下载晶圆测试装置的技术资料

文档序号:34626509

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本实用新型公开的属于半导体零件技术领域,具体为晶圆测试装置,包括测试工作台,所述测试工作台顶端安装有箱体,所述箱体顶端内壁开设有圆形凹槽,所述测试工作台底端固定连接有固定框,还包括与箱体连接的测试定位结构,所述吸附组件底端与固定框内壁底端固...
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