工件架、镀膜设备及真空镀膜机制造技术

本申请涉及一种工件架、镀膜设备及真空镀膜机；所述工件架包括：卧式安装的转筒以及驱动装置；其中，所述转筒内侧面上设置有突出部；所述驱动装置用于驱动所述转筒进行转动；所述转筒用于放置待镀膜的工件，并通过所述突出部带动放置在转筒内的工件向上运动，且运动到一定高度后滚落至转筒底部，使得所述工件进行翻滚，辅助对所述工件进行镀膜；该技术方案，无需使用辅助材料和设备赖来翻滚工件，减少了设备空间占用，而且以相对简化的镀膜设备结构实现了工件翻滚功能，降低了镀膜设备成本。降低了镀膜设备成本。降低了镀膜设备成本。

【技术实现步骤摘要】
工件架、镀膜设备及真空镀膜机


[0001]本申请涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种工件架、镀膜设备及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]在很多制成产品(本文称工件)中，为了保护工件在使用过程中性能不变，往往可以在工件表面制备一层保护层或钝化层，以达到防腐防氧化等目的。目前常用的表面保护层的制备方法有电泳、喷涂、真空镀膜和电镀等，其中真空镀膜具有环境友好、操作简单、生产环境干净等优势而备受关注。
[0003]目前，对于常用规格的大尺寸工件一般可以利用悬挂工件方式实现旋转镀膜；但对于小尺寸工件的镀膜，由于前期挂件工作繁琐，镀膜工件量少，且工件的悬挂部分则被遮挡，无法通过一次镀膜实现表面全覆盖，所以采用悬挂工件方式镀膜效率较低、效果不佳。
[0004]在已公开的技术文献中，针对小尺寸工件镀膜，有相关技术提出滚动镀膜方式，例如其中一种技术中，利用钢珠和工件混合在滚筒网兜里，使用搅拌器搅拌钢珠和工件使其在镀膜的过程多次翻滚，利用固定在网兜外侧的靶材溅射粒子对网兜内的工件进行镀膜。
[0005]如上述公开技术中，在翻滚工件时，需要使用钢珠和工件混合在滚筒网兜里，并且使用搅拌器搅拌钢珠，翻滚操作复杂，影响了镀膜效率，而且镀膜设备结构复杂，也占用设备空间，导致镀膜设备成本较高。

技术实现思路

[0006]本申请的目的旨在解决上述至少之一的技术缺陷，提供一种工件架、镀膜设备及真空镀膜机，以提升镀膜效率。
[0007]一种工件架，包括：卧式安装的转筒以及驱动装置；其中，所述转筒内侧面上设置有突出部；
[0008]所述驱动装置用于驱动所述转筒进行转动；
[0009]所述转筒用于放置待镀膜的工件，并通过所述突出部带动放置在转筒内的工件向上运动，且运动到一定高度后滚落至转筒底部，使得所述工件进行翻滚，辅助对所述工件进行镀膜。
[0010]在一个实施例中，所述突出部包括沿转筒内壁轴向均匀分布设置的内齿；
[0011]所述转筒在转动过程中通过所述内齿之间的齿槽带动工件向上运动。
[0012]在一个实施例中，在转筒向上运动一侧设有截面为扇形的弧形挡板，所述弧形挡板与转筒之间留有狭缝，用于与所述齿槽共同作用将转筒底部堆叠的工件带动到设定高度，然后再滚落回到转筒底部。
[0013]在一个实施例中，在所述靶材上部还设有滑梯挡板，所述滑梯挡板一端连接弧形挡板的上端；
[0014]所述滑梯挡板用于将运动到弧形挡板上端的工件引导至转筒向下转动一侧，并滚落至转筒底部。
[0015]在一个实施例中，在所述转筒一端的边缘位置设置有内齿轮，所述驱动装置连接有转动齿轮，其中，所述转动齿轮与所述内齿轮的轮齿啮合；
[0016]所述驱动装置通过所述转动齿轮和内齿轮驱动所述转筒进行转动。
[0017]在一个实施例中，在所述转筒的边缘位置内侧设有一设定高度的护栏，用于阻挡工件掉落。
[0018]在一个实施例中，所述的工件架，还包括：用于支撑转筒的底座；
[0019]所述底座包括矩形支架和轴向设置的至少两条滑轨；
[0020]所述矩形支架顶角上方设置有第一滑轮，用于支撑转轮并产生相对转动；
[0021]所述矩形支架下方设置与滑轨匹配的多组第二滑轮，所述滑轨固定在真空腔室内；
[0022]所述矩形支架通过第二滑轮和滑轨进行轴向运动。
[0023]一种镀膜设备，包括：上述的工件架以及沿所述转筒轴向设置的靶材；
[0024]所述靶材在所述转筒内侧壁位置处产生电场，在镀膜过程中产生带电粒子，并通过所述电场作用使得带电粒子运动到翻滚中的工件表面上附着并均匀镀膜。
[0025]在一个实施例中，所述靶材固定于转筒的中心位置；所述靶材在所述转筒内壁处产生设定大小的电场。
[0026]一种真空镀膜机，包括真空腔室以及上述的镀膜设备；其中，所述镀膜设备内置于真空腔室内，所述靶材一端通过真空腔室侧壁连接至真空腔室外部的电机。
[0027]上述技术方案，利用卧式安装的转筒来对工件进行镀膜，通过驱动装置驱动转筒转动，并通过转筒内的突出部带动放置在转筒内的工件向上运动，且运动到一定高度后滚落至转筒底部，使得所述工件进行翻滚，辅助对所述工件进行镀膜；该技术方案，无需使用辅助材料和设备赖来翻滚工件，减少了设备空间占用，而且以相对简化的镀膜设备结构实现了工件翻滚功能，降低了镀膜设备成本。
[0028]进一步的，沿转筒内壁轴向均匀分布设置了内齿，通过内齿之间的齿槽带动工件向上运动再滚落至转筒底部，使得工件充分翻转；可以使得工件充分翻转，工件各个面都镀膜均匀，且可大幅度增加镀膜工件的产量。
[0029]进一步的，在镀膜过程中，设置了弧形挡板齿槽共同作用将转筒底部堆叠的工件带动到设定高度，然后再滚落回到转筒底部，充分翻滚工件，避免了工件在转筒底部长期堆积，使得镀膜更加均匀，提升了镀膜效率和镀膜效果。
[0030]进一步的，通过滑梯挡板将运动到弧形挡板上端的工件引导至转筒向下转动一侧，并滚落至转筒底部，将工件不断从一侧滚动至另一侧，使得工件翻滚更加充分，镀膜更加均匀。
[0031]进一步的，将靶材沿转筒轴向固定于转筒内部，并通过靶材在转筒内壁位置产生电场，减少了转筒对带电粒子的物理阻挡作用，避免了转筒外部电场对带电粒子屏蔽作用，保证带电粒子的能量，从而提高了膜层的附着力，提升了镀膜效率和镀膜效果；同时，粒子直接沉积到工件上，大大减少靶材的数量，提高靶材利用率和镀膜效率。
[0032]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0033]本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0034]图1是一个实施例的工件架截面示意图；
[0035]图2是另一个实施例的工件架截面示意图；
[0036]图3是一个实施例的工件架立体结构示意图；
[0037]图4是一个实施例的镀膜设备的截面示意图；
[0038]图5是另一个实施例的镀膜设备的截面示意图；
[0039]图6是一个实施例的真空镀膜机结构示意图；
[0040]图7是一个实施例的真空镀膜机外部结构图。
具体实施方式
[0041]下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
[0042]本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作。
[0043]本技术领本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件架，其特征在于，包括：卧式安装的转筒以及驱动装置；其中，所述转筒内侧面上设置有突出部；所述驱动装置用于驱动所述转筒进行转动；所述转筒用于放置待镀膜的工件，并通过所述突出部带动放置在转筒内的工件向上运动，且运动到一定高度后滚落至转筒底部，使得所述工件进行翻滚，辅助对所述工件进行镀膜。2.根据权利要求1所述的工件架，其特征在于，所述突出部包括沿转筒内壁轴向均匀分布设置的内齿；所述转筒在转动过程中通过所述内齿之间的齿槽带动工件向上运动。3.根据权利要求2所述的工件架，其特征在于，在转筒向上运动一侧设有截面为扇形的弧形挡板，所述弧形挡板与转筒之间留有狭缝，用于与所述齿槽共同作用将转筒底部堆叠的工件带动到设定高度，然后再滚落回到转筒底部。4.根据权利要求3所述的工件架，其特征在于，在靶材上部还设有滑梯挡板，所述滑梯挡板一端连接弧形挡板的上端；所述滑梯挡板用于将运动到弧形挡板上端的工件引导至转筒向下转动一侧，并滚落至转筒底部。5.根据权利要求1
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4任一项所述的工件架，其特征在于，在所述转筒一端的边缘位置设置有内齿轮，所述驱动装置连接有转动齿轮，其中，所述转动齿轮与所述内齿轮的轮齿啮合；所述驱动装置通过所述转动齿轮和内齿轮驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱昆，陈惠君，颜学庆，曹健辉，刘玮，马伟，姜文，曹祯烨，杜翰翔，李冬娜，刘晓兰，
申请(专利权)人：广东省新兴激光等离子体技术研究院，
类型：新型
国别省市：