本发明专利技术提供一种灯具、多灯装置和快速热退火机，所述灯具包括，灯管基座，所述灯管基座具有一容置孔，所述容置孔的内侧设有第一对齐基准结构；灯管，所述灯管的外侧设有第二对齐基准结构，所述灯管与所述容置孔的形状相适应，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构的形状相适应，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构配合；灯泡，所述灯泡连接所述灯管的第二端，并通过所述灯管与所述灯管基座电性连接。本发明专利技术提供的灯具、多灯装置和快速热退火机，提高了所述灯具的安装效率，以及解决了多个灯具之间最亮点的间距不统一的问题。多个灯具之间最亮点的间距不统一的问题。多个灯具之间最亮点的间距不统一的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种灯具、多灯装置和快速热退火机
[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种灯具、多灯装置和快速热退火机。
技术介绍
[0002]在半导体制造领域中，当在快速热退火机台内进行灯具安装时，需要工程师手动校正灯管位置，并将校正后的灯管安插到灯管基座内部，具体的，请参见图1，图1为现有技术的灯具设计图，从图中可以看出，现有灯管101的两根导电触角需要以垂直角度插入现有灯管基座200中，因此所需安装时间较长，安装难度大，且准确率低。同时由于现有灯管101与现有灯管基座200之间无法一次插入从而产生反复摩擦，在反复摩擦过程中容易产生较多次生因素，影响安装效率，并降低生产效率。另外请继续参见图2，图2为数个灯具组合安装后俯视图，从图中可以看出，由于现有灯管101设计为圆周型，所以将现有灯管101旋转180
°
之后依然可以安插到现有灯管基座200上，因此容易出现安装基板600内部多个现有灯泡100在发光时，各个现有灯泡101的最亮点存在6点或者12点两种方向，以及最亮点之间间距不一致的现象。而在28nm制程及以下，该现象会影响产品良率。
[0003]因此，如何提供一种灯具、多灯装置和快速热退火机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种灯具、多灯装置和快速热退火机，以解决现有技术存在的灯具安装效率低，以及腔体内因灯具的安装间距不一致而导致的产品良率的问题。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种灯具，包括：灯管基座，所述灯管基座具有一容置孔，所述容置孔的内侧设有第一对齐基准结构；
[0006]灯管，所述灯管的外侧设有第二对齐基准结构，所述灯管与所述容置孔的形状相适应，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构的形状相适应，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构配合；
[0007]灯泡，所述灯泡连接所述灯管的第二端，并通过所述灯管与所述灯管基座电性连接。
[0008]可选的，所述容置孔为圆柱形，所述容置孔的内侧具有一上下贯通的第一切面，所述第一切面作为所述第一对齐基准结构；所述灯管为一圆柱体，所述灯管的外侧具有第二切面，所述第二切面作为所述第二对齐基准结构，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述第一切面与所述第二切面贴合。
[0009]可选的，所述容置孔的内侧具有凹面，所述凹面作为所述第一对齐基准结构，所述灯管的外侧具有凸面，所述凸面作为所述第二对齐基准结构，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述凸面与所述凹面贴合。
[0010]可选的，所述容置孔的内侧具有凸面，所述凸面作为所述第一对齐基准结构，所述灯管的外侧具有凹面，所述凸面作为所述第二对齐基准结构，所述灯管的第一端插入所述
容置孔内时，所述凸面与所述凹面贴合。
[0011]可选的，所述凹面及所述凸面的形状为弧形、V型、锯齿形或波浪形。
[0012]可选的，所述灯管的第一端上设有至少两个电性连接件，所述容置孔的底部还设有安装孔，所述安装孔与所述电性连接件一一对应；
[0013]所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述电性连接件插入相应的所述安装孔内，所述灯管通过所述电性连接件与所述灯管基座电性连接。
[0014]可选的，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述灯管的第二端的端面与所述容置孔的开口面齐平，所述灯泡高于所述容置孔的开口面。
[0015]可选的，所述灯泡与所述灯管间连接方式为一体成型。
[0016]本专利技术又提供了一种多灯装置，包括：安装基板以及至少两个上述任一项所述的灯具；
[0017]其中，所述灯具的灯管基座设置在所述安装基板上，且每个所述灯管基座的第一对齐基准结构的朝向相同。
[0018]本专利技术还提供了一种快速热退火机，包括所述多灯装置。
[0019]与现有技术相比，本专利技术提供的一种灯具、多灯装置和快速热退火机具有以下有益效果：
[0020]本专利技术提供的一种灯具，包括，灯管基座，所述灯管基座具有一容置孔，所述容置孔的内侧设有第一对齐基准结构；灯管，所述灯管的外侧设有第二对齐基准结构，所述灯管与所述容置孔的形状相适应，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构的形状相适应，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构配合；灯泡，所述灯泡连接所述灯管的第二端，并通过所述灯管与所述灯管基座电性连接。本专利技术提供的灯具通过在所述容置孔的内侧设置第一对齐基准结构，以及在所述灯管的侧面设置第二对齐基准结构，使得操作人员能够通过所述第一对齐基准结构和所述第二对齐基准结构快速找准所述灯管的安装方向，从而保障了所述灯管以固定的安装方向连接至所述灯管基座上，并由此提高了所述灯具安装效率和生产效率。
[0021]本专利技术提供的一种多灯装置，包括安装基板和所述灯具；其中，所述至少两个灯管基座均匀的设置在所述安装基板上，且每个所述灯管基座的所述第一对齐基准结构均面向同一方向。如此设置，所述多灯装置通过将每个所述第一对齐基准结构的方向同一，使得后续插入所述灯管基座内的每个所述灯管的方向相同，由此保障了设置在所述安装基板上的每个所述灯泡间的间距与方向相同，从而解决了所述灯具之间在腔体内间距不统一的问题，并因此提高了产品良率。
[0022]由于本专利技术提供的快速热退火机与本专利技术提供的所述多灯装置属于同一专利技术构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此不再一一赘述。
附图说明
[0023]图1为现有技术提供的灯具的结构示意图；
[0024]图2为数个灯具组合安装后的俯视图；
[0025]图3为本专利技术一实施例提供的灯具结构图；
[0026]图4为本专利技术一实施例提供的多灯装置的俯视图；
[0027]图5为本专利技术一实施例提供的多灯装置的纵截面图；
[0028]其中，附图标记如下：
[0029]100
‑
现有灯泡，101
‑
现有灯管，200
‑
现有灯管基座，300
‑
灯泡，400
‑
灯管，401
‑
第二对齐基准结构，402
‑
电性连接件，500
‑
灯管基座，501
‑
第一对齐基准结构，502
‑
安装孔，503
‑
容置孔，600
‑
安装基板。
具体实施方式
[0030]下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本专利技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本专利技术某些原理的图示性特征也会采取略微简本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种灯具，其特征在于，包括：灯管基座，所述灯管基座具有一容置孔，所述容置孔的内侧设有第一对齐基准结构；灯管，所述灯管的外侧设有第二对齐基准结构，所述灯管与所述容置孔的形状相适应，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构的形状相适应，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述第一对齐基准结构与所述第二对齐基准结构配合；灯泡，所述灯泡连接所述灯管的第二端，并通过所述灯管与所述灯管基座电性连接。2.如权利要求1所述的一种灯具，其特征在于，所述容置孔为圆柱形，所述容置孔的内侧具有一上下贯通的第一切面，所述第一切面作为所述第一对齐基准结构；所述灯管为一圆柱体，所述灯管的外侧具有第二切面，所述第二切面作为所述第二对齐基准结构，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述第一切面与所述第二切面贴合。3.如权利要求1所述的一种灯具，其特征在于，所述容置孔的内侧具有凹面，所述凹面作为所述第一对齐基准结构，所述灯管的外侧具有凸面，所述凸面作为所述第二对齐基准结构，所述灯管的第一端插入所述容置孔内时，所述凸面与所述凹面贴合。4.如权利要求1所述的一种灯具，其特征在于，所述容置孔的内侧具有凸面，所述凸面作为所述第一对齐基准结构，所述灯...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘诗芳，张聪，王旭冬，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。