缺陷检查装置及缺陷检查方法制造方法及图纸

所述缺陷检查装置(100)构成为：通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像(A)的像素值与不同于摄像图像(A)的基准图像(A

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】缺陷检查装置及缺陷检查方法


[0001]本专利技术涉及一种缺陷检查装置及缺陷检查方法。

技术介绍

[0002]以往，已知有使用激光干涉法的缺陷检查装置。此种缺陷检查装置例如公开在日本专利特开2017
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219318号公报中。
[0003]所述日本专利特开2017
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219318号公报中记载的缺陷检查装置包括：激振部，对被检查物体激发弹性波；照明部，对被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明的照射；以及位移测定部。位移测定部构成为：通过对弹性波的相位以及频闪照明的时机进行控制，从而在弹性波的相互不同的至少三个相位下对测定区域各点的前后方向上的位移进行一并测定。另外，关于所述日本专利特开2017
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219318号公报中记载的缺陷检查装置，公开了如下结构：在弹性波的各相位下使基于激光光源的频闪照明的相位移位，在至少三个不同的移相量下，使用激光干涉法对测定区域各点的前后方向上的位移进行测定。然后，基于所测定的位移对测定区域各点的振动状态(振幅及相位)进行测定。然后，基于所测定的测定区域各点的振动状态(振幅及相位)，制作以图像的明暗差异表示由振动引起的位移的差异的图像，检查者通过目视确认所制作的图像，由此将振动状态的不连续部分检测为缺陷。此处，所谓激光干涉法，是如下方法：从激光光源照射激光，使在测定区域的各点处被反射的激光与从相同激光光源照射后经过不同光路的参照激光发生干涉，对此干涉光的强度进行测定，由此对测定区域的各点的位移进行检测。在激光干涉法中，作为参照激光，有使从激光光源照射的激光分支来使用的方法、或使用从测定区域的不同点或者区域反射的激光的方法。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006]专利文献1：日本专利特开2017
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219318号公报

技术实现思路

[0007][专利技术所要解决的问题][0008]然而，如所述日本专利特开2017
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219318号公报中记载的缺陷检查装置那样，在使用激光干涉法对测定区域各点的前后方向(测定区域各点的面外方向)上的位移进行测定的情况下，为了对测定区域的各点的位移进行测定，使发生干涉的两束激光的相位差变化，由此对在至少三个不同的相位差下发生干涉的激光进行测定。而且，为了在弹性波的一个相位下测定位移，而对在至少三个不同的相位差下发生干涉的激光进行测定，因此当在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下测定位移时，需要在使激光的相位差发生变化的同时进行至少九次的测定。因此，由于在使激光的相位差发生变化的同时进行至少九次的测定，因此为了进行缺陷检查而需要时间。因此，期望开发一种能够使基于激光干涉法进行缺陷检查时的检查所需的时间缩短的缺陷检查装置及缺陷检查方法。
[0009]本专利技术是为解决如上所述的问题而成，本专利技术的一个目的在于提供一种能够使基于干涉光进行缺陷检查时的检查所需的时间缩短的缺陷检查装置及缺陷检查方法，所述干涉光是使在测定区域被反射的激光发生干涉而得。
[0010][解决问题的技术手段][0011]为了实现所述目的，本专利技术的第一方面的缺陷检查装置包括：激振部，对检查对象的测定区域激发弹性波；照射部，对测定区域照射激光；干涉部，利用激光干涉法使在测定区域被反射的激光发生干涉；摄像部，对经干涉的激光进行拍摄；以及控制部，进行激振部的控制以及摄像部对经干涉的激光的拍摄的控制，控制部构成为：通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像的像素值与不同于摄像图像的基准图像的像素值的差分值或差分值的相位差进行近似，获取与摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。
[0012]本专利技术的第二方面的缺陷检查方法包括如下步骤：在检查对象的测定区域激发弹性波；对测定区域照射激光；利用激光干涉法使在测定区域被反射的激光发生干涉；对经干涉的激光进行拍摄；以及通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下拍摄到的至少三个摄像图像的像素值与不同于摄像图像的基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值进行近似，获取与摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。
[0013][专利技术的效果][0014]在所述第一方面的缺陷检查装置及所述第二方面的缺陷检查方法中，通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像的像素值与不同于摄像图像的基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值进行近似，获取与摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。由此，由于基于摄像图像的像素值来获取缺陷检查用的近似值，因此即使当基于使在测定区域被反射的激光发生干涉而得的干涉光来进行缺陷检查时，也可在不对测定区域的面外方向上的位移进行测定的情况下进行缺陷检查。即，可在不对测定区域的位移进行测定的情况下，通过对测定区域受到激发而产生的弹性波的状态近似地进行检测而进行缺陷检查。因此，可在不使发生干涉的两束激光的相位差变化的情况下基于近似地检测出的弹性波的状态进行缺陷检查，因此不需要在弹性波的一个相位下使激光的相位差发生变化的同时进行多次测定。即，与针对弹性波的每个相位使发生干涉的两束激光的相位差变化的同时进行多次(至少九次)的测定的情况相比，可通过次数少(至少三次)的测定来进行缺陷检查。其结果，可使基于干涉光来进行缺陷检查时的检查所需的时间缩短，所述干涉光是使在测定区域被反射的激光发生干涉而得。
附图说明
[0015]图1是用以对基于第一实施方式的缺陷检查装置的结构进行说明的图。
[0016]图2是用以对基于第一实施方式的对摄像图像进行拍摄的时机进行说明的图。
[0017]图3是用以对基于第一实施方式的近似值图像进行说明的图。
[0018]图4是用以对基于第一实施方式的缺陷检查方法进行说明的图(流程图)。
[0019]图5是用以对基于第二实施方式的缺陷检查装置的结构进行说明的图。
[0020]图6是用以对基于第二实施方式的通过第二检测控制而生成的表层检查用图像进
行说明的图。
[0021]图7是用以对基于第二实施方式的用于选择第一检测控制与第二检测控制的显示部的显示进行说明的图。
[0022]图8是用以对基于第二实施方式的用于在显示近似图像的状态下开始第二检测控制的显示内容进行说明的图。
[0023]图9是用以对基于第二实施方式的表层检查用图像的显示内容进行说明的图。
[0024]图10是用以对基于第二实施方式的缺陷检查方法进行说明的图(流程图)。
[0025]图11是用以对基于第三实施方式的缺陷检查装置的结构进行说明的图。
[0026]图12是用以对基于第三实施方式的第一检测控制以及第二检测控制进行说明的图。
[0027]图13是用以对基于第三实施方式的显示部的显示进行说明的图。
[0028]图14是用以对基于第三实施方式的近似值图像及表层检查用图像的显示进行说明的图。
[0029]图1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种缺陷检查装置，包括：激振部，对检查对象的测定区域激发弹性波；照射部，对所述测定区域照射激光；干涉部，利用激光干涉法使在所述测定区域被反射的所述激光发生干涉；摄像部，对经干涉的所述激光进行拍摄；以及控制部，进行所述激振部的控制以及所述摄像部对所述经干涉的激光的拍摄的控制，所述控制部构成为：通过对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由所述摄像部拍摄到的至少三个摄像图像的像素值与不同于所述摄像图像的基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值进行近似，获取与所述摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述干涉部构成为利用激光干涉法使在所述测定区域的相互不同的位置被反射的所述激光发生干涉，所述控制部构成为：不使发生干涉的两束所述激光的相位差变化，而对至少三个所述摄像图像的像素值与不同于所述摄像图像的基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值进行近似，由此获取与所述摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述控制部构成为：通过对至少三个所述摄像图像的像素值与不同于所述摄像图像的所述基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值以与表示波形的函数即近似函数相对应的方式进行近似，获取与所述摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其中，所述近似函数是表示所述弹性波的周期的半个周期的波形的函数，所述控制部构成为：通过对至少三个所述摄像图像的像素值与不同于所述摄像图像的所述基准图像的像素值的差分值的绝对值以与表示所述弹性波的周期的半个周期的波形的函数相对应的方式进行近似，获取与所述摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。5.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其中，所述近似函数是表示正弦波的函数，所述控制部构成为：通过对至少三个所述摄像图像的像素值与不同于所述摄像图像的所述基准图像的像素值的差分值或差分值的绝对值以与表示所述正弦波的函数相对应的方式进行近似，获取与所述摄像图像的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。6.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述基准图像是至少三个所述摄像图像的平均图像，所述控制部构成为：基于至少三个所述摄像图像的像素值与至少三个所述摄像图像的平均图像的像素值的差分值或差分值的绝对值，获取与...

【专利技术属性】
技术研发人员：畠堀贵秀，田窪健二，吉田康纪，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：