一种多功能相变单元及多功能超表面制造技术

本实用新型专利技术提供了一种多功能相变单元及多功能超表面，其中，该多功能相变单元包括：纳米结构、氧化钒层、第一电极层、第二电极层、第三电极层和加热电阻；第二电极层与第三电极层用于对加热电阻施加电压；加热电阻能够改变氧化钒层的温度，使氧化钒层在不同温度下呈现导体态或者半导体态；第一电极层与第二电极层用于对纳米结构施加电压，纳米结构由相变材料构成，且纳米结构根据所施加的电压实现晶态与非晶态的转换。通过本实用新型专利技术实施例提供的多功能相变单元，不仅可以通过改变该氧化钒层的状态以实现将入射光进行反射与透射的两种不同功能的切换，还可以改变纳米结构的状态对出射光的出射角度进行高自由度的调控。光的出射角度进行高自由度的调控。光的出射角度进行高自由度的调控。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能相变单元及多功能超表面


[0001]本技术涉及微电子、光学
，具体而言，涉及一种多功能相变单元及多功能超表面。

技术介绍

[0002]目前，若要在一个光学器件上同时实现透射
‑
反射双功能的切换，可以采用基于氧化钒的可调超表面，利用氧化钒在导体和半导体之间的切换，改变导体与半导体分别对应的折射率和消光系数，从而对相位进行调制以实现透射
‑
反射双功能的切换。但是，这类基于氧化钒的可调超表面对相位的调制量是固定的，不能做到较高自由度的调制，导致相位可调范围较小。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术实施例的目的在于提供一种多功能相变单元及多功能超表面。
[0004]第一方面，本技术实施例提供了一种多功能相变单元，包括：纳米结构、氧化钒层、第一电极层、第二电极层、第三电极层和加热电阻；所述第一电极层、所述第二电极层和所述第三电极层在工作波段透明，所述多功能相变单元为一体结构；所述氧化钒层与所述加热电阻设置于所述第三电极层的一侧，所述加热电阻与所述氧化钒层在所述第三电极层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能相变单元，其特征在于，包括：纳米结构(11)、氧化钒层(12)、第一电极层(13)、第二电极层(14)、第三电极层(15)和加热电阻(16)；所述第一电极层(13)、所述第二电极层(14)和所述第三电极层(15)在工作波段透明，且所述多功能相变单元为一体结构；所述氧化钒层(12)与所述加热电阻(16)设置于所述第三电极层(15)的一侧，所述加热电阻(16)与所述氧化钒层(12)在所述第三电极层(15)上的投影为至少部分不重叠；在所述氧化钒层(12)与所述加热电阻(16)远离所述第三电极层(15)的一侧设置有所述第二电极层(14)；所述第二电极层(14)与所述第三电极层(15)用于对所述加热电阻(16)施加电压；所述加热电阻(16)能够改变所述氧化钒层(12)的温度，使所述氧化钒层(12)在不同温度下呈现导体态或者半导体态；在所述第二电极层(14)远离所述氧化钒层(12)与所述加热电阻(16)的一侧设置有所述纳米结构(11)，在所述纳米结构(11)远离所述第二电极层(14)的一侧设置有所述第一电极层(13)；所述第一电极层(13)与所述第二电极层(14)用于对所述纳米结构(11)施加电压，所述纳米结构(11)由相变材料构成，且所述纳米结构(11)根据所施加的电压实现晶态与非晶态的转换。2.根据权利要求1所述的多功能相变单元，其特征在于，所述纳米结构(11)根据所施加的电压实现晶态与非晶态的逐渐转换。3.根据权利要求1所述的多功能相变单元，其特征在于，还包括基底(17)，所述基底(17)在工作波段透明；所述基底(17)设置于所述第三电极层(15)远离所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝成龙，谭凤泽，朱瑞，朱健，
申请(专利权)人：深圳迈塔兰斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：