一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件制造技术

本发明专利技术公开了一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件，涉及陀螺仪领域。包括壳体，壳体内设置有硅基光波导芯片，硅基光波导芯片上设置有若干平行的U形波导，且若干U形波导的输入端通过分束器连接有公共输入保偏光纤；硅基光波导芯片的输出端连接有铌酸锂芯片；铌酸锂芯片上设置有与U形波导数量对应的若干Y波导，U形波导的输出端与Y波导的输入端一一对应连接，Y波导的两个输出端均连接有输出保偏光纤。本发明专利技术通过硅基光波导芯片、铌酸锂芯片以及信号转接板等光学器件封装在一个壳体内，将光纤陀螺仪的光学器件整合，有效减少体积和重量，从而满足小型化、轻量化系统的使用需求。使用需求。使用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件


[0001]本专利技术涉及陀螺仪领域，具体涉及一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件。

技术介绍

[0002]光纤陀螺仪是一种全固态惯性仪表，它具有传统机电仪表所不具备的优点。它是由光学器件和电子器件组成的闭环系统，通过检测两束光的相位差来确定自身角速度，因此在结构上它是完全固态化的陀螺仪，没有任何运动部件。光纤陀螺仪拥有着全固态、长寿命以及高可靠性的特点，广泛用于许多应用领域。
[0003]现有的冗余型多轴光纤陀螺仪通常采用双光源方案或单光源方案，光学器件（不包括光纤环）的数量都较多，较多的光学器件导致尾纤多、熔点多，以双光源的四轴光纤陀螺仪为例，光路中包含了16只光学器件、46根尾纤、和22个熔点，极大的增加了装配工艺的难度。公开号为CN109612452A的《用于三轴光纤陀螺的硅基
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LN基混合集成光学芯片》专利技术专利公开了一种用于三轴光纤陀螺仪的混合集成光学芯片，将用于三轴光纤陀螺仪的光学器件集成，但是，该方案具有以下缺点：1、该方案的硅基芯片的第1耦合器、第2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设置有硅基光波导芯片，所述硅基光波导芯片上设置有若干平行的U形波导，且若干所述U形波导的输入端通过分束器连接有公共输入保偏光纤；所述硅基光波导芯片的输出端连接有铌酸锂芯片；所述铌酸锂芯片上设置有与U形波导数量对应的若干Y波导，所述U形波导的输出端与Y波导的输入端一一对应连接，所述Y波导的两个输出端均连接有输出保偏光纤。2.根据权利要求1所述的多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件，其特征在于，所述U形波导上设置有2
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2耦合器，所述2
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2耦合器通过硅基波导连接有废端和探测器；所述硅基波导、废端和探测器均设置在硅基光波导芯片上；所述壳体内设置有用于转接探测器的输出信号和Y波导的调制信号的信号转接板组；所述壳体内还设置有与信号转接板组连接的若干信号管脚，且所述信号管脚的数量不少于光纤陀螺轴数的4倍。3.根据权利要求1所述的多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件，其特征在于，所述U形波导的数量与陀螺仪的轴的数量一致。4.根据权利要求2所述的多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件，其特征在于，所述硅基光波导芯片上设置有探测器贴片凹坑，所述探测器固定在探测器贴片凹坑中，且所述硅基波导对准探测器的光敏面中心，所述探测器的四周与探测器贴片凹坑的四周留有均匀的间隙。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：段启航，徐金涛，刘尚波，范建强，李楼，王嘉，杨一凤，王辉，
申请(专利权)人：西安中科华芯测控有限公司，
类型：发明
国别省市：