本实用新型专利技术公开了一种蒸镀装置,在其外部设置有抽真空装置，包括：真空腔，所述真空腔与抽真空装置连接，抽真空装置抽取真空腔内的空气，使得真空腔内部形成真空环境；薄膜，所述薄膜设置在真空腔的内部；蒸发器，所述蒸发器设置在薄膜下方，所述蒸发器内部设置有铝液，由于氧化铝纯度高，更易附着在薄膜表面，增强附着力，且形成的陶瓷涂层密度大，孔隙少，因此使用铝液进行蒸发，通过蒸发器将铝液气化形成铝蒸汽上升；至少一组等离子发生器，所述等离子发生器设置在薄膜和蒸发器之间，铝蒸汽在上升的过程中先经过等离子发生器，离子发生器对铝蒸汽进行提纯；至少一组供氧器，所述供氧器安装在薄膜和等离子发生器之间。装在薄膜和等离子发生器之间。装在薄膜和等离子发生器之间。
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置
[0001]本实用蒸镀领域，具体地说，是关于一种蒸镀装置。
技术介绍
[0002]锂离子电池是一种二次电池(充电电池)，它主要依靠锂离子在正极和负极之间移动来工作。在充放电过程中，锂离子在两个电极之间往返嵌入和脱嵌：充电时，锂离子从正极脱嵌，经过电解质嵌入负极，负极处于富锂状态；放电时则相反。
[0003]在锂离子电池具有微孔结构的聚烯烃类隔膜材料，目前该隔膜主要通过流延镀膜、浸渍镀膜或真空镀膜方式形成。流延镀膜和浸渍镀膜是将陶瓷粉与粘结剂等分散在溶剂中形成浆料，再在聚烯烃隔膜基材表面形成陶瓷涂层，此方法形成陶瓷涂层的工艺复杂、时间长，效率低。传统的真空镀膜设备制得的隔膜材料中陶瓷材料与薄膜的粘合力不强，容易出现大量孔隙。
技术实现思路
[0004]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种蒸镀装置。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种蒸镀装置,其中蒸镀装置外部设置有抽真空装置，包括：
[0006]真空腔，所述真空腔与抽真空装置连接；
[0007]薄膜，所述薄膜设置在真空腔的内部；
[0008]蒸发器，所述蒸发器设置在薄膜下方，所述蒸发器设置在薄膜下方，所述蒸发器内部设置有铝液，由于氧化铝纯度高，更易附着在薄膜表面，增强附着力，且形成的陶瓷涂层密度大，孔隙少，镀有陶瓷涂层的薄膜的耐温性能更好，因此使用铝液进行蒸发，通过蒸发器将铝液气化形成铝蒸汽上升；
[0009]至少一组等离子发生器，所述等离子发生器设置在薄膜和蒸发器之间，所述等离子发生器设置在薄膜和蒸发器之间，所述等离子发生器中放置有氩气，铝蒸汽在上升的过程中先经过等离子发生器，离子发生器中氩气和高压电流的作用下使得铝蒸汽内部的杂质下沉，从而对铝蒸汽进行提纯，且所述等离子发生器设置有两组，且对称设置在蒸发器上；
[0010]等离子固定机构，所述等离子固定机构一端与等离子发生器可转动连接，另一端与真空腔内壁固定连接。
[0011]所述等离子固定机构包括：
[0012]基座，所述基座与真空腔内部固定连接；
[0013]伸缩杆，所述伸缩杆与基座固定连接；
[0014]球形转动机构，所述球形转动机构设置在伸缩杆的输出端；
[0015]所述球形转动机构包括
[0016]转动支架，所述转动支架与伸缩杆的输出端固定连接；
[0017]球体，所述球体嵌于转动支架中，且球体突出转动支架，并与等离子发生器固定连
接；
[0018]马达，所述马达设置在支架内部；
[0019]转轮，所述转轮设置在马达的输出端，所述转轮上设置有连杆；
[0020]连接杆，所述连接杆的一端与连杆铰连接，另一端与球体铰连接；
[0021]通过马达转动转轮带动连接杆，从而控制球体的转动角度，使得固定在球体上等离子发生器发生角度上的变化，通过伸缩杆控制两组球形转机构之间的距离，从而实现使得通过两组等离子发生器之间的蒸镀蒸汽通过的量，使得在喷射在薄膜上被提纯的蒸汽得到控制，避免材料的浪费。
[0022]至少一组供氧器，所述供氧器安装在薄膜和等离子发生器之间，所述供氧器共设置有两组，且对称设置在薄膜下方。
[0023]优选地，还包括外部电源，所述外部电源设置在蒸镀装置外侧。
[0024]优选地，所述等离子发生器、等离子固定机构、蒸发器、供氧器和抽真空装置均与外部电源电性连接。
[0025]本技术的有益效果是
[0026]铝在气化后先通过等离子发生器，在等离子发生器中氩气和高压电流的作用下杂质下沉，铝分子在沉积的过程中纯度更高，以致铝分子结晶度更高，在铝分子氧化的过程中形成纯度更高的氧化铝，减少因溅射导致的孔隙，增强密度性，从而增强其与薄膜的附着力，提高了耐温性能。
附图说明
[0027]图1为本技术一较佳实施例的蒸镀装置的结构示意图；
[0028]图2为本技术一较佳实施例的蒸镀装置中等离子固定机构的结构示意图；
[0029]图3为本技术一较佳实施例的蒸镀装置中转动支架的结构示意图。
[0030]图中：1、真空腔；2、薄膜；3、蒸发器；4、等离子发生器；5、供氧器；6、抽真空装置；7、外部电源；8、等离子固定机构；9、伸缩杆；10、球形转动机构；11、转动支架；12、球体；13、马达；14、转轮；15、连接杆。
具体实施方式
[0031]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0032]参见附图1所示，本实施例为一种蒸镀装置,在蒸镀装置外部设置有抽真空装置6，蒸镀装置包括：与抽真空装置6连接的真空腔1，在真空腔1的内部设置有薄膜2、蒸发器3，至少一组等离子发生器4。
[0033]所述蒸发器3设置在薄膜2下方，所述蒸发器3设置在薄膜2下方，所述蒸发器3内部设置有铝液，由于氧化铝纯度高，更易附着在薄膜2表面，增强附着力，且形成的陶瓷涂层密度大，孔隙少，镀有陶瓷涂层的薄膜2的耐温性能更好，因此使用铝液进行蒸发，通过蒸发器3将铝液气化形成铝蒸汽上升；
[0034]所述等离子发生器4设置在薄膜2和蒸发器3之间，所述等离子发生器4中放置有氩
气，铝蒸汽在上升的过程中先经过等离子发生器4，等离子发生器4中的氩气和高压电流的作用下使得铝蒸汽内部的杂质下沉，从而对铝蒸汽进行提纯。本实施例的等离子发生器4设置有两组，且对称设置在蒸发器3上。
[0035]本实施例的等离子发生器4通过等离子固定机构8设置于真空腔1内壁，所述等离子固定机构8一端与等离子发生器4可转动连接。
[0036]本实施例的等离子固定机构8包括：与真空腔1内部固定连接的基座，与基座固定连接的伸缩杆9和设置在伸缩杆9的输出端的球形转动机构10，与伸缩杆9 的输出端固定连接的转动支架11，在转动支架11中嵌设有球体12，球体12突出转动支架11的部分与等离子发生器4固定连接。
[0037]在支架内部设置有马达13，在马达的输出端设置有转轮14，转轮14上设置有连杆；等离子固定机构8还包括连接杆15，连接杆15的一端与连杆铰连接，另一端与球体12铰连接。
[0038]通过马达13转动转轮14带动连接杆15摆动，从而控制球体12的转动角度，使得固定在球体12上等离子发生器4发生角度上的变化，通过伸缩杆9控制两组球形转机构之间的距离，从而实现使得通过两组等离子发生器4之间的蒸镀蒸汽通过的量得到控制，使得在喷射在薄膜2上被提纯的蒸汽得到控制，避免材料的浪费。
[0039]本实施例的蒸镀装置还包括至少一组供氧器5，所述供氧器5安装在薄膜2和等离子发生器4之间，所述供氧器5共设置有两组，且对称设置在薄膜2下方。
[0040]优选地，还包括外部电源7，所述外部电源7设置在蒸镀装置外侧，并与所述等离子发生本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置,其特征在于，其中蒸镀装置外部设置有抽真空装置(6)，包括：真空腔(1)，所述真空腔(1)与抽真空装置(6)连接；薄膜(2)，所述薄膜(2)设置在真空腔(1)的内部；蒸发器(3)，所述蒸发器(3)设置在薄膜(2)下方，所述蒸发器(3)内部设置有铝液；至少一组等离子发生器(4)，所述等离子发生器(4)设置在薄膜(2)和蒸发器(3)之间；等离子固定机构(8)，所述等离子固定机构(8)一端与等离子发生器(4)可转动连接，另一端与真空腔(1)内壁固定连接；至少一组供氧器(5)，所述供氧器(5)安装在薄膜(2)和等离子发生器(4)之间。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述等离子固定机构(8)包括：基座，所述基座与真空腔内部固定连接；伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)与基座固定连接；球形转动机构(10)，所述球形转动机构(10)设置在伸缩杆(9)的输出端。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于：所述球形转动机构(10)包括：转动支架(11)，所述转动支架(11)与伸缩杆(9)的输出端固定连接；球体...
【专利技术属性】
技术研发人员：王天兵，贾斌，李学法，张国平，
申请(专利权)人：江阴纳力新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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