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本实用新型公开了一种扫描电子显微镜减震结构，包括多个水平减震单元，所述水平减震单元包括滚珠托板、滚珠盖板和滚珠，所述滚珠托板和所述滚珠盖板上相对应设置若干滚珠槽，若干所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠盖板之间并分别限位在相对应的所述滚珠槽...
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