废气的工作量。减少后期处理废气的工作量。减少后期处理废气的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD用的废气收集装置


[0001]本技术涉及MOCVD
，尤其涉及一种MOCVD用的废气收集装置。

技术介绍

[0002]MOCVD是金属有机物化学气相淀积，采用将液态源送入汽化室得到气态源物质，再经过流量控制送入反应室，或者直接向反应室注入液态先体，在反应室内汽化和沉积，这种方式的优点是简化了源输送方式，对材料的要求降低，便于实现多种薄膜的交替沉积以获得超品格结构等。
[0003]经过检索，申请号为“201821568691.5”，提供了一种LED行业MOCVD设备用尾气收集环，通过真空泵将反应釜中的尾气进行收集，尾气中的未能进行沉积的尾气在经过支架上的气囊进行沉积，减少了半圆块上过多的沉积进而导致堵塞，同时当气囊的表面沉积到一定的程度时可以通过气管对气囊进行放气使得在气囊上沉积的粉尘进行掉落，从而对气囊进行清洁，避免了堵塞情况的发生，保证了尾气装置运行的正常运行。但仍存在不足，收集的气体需要后期使用废气处理装置来对废气进行处理，增加工作人员的工作量，效率不高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MOCVD用的废气收集装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种MOCVD用的废气收集装置，包括处理箱，所述处理箱上端的左侧固定连接有进料管，所述处理箱内部的上侧设置有喷洒机构，所述处理箱的左右内壁之间设置有过滤机构，所述处理箱的右侧固定连接有出料管，所述出料管的右侧固定连接有收集箱，所述处理箱下端的左侧固定连接有排水管；
[0006]所述喷洒机构包括水箱，所述水箱固定连接在收集箱的上侧，所述处理箱内部的上侧固定连接有支撑杆，所述支撑杆的下侧固定连接有连通板，所述连通板的下侧固定连接有喷头；
[0007]所述过滤机构包括滑槽，所述滑槽开设在处理箱的左右两侧，所述滑槽的内侧滑动连接有滑块，所述滑块的内侧转动连接有转杆，左右两侧所述转杆之间且位于处理箱的内部固定连接有滤板，所述处理箱的左侧且位于滑块的下侧固定连接有液压缸，所述处理箱的左侧内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的右侧固定连接有刮板。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述水箱内部设置有水泵，所述水泵的输出端与连通板之间固定连接有连接管。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述进料管与出料管的内壁均设置有滤网。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]左侧所述滑块的上侧与左侧滑槽的上侧之间固定连接有电动伸缩杆。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]左侧所述转杆的左端穿过滑块且固定连接有转盘。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述连通板为中空结构设置。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述处理箱的前侧固定连接有前板，所述前板的前侧设置有观察窗。
[0020]本技术具有如下有益效果：
[0021]1、本技术中，通过设置有连通板、喷头、滤板、处理箱与排水管，使废气通过进料管进入到处理箱进行喷洒与过滤处理，对废气中大部分杂质进行处理，减少后期处理废气的工作量。
[0022]2、本技术中，通过设置有滑槽、滑块、转杆、液压杆刮板，使滤板上下两侧积累的杂质被清除掉，增加滤板过滤性能，避免影响到废气的处理，效果。
附图说明
[0023]图1为本技术提出的一种MOCVD用的废气收集装置去除前板的立体结构图；
[0024]图2为本技术提出的一种MOCVD用的废气收集装置去除前板的正视内部图；
[0025]图3为本技术提出的一种MOCVD用的废气收集装置的侧视图；
[0026]图4为本技术提出的一种MOCVD用的废气收集装置的正视图。
[0027]图例说明：
[0028]1、处理箱；2、收集箱；3、喷洒机构；301、水箱；302、连接管；303、支撑杆；304、连通板；305、喷头；4、过滤机构；401、滑槽；402、电动伸缩杆；403、滑块；404、转杆；405、转盘；406、滤板；407、液压缸；408、液压杆；409、刮板；5、排水管；6、进料管；7、出料管；8、前板；9、观察窗。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]参照图1
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4，本技术提供的一种实施例：一种MOCVD用的废气收集装置，包括处理箱1，处理箱1上端的左侧固定连接有进料管6，处理箱1内部的上侧设置有喷洒机构3，喷洒机构3便于将废气中溶于水的物质打落下来，便于后面收集处理好的废气，处理箱1的左右内壁之间设置有过滤机构4，过滤机构4便于过滤较大的杂质，并把在滤板406上的杂质清理掉，增加废气处理效果，处理箱1的右侧固定连接有出料管7，出料管7的右侧固定连接有收集箱2，收集箱2收集处理好的废气，处理箱1下端的左侧固定连接有排水管5，处理箱1的前侧固定连接有前板8，前板8的前侧设置有观察窗9，观察窗9便于对观察滤板406上杂质的含量，较多时工作人员可以及时进行清理，进料管6与出料管7的内壁均设置有滤网，滤网便于对废气中颗粒较大的杂质过滤下来。
[0031]喷洒机构3包括水箱301，水箱301固定连接在收集箱2的上侧，处理箱1内部的上侧
固定连接有支撑杆303，支撑杆303的下侧固定连接有连通板304，连通板304为中空结构设置，连通板304的下侧固定连接有喷头305，水箱301内部设置有水泵，水泵的输出端与连通板304之间固定连接有连接管302，在使用时，将水泵与外部电源连接，水泵抽离出水箱301内部的水，通过连接管302通入到连通板304中，然后水流入到喷头305处，喷头305喷出水雾，使废气中溶于水物质被冲落下去，其余的气体会进入到收集箱2中收集。
[0032]过滤机构4包括滑槽401，滑槽401开设在处理箱1的左右两侧，滑槽401的内侧滑动连接有滑块403，滑块403的内侧转动连接有转杆404，左右两侧转杆404之间且位于处理箱1的内部固定连接有滤板406，处理箱1的左侧且位于滑块403的下侧固定连接有液压缸407，处理箱1的左侧内壁固定连接有液压杆408，液压杆408的右侧固定连接有刮板409，左侧滑块403的上侧与左侧滑槽401的上侧之间固定连接有电动伸缩杆402，左侧转杆404的左端穿过滑块403且固定连接有转盘405，在使用时，废气中溶于水的物质会落入到滤板406上，其中较大的物质会被过滤下来，便于对废气与水反应进行处理，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD用的废气收集装置，包括处理箱(1)，其特征在于：所述处理箱(1)上端的左侧固定连接有进料管(6)，所述处理箱(1)内部的上侧设置有喷洒机构(3)，所述处理箱(1)的左右内壁之间设置有过滤机构(4)，所述处理箱(1)的右侧固定连接有出料管(7)，所述出料管(7)的右侧固定连接有收集箱(2)，所述处理箱(1)下端的左侧固定连接有排水管(5)；所述喷洒机构(3)包括水箱(301)，所述水箱(301)固定连接在收集箱(2)的上侧，所述处理箱(1)内部的上侧固定连接有支撑杆(303)，所述支撑杆(303)的下侧固定连接有连通板(304)，所述连通板(304)的下侧固定连接有喷头(305)；所述过滤机构(4)包括滑槽(401)，所述滑槽(401)开设在处理箱(1)的左右两侧，所述滑槽(401)的内侧滑动连接有滑块(403)，所述滑块(403)的内侧转动连接有转杆(404)，左右两侧所述转杆(404)之间且位于处理箱(1)的内部固定连接有滤板(406)，所述处理箱(1)的左侧且位于滑块(403)的下侧固定连接有液压缸(407)，所述处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，李中云，
申请(专利权)人：申集半导体科技徐州有限公司，
类型：新型
国别省市：