本申请提供一种点火装置及炉管设备，所述点火装置包括：点火腔；进气口，位于所述点火腔的第一端；出气口，位于所述点火腔的第二端；热电偶安装套管，贯穿所述点火腔的第一端和第二端；热电偶，包括：第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线的第一端分别从所述热电偶安装套管的两端延伸入所述热电偶安装套管并连接形成工作端，所述第一导线和所述第二导线的第二端在所述点火腔外部连接形成自由端，所述自由端接入测量单元；密封装置，分别设置于所述热电偶安装套管的两端，被配置为密封所述热电偶安装套管。本申请所述的点火装置及炉管设备，解决了两种导线容易短路的问题，并且不用再使用绝缘套管，安装更方便。安装更方便。安装更方便。
【技术实现步骤摘要】
一种点火装置及炉管设备
[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种点火装置及炉管设备。
技术介绍
[0002]炉管设备广泛运用于半导体制程之中，其中常压氧化炉管是常用的制程之一，其主要分为干氧氧化(dry oxide)和湿氧氧化(wet oxide)。湿氧氧化通过氢气和氧气燃烧生成水蒸气的方式，将水蒸气通入炉管腔体，高温下水蒸气和硅片表面发生氧化反应，形成氧化硅。湿氧氧化形成的氧化硅具有氧化速度快，膜质优良等优点。
[0003]氢气和氧气燃烧需要确保点火装置点火腔处于650摄氏度以上，保证整个点火过程安全，因此点火腔的温度监测十分重要。目前通常是使用热电偶作为测温工具测量点火腔的温度，然而目前的热电偶结构安装不变，且容易发生短路。
[0004]因此，有必要提供更有效、更可靠的技术方案。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种点火装置及炉管设备，热电偶的两种导线分别从点火腔的两端伸出，杜绝两种导线短路，解决了两种导线容易短路的问题，并且不用再使用绝缘套管，安装更方便。
[0006]本申请的一个方面提供一种点火装置，包括：点火腔；进气口，位于所述点火腔的第一端，被配置为向所述点火腔内通入点火气体；出气口，位于所述点火腔的第二端，被配置为导出所述点火气体在所述点火腔的燃烧产物，所述第二端与所述第一端位于所述点火腔的两个相对平面；热电偶安装套管，贯穿所述点火腔的第一端和第二端，且与位于第一端的进气口和位于第二端的出气口都不重叠；热电偶，包括：第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线的第一端分别从所述热电偶安装套管的两端延伸入所述热电偶安装套管并连接形成工作端，所述第一导线和所述第二导线的第二端在所述点火腔外部连接形成自由端，所述自由端接入测量单元；密封装置，分别设置于所述热电偶安装套管的两端，被配置为密封所述热电偶安装套管。
[0007]在本申请的一些实施例中，所述热电偶安装套管位于所述点火腔的内壁上。
[0008]在本申请的一些实施例中，所述热电偶安装套管的外径为5
‑
10毫米。
[0009]在本申请的一些实施例中，所述工作端位于所述热电偶安装套管中靠近所述点火腔第一端的一侧。
[0010]在本申请的一些实施例中，所述热电偶安装套管延伸出所述点火腔的第一端和第二端，所述密封装置设置于所述热电偶安装套管延伸出所述点火腔的部分上。
[0011]在本申请的一些实施例中，所述热电偶安装套管延伸出所述点火腔的部分的长度为20至80毫米。
[0012]在本申请的一些实施例中，所述密封装置包括：第一密封环，所述第一密封环的第一部分安装于所述热电偶安装套管外表面，所述第一密封环和所述热电偶安装套管之间设
置有第一石英棉圈，所述第一密封环和所述第一石英棉圈之间设置有第一锥形挤压环；第二密封环，设置于所述第一密封环的第二部分，所述第二密封环和所述第一密封环之间设置有第二石英棉圈，所述第二密封环和所述第二石英棉圈之间设置有第二锥形挤压环。
[0013]在本申请的一些实施例中，所述第一密封环和所述第一石英棉圈通过螺纹连接；所述第二密封环和所述第二石英棉圈通过螺纹连接。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述第一锥形挤压环的柱形端设置于所述第一密封环，所述第一锥形挤压环的锥形端延伸至所述第一石英棉圈挤压所述第一石英棉圈；所述第二锥形挤压环的柱形端设置于所述第二密封环，所述第二锥形挤压环的锥形端延伸至所述第二石英棉圈挤压所述第二石英棉圈。
[0015]本申请的另一个方面提供一种炉管设备，包括：反应腔，所述反应腔包括分别设置于所述反应腔两侧的进气口路和排气管路，所述进气口路沿所述反应腔的侧壁设置，所述进气口路的进口位于所述反应腔底部，所述进气口路的出口位于所述反应腔顶部，所述排气管路连接所述反应腔底部；如上述所述的点火装置，所述点火装置的出气口与所述进气口路的进口连通。
[0016]本申请提供一种点火装置及炉管设备，热电偶的两种导线分别从点火腔的两端伸出，杜绝两种导线短路，解决了两种导线容易短路的问题，并且不用再使用绝缘套管，安装更方便。
附图说明
[0017]以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本申请的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的技术意图。应当理解，附图未按比例绘制。其中：
[0018]图1为一种点火装置的结构示意图；
[0019]图2为一种点火装置中热电偶的结构示意图；
[0020]图3为本申请实施例所述的点火装置的结构示意图
[0021]图4为本申请实施例所述的点火装置中密封装置的结构示意图；
[0022]图5为本申请实施例所述的炉管设备的结构示意图。
具体实施方式
[0023]以下描述提供了本申请的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本申请中的内容。对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本申请的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用。因此，本申请不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围。
[0024]下面结合实施例和附图对本技术技术方案进行详细说明。
[0025]图1为一种点火装置100的结构示意图。
[0026]参考图1所示，所述点火装置100包括：点火腔110；进气口130，位于所述点火腔110的第一端，被配置为向所述点火腔110内通入点火气体；出气口120，位于所述点火腔110的
第二端，被配置为导出所述点火气体在所述点火腔110的燃烧产物，所述第二端与所述第一端位于所述点火腔110的两个相对平面；热电偶140，设置于所述点火腔110的第一端，被配置为测量所述点火腔110的温度。
[0027]具体地所述点火腔110的第一端设置有凹陷于点火腔110的安装孔，所述热电偶140插入所述安装孔中。这样是为了隔离点火腔110和热电偶140，避免点火腔110中的燃烧产物附着于热电偶140表面。
[0028]图2为一种点火装置100中热电偶140的结构示意图。
[0029]参考图2所示，所述热电偶140包括：第一导线141和第二导线142；所述第一导线141和所述第二导线142的第一端连接形成工作端143，所述第一导线141和所述第二导线142的第二端连接形成自由端，所述自由端接入测量单元144中；所述第一导线141和所述第二导线142的表面还设置有绝缘石英套管。
[0030]所述热电偶140的工作原理是：当所述工作端143和所述自由端产生温度差时，所述第一导线141和所述第二导线142形成的回路中将产生一个电动势，该电动势的方向和大小与导线的材料及工作端和自由端的温度有关(这种现象称为
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种点火装置，其特征在于，包括：点火腔；进气口，位于所述点火腔的第一端，被配置为向所述点火腔内通入点火气体；出气口，位于所述点火腔的第二端，被配置为导出所述点火气体在所述点火腔的燃烧产物，所述第二端与所述第一端位于所述点火腔的两个相对平面；热电偶安装套管，贯穿所述点火腔的第一端和第二端，且与位于第一端的进气口和位于第二端的出气口都不重叠；热电偶，包括：第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线的第一端分别从所述热电偶安装套管的两端延伸入所述热电偶安装套管并连接形成工作端，所述第一导线和所述第二导线的第二端在所述点火腔外部连接形成自由端，所述自由端接入测量单元；密封装置，分别设置于所述热电偶安装套管的两端，被配置为密封所述热电偶安装套管。2.如权利要求1所述的点火装置，其特征在于，所述热电偶安装套管位于所述点火腔的内壁上。3.如权利要求1所述的点火装置，其特征在于，所述热电偶安装套管的外径为5
‑
10毫米。4.如权利要求1所述的点火装置，其特征在于，所述工作端位于所述热电偶安装套管中靠近所述点火腔第一端的一侧。5.如权利要求1所述的点火装置，其特征在于，所述热电偶安装套管延伸出所述点火腔的第一端和第二端，所述密封装置设置于所述热电偶安装套管延伸出所述点火腔的部分上。6.如权利要求5所述的点火装置，其特征在于，所述热电偶安装套管延伸出所述点火腔的部分的...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐亚平，
申请(专利权)人：中芯南方集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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