一种隔离粉回收利用装置制造方法及图纸

技术编号:34693743 阅读:14 留言:0更新日期:2022-08-27 16:28
本实用新型专利技术公开了一种隔离粉回收利用装置,涉及隔离粉收集技术领域,包括:清理头,清理头设有毛刷;负压管,负压管第一端连接清理头,负压管上设有第一过滤装置和第二过滤装置,第一过滤装置比第二过滤装置更靠近清理头;负压装置,负压装置连接于负压管第二端;第一收集容器,第一收集容器与负压管相连通,第一收集容器比第一过滤装置更靠近清理头;第二收集容器,第二收集容器与负压管相连通,第二收集容器位于第一过滤装置与第二过滤装置之间;第三收集容器,第三收集容器与负压管相连通,第三收集容器比第二过滤装置更靠近负压装置。本实用新型专利技术的清理头用于清理基片上的隔离粉,通过负压装置收集隔离粉,并且还设有分级过滤以及分级收集。过滤以及分级收集。过滤以及分级收集。

【技术实现步骤摘要】
一种隔离粉回收利用装置


[0001]本技术涉及隔离粉收集
,特别是涉及一种隔离粉回收利用装置。

技术介绍

[0002]随着新能源市场蓬勃发展,半导体功率器件需求迅速增加。氮化物陶瓷基片由于其具有的热导率、力学性能等性能,与其他陶瓷材料相比具有不可替代的优势。氮化物陶瓷基片的研发和生产对于促进半导体功率器件的发展具有重要意义。
[0003]针对氮化物陶瓷基片烧结过程中使用的隔离粉,由于其价格较高,使用量较大,因此需要对其进行回收利用。然而由于隔离粉末粒径较小,烧结后团聚在基片表面,难以清理,清理起来工作量较大。
[0004]因此,市场上急需一种新型的隔离粉回收利用装置,用于解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种隔离粉回收利用装置,用于解决上述现有技术中存在的技术问题,清理头能够对隔离粉进行清除,通过负压装置进行收集,并且利用第一过滤装置和第二过滤装置实现分级过滤以及分级收集。
[0006]为实现上述目的,本技术提供了如下方案:
[0007]本技术公开了一种隔离粉回收利用装置,包括:
[0008]清理头,所述清理头设有毛刷;
[0009]负压管,所述负压管的第一端连接所述清理头,所述负压管上设有第一过滤装置和第二过滤装置,所述第一过滤装置比所述第二过滤装置更靠近所述清理头;
[0010]负压装置,所述负压装置连接于所述负压管的第二端;
[0011]第一收集容器,所述第一收集容器与所述负压管相连通,所述第一收集容器比所述第一过滤装置更靠近所述清理头;
[0012]第二收集容器,所述第二收集容器与所述负压管相连通,所述第二收集容器位于所述第一过滤装置与所述第二过滤装置之间;
[0013]第三收集容器,所述第三收集容器与所述负压管相连通,所述第三收集容器比所述第二过滤装置更靠近所述负压装置。
[0014]优选地,所述清理头包括清理罩,所述毛刷位于所述清理罩内。
[0015]优选地,所述毛刷固定于固定件上,所述固定件上设有内螺纹,所述固定件上螺纹连接有螺杆,所述螺杆的一端固定有电机,所述电机固定于所述清理头上。
[0016]优选地,所述负压装置为负压泵。
[0017]优选地,所述第一过滤装置为第一滤网,所述第一滤网的孔径为150目;
[0018]所述第二过滤装置为第二滤网,所述第二滤网的孔径为500目。
[0019]优选地,所述第一滤网上设有第一振动电机;
[0020]所述第二滤网上设有第二振动电机。
[0021]优选地,所述第一收集容器、所述第二收集容器和所述第三收集容器均为收集瓶。
[0022]优选地,所述收集瓶通过收集管与所述负压管相连通。
[0023]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果:
[0024]1、清理头上设有丝杠螺母副结构,能够带动毛刷往复运动;
[0025]2、设有第一过滤装置、第二过滤装置、第一收集容器、第二收集容器和第三收集容器实现分级过滤和分级收集;
[0026]3、通过负压装置能够保障隔离粉顺向移动。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本技术实施例隔离粉回收利用装置的结构示意图;
[0029]图中:1

毛刷;2

第一过滤装置;3

第二过滤装置;4

第一收集容器;5

第二收集容器;6

第三收集容器;7

隔离粉;8

基片。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0031]本技术的目的是提供一种隔离粉回收利用装置,用于解决上述现有技术中存在的技术问题,清理头能够对隔离粉进行清除,通过负压装置进行收集,并且利用第一过滤装置和第二过滤装置实现分级过滤以及分级收集。
[0032]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0033]如图1所示,本实施例提供了一种隔离粉回收利用装置,包括:
[0034]清理头,清理头设有毛刷1,毛刷1用于清除附着在基片8上的隔离粉7;
[0035]负压管,负压管的第一端(图中的左端)连接清理头,负压管上设有第一过滤装置2和第二过滤装置3,第一过滤装置2比第二过滤装置3更靠近清理头,隔离粉7先经过第一过滤装置2再通过第二过滤装置3;
[0036]负压装置,负压装置连接于负压管的第二端,负压装置用于使负压管内始终保持负压的状态,从而将隔离粉7从负压管的左端吸到右端;
[0037]第一收集容器4,第一收集容器4与负压管相连通,第一收集容器4比第一过滤装置2更靠近清理头,即第一收集容器4位于第一过滤装置2的左端;
[0038]第二收集容器5,第二收集容器5与负压管相连通,第二收集容器5位于第一过滤装置2与第二过滤装置3之间;
[0039]第三收集容器6,第三收集容器6与负压管相连通,第三收集容器6比第二过滤装置
3更靠近负压装置,即第三收集容器6位于第二过滤装置3的右端。
[0040]使用时,先通过清理头对基片8上的隔离粉7进行清除,清除下来的隔离粉7在负压装置的负压作用下,进入到负压管的左端。当隔离粉7到达第一过滤装置2时,直径较大的杂质无法通过第一过滤装置2,从而掉落到第一收集容器4中,剩下的粉末穿过第一过滤装置2向第二过滤装置3移动。当经过第二过滤装置3时,会有一部分粉末无法穿过第二过滤装置3,无法穿过第二过滤装置3的粉末掉落到第二收集容器5中,此为隔离粉7。而通过第二过滤装置3的为超细粉末,超细粉末最终由第三收集容器6进行收集。
[0041]于本实施例中,清理头包括清理罩,清理罩为锥形结构,上端直径小于下端直径,毛刷1位于清理罩内。设置清理罩的目的是防止清除起来的隔离粉7飘走。
[0042]于本实施例中,毛刷1固定于固定件上,固定件上设有内螺纹,固定件上螺纹连接有螺杆,螺杆设有外螺纹,螺杆穿过固定件上的内螺纹且与之螺纹连接,螺杆的一端固定有电机,电机固定于清理头上。使用时,通过电机转动带动螺杆转动,螺杆与固定件组成丝杆螺母副结构,当螺杆转动时,固定件就会在本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种隔离粉回收利用装置,其特征在于,包括:清理头,所述清理头设有毛刷;负压管,所述负压管的第一端连接所述清理头,所述负压管上设有第一过滤装置和第二过滤装置,所述第一过滤装置比所述第二过滤装置更靠近所述清理头;负压装置,所述负压装置连接于所述负压管的第二端;第一收集容器,所述第一收集容器与所述负压管相连通,所述第一收集容器比所述第一过滤装置更靠近所述清理头;第二收集容器,所述第二收集容器与所述负压管相连通,所述第二收集容器位于所述第一过滤装置与所述第二过滤装置之间;第三收集容器,所述第三收集容器与所述负压管相连通,所述第三收集容器比所述第二过滤装置更靠近所述负压装置。2.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置,其特征在于:所述清理头包括清理罩,所述毛刷位于所述清理罩内。3.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙峰梁盼盼张伟儒李泽坤王再义张晶司尚进
申请(专利权)人:中材高新氮化物陶瓷有限公司
类型:新型
国别省市:

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