扫描电子显微镜减震结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电子显微镜减震结构，包括多个水平减震单元，所述水平减震单元包括滚珠托板、滚珠盖板和滚珠，所述滚珠托板和所述滚珠盖板上相对应设置若干滚珠槽，若干所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠盖板之间并分别限位在相对应的所述滚珠槽内，所述滚珠盖板固定于扫描电子显微镜主体的底部。本实用新型专利技术提供的减震结构利用球状联结降低了电镜主体和支撑物之间的摩擦力，消弱从地面、支座等传导的机械振动在水平方向的分量，提高电镜图像质量。提高电镜图像质量。提高电镜图像质量。

【技术实现步骤摘要】
扫描电子显微镜减震结构


[0001]本技术涉及扫描电子显微镜
，特别是涉及一种扫描电子显微镜减震结构。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，缩写为SEM)，简称扫描电镜，是利用聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的显微分析仪器。
[0003]机械振动和冲击问题对扫描电子显微镜成像后的图像质量、分辨率影响较大，目前扫描电子显微镜主要依靠气浮装置作为减震措施，如图1所示，该措施一般将扫描电子显微镜主体1放置在支座2上，在扫描电子显微镜主体1的底部和支座2的顶部之间安装多个气浮装置3(一般是安装在扫描电子显微镜主体底部的四个角部)来实施，该措施实施过程中对垂直于地面的振动分量消弱能力较强，但对平行地面的振动分量消弱作用偏小。

技术实现思路

[0004]本技术的目的至少在于提供一种可消弱扫描电子显微镜的水平方向振动的减震结构。
[0005]为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种扫描电子显微镜减震结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜减震结构，其特征在于，包括多个水平减震单元，所述水平减震单元包括滚珠托板、滚珠盖板和滚珠，所述滚珠托板和所述滚珠盖板上相对应设置若干滚珠槽，若干所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠盖板之间并分别限位在相对应的所述滚珠槽内，所述滚珠盖板固定于扫描电子显微镜主体的底部。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜减震结构，其特征在于，所述减震结构包括四个所述水平减震单元，所述滚珠盖板分别固定在所述扫描电子显微镜主体的底部的四个角部。3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁建强，杨思源，杨润潇，
申请(专利权)人：惠然科技有限公司，
类型：新型
国别省市：