晶圆测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的属于半导体零件技术领域，具体为晶圆测试装置，包括测试工作台，所述测试工作台顶端安装有箱体，所述箱体顶端内壁开设有圆形凹槽，所述测试工作台底端固定连接有固定框，还包括与箱体连接的测试定位结构，所述吸附组件底端与固定框内壁底端固定连接，所述限位调节组件底端与圆形凹槽内壁底端固定连接，本实用新型专利技术控制伸缩杆一、伸缩杆二，根据晶圆的大小调节环形支撑板一、环形支撑板二，对晶圆进行限位，避免跑偏，同时控制伸缩杆拉动活塞，通过拉动活塞吸气，通过传输管带动吸盘将晶圆吸附固定，通过橡胶垫避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便、提高测试效率和测试的精确度。试的精确度。试的精确度。

【技术实现步骤摘要】
晶圆测试装置


[0001]本技术涉及半导体零件
，具体为晶圆测试装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在对生产加工出来晶圆需要限位在通过测试设备进行测试。
[0003]现有的测试装置在对晶圆进行测试时，是通过金属放置板上开设的放置槽对其进行限位，在通过测试设备对其进行测试，无法对其进行固定，并且无法根据晶圆的大小调节放置槽，使用不方便，为此，我们提出晶圆测试装置。

技术实现思路

[0004]鉴于上述和/或现有晶圆测试装置中存在的问题，提出了本技术。
[0005]因此，本技术的目的是提供晶圆测试装置，能够解决上述提出现有测试装置在对晶圆进行测试时，是通过金属放置板上开设的放置槽对其进行限位，在通过测试设备对其进行测试，无法对其进行固定，并且无法根据晶圆的大小调节放置槽，使用不方便的问题。
[0006]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0007]晶圆测试装置，其包括：测试工作台，所述测试工作台顶端安装有箱体，所述箱体顶端内壁开设有圆形凹槽，所述测试工作台底端固定连接有固定框，还包括与箱体连接的测试定位结构；
[0008]所述测试定位结构包括吸附组件、定位支撑组件和限位调节组件，所述吸附组件底端与固定框内壁底端固定连接，所述限位调节组件底端与圆形凹槽内壁底端固定连接，所述限位调节组件顶端与定位支撑组件底端连接，所述吸附组件顶端与定位支撑组件连接。
[0009]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述定位支撑组件包括支撑板，所述支撑板安装在圆形凹槽内壁正中央，所述支撑板外侧滑动连接环形支撑板一。
[0010]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述环形支撑板一外侧滑动连接有环形支撑板二，所述环形支撑板二外侧与圆形凹槽内壁滑动连接，所述支撑板、环形支撑板一、环形支撑板二底端均与限位调节组件顶端固定连接。
[0011]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位调节组件包括伸缩杆一、伸缩杆二、固定支撑杆、限位块、限位槽，所述伸缩杆一、伸缩杆二、固定支撑杆底端均与圆形凹槽内壁底端固定连接，所述固定支撑杆顶端与支撑板底端固定连接，所
述伸缩杆一顶端与环形支撑板一底端固定连接，所述伸缩杆二顶端与环形支撑板二底端固定连接。
[0012]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位槽、限位块均设有两组，一组所述限位槽开设在环形支撑板一内侧，另一组所述限位槽开设在环形支撑板二内侧，一组所述限位块内侧与支撑板外壁固定连接，另一组所述限位块内侧与环形支撑板一外侧固定连接，所述限位槽内壁与限位块外壁滑动连接。
[0013]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位块、限位槽的形状均设为T型。
[0014]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述限位块、限位槽的形状均设为弧形。
[0015]作为本技术所述的晶圆测试装置的一种优选方案，其中：所述吸附组件包括吸盘、橡胶垫、抽气管，所述吸盘安装在支撑板顶端，所述吸盘底端连接并相通有传输管，所述抽气管底端与固定框内壁底端固定连接，所述抽气管右侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆左端延伸至抽气管内并连接有活塞，所述抽气管输出端与传输管连接，所述橡胶垫底端安装与支撑板顶端。
[0016]与现有技术相比：
[0017]控制伸缩杆一、伸缩杆二，根据晶圆的大小调节环形支撑板一、环形支撑板二，对晶圆进行限位，避免跑偏，同时控制伸缩杆拉动活塞，通过拉动活塞吸气，通过传输管带动吸盘将晶圆吸附固定，通过橡胶垫避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便、提高测试效率和测试的精确度。
附图说明
[0018]图1为本技术主视图；
[0019]图2为本技术剖视图；
[0020]图3为本技术箱体主视图；
[0021]图4为本技术支撑板、环形支撑板一、环形支撑板二连接主视图；
[0022]图5为本技术图4的仰视图；
[0023]图6为本技术弧形的限位块、限位槽主视图。
[0024]图中：1、箱体；11、圆形凹槽；2、测试工作台；3、固定框；51、支撑板； 52、环形支撑板一；53、环形支撑板二；61、伸缩杆一；62、伸缩杆二；63、固定支撑杆；64、限位块；65、限位槽；71、吸盘；72、传输管；73、橡胶垫；74、抽气管；75、伸缩杆；76、活塞。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0026]实施例一：
[0027]本技术提供晶圆测试装置，具有使用方便、提高工作效率的优点，请参阅图1
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5，包括测试工作台2，测试工作台2顶端安装有箱体1，箱体1顶端内壁开设有圆形凹槽11，测试工作台2底端固定连接有固定框3，还包括与箱体1连接的测试定位结构；
[0028]所述测试定位结构包括吸附组件、定位支撑组件和限位调节组件，吸附组件底端与固定框3内壁底端固定连接，限位调节组件底端与圆形凹槽11内壁底端固定连接，限位调节组件顶端与定位支撑组件底端连接，吸附组件顶端与定位支撑组件连接。
[0029]定位支撑组件包括支撑板51，支撑板51安装在圆形凹槽11内壁正中央，支撑板51外侧滑动连接环形支撑板一52，环形支撑板一52外侧滑动连接有环形支撑板二53，环形支撑板二53外侧与圆形凹槽11内壁滑动连接，支撑板51、环形支撑板一52、环形支撑板二53底端均与限位调节组件顶端固定连接，一级放置槽是控制限位调节组件顶起环形支撑板一52，通过环形支撑板一52内侧与支撑板51形成的放置槽，二级放置槽是控制限位调节组件顶起环形支撑板二53，通过环形支撑板二53内侧与支撑板51、环形支撑板一52形成的放置槽，三级放置槽是控制限位调节组件带动环形支撑板一52、环形支撑板二53下降、复位与支撑板51齐平，通过圆形凹槽11内壁与支撑板51、环形支撑板一52、环形支撑板二53形成的放置槽，本领域技术人员将根据晶圆的大小控制限位调节组件，调节放置槽的大小，将晶圆放置在放置槽内，对其进行限位，避免跑偏。
[0030]限位调节组件包括伸缩杆一61、伸缩杆二62、固定支撑杆63、限位块64、限位槽65，伸缩杆一61、伸缩杆二62、固定支撑杆63底端均与圆形凹槽11内壁底端固定连接，固定支撑杆63顶端与支撑板51底端固定连接，伸缩杆一61 顶端与环形支撑板一52底端固定连接，伸缩杆二62顶端与环形支撑板二53底端固定连接，限位槽65、限位块64均设有两组，一组限位槽65开设在环形支撑板一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆测试装置，包括测试工作台(2)，所述测试工作台(2)顶端安装有箱体(1)，所述箱体(1)顶端内壁开设有圆形凹槽(11)，所述测试工作台(2)底端固定连接有固定框(3)，其特征在于：还包括与箱体(1)连接的测试定位结构；所述测试定位结构包括吸附组件、定位支撑组件和限位调节组件，所述吸附组件底端与固定框(3)内壁底端固定连接，所述限位调节组件底端与圆形凹槽(11)内壁底端固定连接，所述限位调节组件顶端与定位支撑组件底端连接，所述吸附组件顶端与定位支撑组件连接。2.根据权利要求1所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述定位支撑组件包括支撑板(51)，所述支撑板(51)安装在圆形凹槽(11)内壁正中央，所述支撑板(51)外侧滑动连接环形支撑板一(52)。3.根据权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述环形支撑板一(52)外侧滑动连接有环形支撑板二(53)，所述环形支撑板二(53)外侧与圆形凹槽(11)内壁滑动连接，所述支撑板(51)、环形支撑板一(52)、环形支撑板二(53)底端均与限位调节组件顶端固定连接。4.根据权利要求3所述的晶圆测试装置，其特征在于，所述限位调节组件包括伸缩杆一(61)、伸缩杆二(62)、固定支撑杆(63)、限位块(64)、限位槽(65)，所述伸缩杆一(61)、伸缩杆二(62)、固定支撑杆(63)底端均与圆形凹槽(11)内壁底端固定连接，所述固定支撑杆(63)顶端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：江静，包峰，
申请(专利权)人：江阴市华拓芯片测试有限公司，
类型：新型
国别省市：