【技术实现步骤摘要】
测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置及方法
[0001]本专利技术属于二氟甲烷检测
，具体涉及测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置及方法。
技术介绍
[0002]二氟甲烷简称R32，是一种无色、微味、不溶于水、不导电的气体，物理化学性质稳定，一种拥有零臭氧损耗潜势的冷却剂；此外，高纯二氟甲烷是一种刻蚀速度快，选择性好的等离子蚀刻气体，广泛应用于半导体和电子制程中。
[0003]目前，我国没有制定电子级二氟甲烷的相关标准和分析检测方法，使得生产厂家和用户对于二氟甲烷的质量存在盲点。为此，我们提出了测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置及方法来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置及方法，该方法能够实现一次进样即可完成微量杂质的全组分析，既有效的提升了分析的效率，又增强了分析的质量。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置及方法，包括第一气动十通阀、第二气动十通阀和气动四通阀，所述第一气动十通阀和第二气动十通阀均设有10个连接口，所述10个连接口分别标为
①
号口、
②
号口、
③
号口、
④
号口、
⑤
号口、
⑥
号口、
⑦
号口、
⑧
号口、
⑨
号口和...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置，其特征在于，包括第一气动十通阀(4)、第二气动十通阀(13)和气动四通阀(17)，所述第一气动十通阀(4)和第二气动十通阀(13)均设有10个连接口，所述10个连接口分别标为
①
号口、
②
号口、
③
号口、
④
号口、
⑤
号口、
⑥
号口、
⑦
号口、
⑧
号口、
⑨
号口和
⑩
号口，所述气动四通阀(17)设有4个连接口，所述4个连接口分别标为
①
号口、
②
号口、
③
号口和
④
号口；所述第一气动十通阀(4)的
①
号口和
②
号口相互连通，
③
号口和
④
号口相互连通，
⑤
号口和
⑥
号口相互连通，
⑦
号口和
⑧
号口相互连通、
⑨
号口和
⑩
号口相互连通，所述第一气动十通阀(4)的
②
号口与样品进口(2)连接，所述第一气动十通阀(4)的
①
号口和
④
号口之间连接有第一定量环(3)，所述第一气动十通阀(4)的
⑤
号口和
⑧
号口之间连接有第一色谱柱(12)，所述第一气动十通阀(4)的
⑥
号口与第一放空针阀(11)连接，所述第一气动十通阀(4)的
⑦
号口与第二载气支管(5)连接，所述第一气动十通阀(4)的
⑩
号口与第一载气支管(1)连接；所述第二气动十通阀(13)的
①
号口和
②
号口相互连通，
③
号口和
④
号口相互连通，
⑤
号口和
⑥
号口相互连通，
⑦
号口和
⑧
号口相互连通、
⑨
号口和
⑩
号口相互连通，所述第二气动十通阀(13)的
①
号口和
④
号口之间连接有第二定量环(7)，所述第二气动十通阀(13)的
②
号口与所述第一气动十通阀(4)的
③
号口连接，所述第二气动十通阀(13)的
③
号口连接有样品出口(8)，所述第二气动十通阀(13)的
⑤
号口与
⑧
号口之间连接有第三色谱柱(15)，所述第二气动十通阀(13)的
⑥
号口连接有第二放空针阀(10)，所述第二气动十通阀(13)的
⑦
号口连接有第四载气支管(9)，所述第二气动十通阀(13)的
⑩
号口连接有第三载气支管(6)；所述气动四通阀(17)的
①
号口和
②
号口相互连通，
③
号口和
④
号口相互连通，所述气动四通阀(17)的
①
号口连接有氦离子化检测器(19)，所述气动四通阀(17)的
②
号口与所述第一气动十通阀(4)的
⑨
号口连接，所述气动四通阀(17)的
③
号口连接有第三放空针阀(18)，所述气动四通阀(17)的
④
号口与所述第二气动十通阀(13)的
⑨
号口连接。2.根据权利要求1所述的测定高纯二氟甲烷微量杂质的气相色谱检测装置，其特征在于，所述气动四通阀(17)的
②
号口与所述第一气动十通阀(4)的
⑨
号口之间连接有第二色谱柱(16)，所述气动四通阀(17)的
④
...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪珊珊，崔冉冉，解晓虎，陈润泽，苏子杰，路璐，腾莹，王佳佳，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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