下载缺陷检查装置及缺陷检查方法的技术资料

文档序号:34716328

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所述缺陷检查装置(100)构成为:通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像(A)的像素值与不同于摄像图像(A)的基准图像(A
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