【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长过程中缺陷监控装备
[0001]本专利技术属于可视化单晶生长装置
,尤其涉及一种晶体生长过程中缺陷监控装备。
技术介绍
[0002]由于晶片在电子学中发挥至关重要的作用,晶片是由晶体切片得到,因此晶体生长质量显得尤为重要,晶体生长的方法有很多,有些生长方法是可观测的,例如:提拉法生长晶体;而有些生长方法是不可观测的,例如:垂直梯度凝固法;不可观测导致垂直梯度凝固法无法及时的针对生长过程中的缺陷进行调整。
技术实现思路
[0003]为实现垂直梯度凝固法生长晶体过程中的监控问题,本专利技术提供一种晶体生长过程中缺陷监控装备,本专利技术能够直观的监控到整个晶体生长过程,使操作者有据可依,在发现缺陷的第一之间做出相应的判断和针对性的调整,从而降低或者规避缺陷,提升晶体生长质量。
[0004]本专利技术提供的技术方案是:一种晶体生长过程中缺陷监控装备,包括生长炉,生长炉内放置有石英管,石英管内放置有同轴的坩埚,坩埚下部设置有支撑装置,支撑装置下方设置有旋转装置,从而使得石英管及坩埚在生长炉内转动,生长炉的内壁为圆锥面,其中上端为小径端,下端为大径端,生长炉内壁的下部分设置有反射条,生长炉与支撑装置之间设置有接受反射信号的监视器,监视器与反射条处于同一相位,监视器外部设置有冷却装置。
[0005]所述的冷却装置与生长炉在周向上相对固定设置,冷却装置包括冷却环,冷却环包括上环板和下环板,上环板和下环板之间为冷却腔,所述的监视器包括摄像头,摄像头位于冷却腔内,冷却腔设置有进口和出口。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长过程中缺陷监控装备,包括生长炉(2),生长炉(2)内放置有石英管(3),石英管(3)内放置有同轴的坩埚,坩埚下部设置有支撑装置(7),支撑装置(7)下方设置有旋转装置(8),从而使得石英管(3)及坩埚在生长炉(2)内转动,其特征在于:生长炉(2)的内壁为圆锥面,其中上端为小径端,下端为大径端,生长炉(2)内壁的下部分设置有反射条(1),生长炉(2)与支撑装置(7)之间设置有接受反射信号的监视器,监视器与反射条(1)处于同一相位,监视器外部设置有冷却装置。2.根据权利要求1所述的一种晶体生长过程中缺陷监控装备,其特征在于:所述的冷却装置与生长炉(2)在周向上相对固定设置,冷却装置包括冷却环,冷却环包括上环板(4)和下环板(6),上环板(4)和下环板(6)之间为冷却腔(9),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁韶阳,冯佳峰,于会永,赵春锋,赵中阳,刘钊,张艳辉,荆爱明,
申请(专利权)人:大庆溢泰半导体材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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