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一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件制造技术
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文档序号:34789725
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本发明公开了一种多轴一体化光纤陀螺仪用混合集成光学器件,涉及陀螺仪领域。包括壳体,壳体内设置有硅基光波导芯片,硅基光波导芯片上设置有若干平行的U形波导,且若干U形波导的输入端通过分束器连接有公共输入保偏光纤;硅基光波导芯片的输出端连接有铌酸...
该专利属于西安中科华芯测控有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安中科华芯测控有限公司授权不得商用。
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