本实用新型专利技术公开的属于腐蚀机配件技术领域，具体为一种半导体腐蚀机用定位装置，所述定位台的侧壁滑动连接有升降架，所述定位台的顶部镶嵌有升降板，所述升降板的顶部卡扣连接有定位块，所述定位台的侧壁通过螺丝固定连接所述侧架，所述侧架的侧壁通过螺丝固定连接有安装板，该种半导体腐蚀机用定位装置，在腐蚀机的内部设置固定板，对整体定位装置进行固定，并在固定板的顶部连接定位台，定位台的侧面连接由电机驱动的驱动轴，驱动轴带动驱动齿后使升降架携带升降板上移，上移后使携带芯片的定位块与定位板组合，定位快速，且定位板对定位槽板进行一次定位，定位槽板对升降板上的定位块进行二次定位，双重定位方式使定位更稳定。定。定。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体腐蚀机用定位装置
[0001]本技术涉及腐蚀机配件
，具体为一种半导体腐蚀机用定位装置。
技术介绍
[0002]半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
[0003]而在半导体的加工中就包含有半导体腐蚀机，腐蚀机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，半导体腐蚀机中包含有定位装置。
[0004]现有的半导体腐蚀机定位装置在进行定位时，速度较慢，且定位方式简单，缺少多重定位方式，使定位过程不稳定，影响了实际加工的效果。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种半导体腐蚀机用定位装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的半导体腐蚀机定位装置在进行定位时，速度较慢，且定位方式简单，缺少多重定位方式，使定位过程不稳定，影响了实际加工的效果的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]定位台，所述定位台的侧壁滑动连接有升降架，所述定位台的顶部镶嵌有升降板，所述升降板的顶部卡扣连接有定位块；
[0008]侧架，所述定位台的侧壁通过螺丝固定连接所述侧架，所述侧架的侧壁通过螺丝固定连接有安装板，所述安装板的侧壁镶嵌有电机，所述电机的输出端通过联轴器连接有驱动轴，所述驱动轴的圆周外壁套接有驱动齿；
[0009]固定板，所述侧架的底部通过螺丝固定连接所述固定板，所述固定板的顶部卡扣连接有支架；
[0010]定位板，所述定位板的底部通过螺丝固定连接所述支架，所述定位板的侧壁镶嵌有与所述定位块相匹配的定位槽板；
[0011]腐蚀机，所述腐蚀机的内腔底部通过螺丝固定连接所述固定板，所述腐蚀机的前侧壁通过螺丝固定连接有电性串联所述电机的控制器。
[0012]优选的，所述升降架的前侧壁一体成型连接有与所述驱动齿相匹配的啮合齿，所述定位块的顶部一体成型连接有定位孔。
[0013]优选的，所述定位板的侧壁通过螺丝固定连接有护板，所述定位板的顶部一体成型连接有与所述定位槽板相匹配的槽体。
[0014]优选的，所述固定板的底部通过螺丝固定连接所述腐蚀机，所述腐蚀机的侧壁通
过螺丝固定连接有进料仓。
[0015]优选的，所述腐蚀机的底部通过螺栓固定连接有携带翻盖的料仓。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该种半导体腐蚀机用定位装置，通过配件的组合运用，在腐蚀机的内部设置固定板，对整体定位装置进行固定，并在固定板的顶部连接定位台，定位台的侧面连接由电机驱动的驱动轴，驱动轴带动驱动齿后使升降架携带升降板上移，上移后使携带芯片的定位块与定位板组合，定位快速，且定位板对定位槽板进行一次定位，定位槽板对升降板上的定位块进行二次定位，双重定位方式使定位更稳定。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术定位板示意图；
[0019]图3为本技术与腐蚀机组装示意图。
[0020]图中：100定位台、110升降架、120升降板、130定位块、131定位孔、200侧架、210安装板、220电机、230驱动轴、240驱动齿、300固定板、310支架、400定位板、410护板、420定位槽板、500腐蚀机、510进料仓、520料仓、530翻盖、540控制器。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术提供一种半导体腐蚀机用定位装置，通过配件的组合运用，腐蚀机的内部设置固定板，对整体定位装置进行固定，并在固定板的顶部连接定位台，定位台的侧面连接由电机驱动的驱动轴，驱动轴带动驱动齿后使升降架携带升降板上移，上移后使携带芯片的定位块与定位板组合，定位快速，且定位板对定位槽板进行一次定位，定位槽板对升降板上的定位块进行二次定位，双重定位方式使定位更稳定，请参阅图1、图2和图3，包括定位台100、侧架200、固定板300、定位板400和腐蚀机500；
[0023]请再次参阅图1，定位板100的侧壁设置有升降架110，具体的，所述定位台100的侧壁滑动连接有升降架110，所述定位台100的顶部镶嵌有升降板120，所述升降板120的顶部卡扣连接有定位块130；
[0024]请再次参阅图1，侧架200的侧壁连接定位板100，具体的，所述定位台100的侧壁通过螺丝固定连接所述侧架200，所述侧架200的侧壁通过螺丝固定连接有安装板210，所述安装板210的侧壁镶嵌有电机220，所述电机220的输出端通过联轴器连接有驱动轴230，所述驱动轴230的圆周外壁套接有驱动齿240；
[0025]请再次参阅图1，固定板300的顶部与定位台100连接，具体的，所述侧架200的底部通过螺丝固定连接所述固定板300，所述固定板300的顶部卡扣连接有支架310；
[0026]请再次参阅图1和图2，定位板400的底部与支架310连接，具体的，所述定位板400的底部通过螺丝固定连接所述支架310，所述定位板400的侧壁镶嵌有与所述定位块130相匹配的定位槽板420；
[0027]请再次参阅图1和图3，腐蚀机500的内腔固定连接有固定板300，具体的，所述腐蚀机500的内腔底部通过螺丝固定连接所述固定板300，所述腐蚀机500的前侧壁通过螺丝固定连接有电性串联所述电机220的控制器540。
[0028]在具体使用时，首先在定位台100的顶部连接升降架110，升降架110的侧面设置滑动连接的升降板120，在定位台100的侧面设置携带安装板210的侧架200，并在安装板210上连接电机220，电机220驱动携带驱动齿240的驱动轴230，驱动齿240与升降架110啮合后，对升降架110顶部的升降板120带动，升降板120的顶部具有安装芯片的定位块130，定位快速，且支架310顶部的定位板400对定位槽板420进行一次定位，定位槽板420对升降板120上的定位块130进行二次定位，双重定位方式使定位更稳定；
[0029]请再次参阅图1，为了便于进行传动的过程中对升降架110进行带动，具体的，所述升降架110的前侧壁一体成型连接有与所述驱动齿240相匹配的啮合齿，所述定位块130的顶部一体成本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体腐蚀机用定位装置，其特征在于：包括：定位台(100)，所述定位台(100)的侧壁滑动连接有升降架(110)，所述定位台(100)的顶部镶嵌有升降板(120)，所述升降板(120)的顶部卡扣连接有定位块(130)；侧架(200)，所述定位台(100)的侧壁通过螺丝固定连接所述侧架(200)，所述侧架(200)的侧壁通过螺丝固定连接有安装板(210)，所述安装板(210)的侧壁镶嵌有电机(220)，所述电机(220)的输出端通过联轴器连接有驱动轴(230)，所述驱动轴(230)的圆周外壁套接有驱动齿(240)；固定板(300)，所述侧架(200)的底部通过螺丝固定连接所述固定板(300)，所述固定板(300)的顶部卡扣连接有支架(310)；定位板(400)，所述定位板(400)的底部通过螺丝固定连接所述支架(310)，所述定位板(400)的侧壁镶嵌有与所述定位块(130)相匹配的定位槽板(420)；腐蚀机(500)，所述腐蚀机(500)的内腔底部通过螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：王健，
申请(专利权)人：无锡鼎炻电子工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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