一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括升降台支撑板、升降台座、旋转喷涂载台、导向组件、第一缓冲组件和第二缓冲组件，升降台支撑板中央设有安装腔体，升降台座置于安装腔体内；旋转喷涂载台底部中央设有驱动轴，升降台座上与驱动轴传动设有动力输入机构；导向组件设于升降台支撑板与升降台座之间；升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧，且与升降台座驱动连接；至少两组第一缓冲组件对应设于升降台座底部两侧；至少两组第二缓冲组件对应设于升降台支撑板上两侧，且与升降台座上部对应。本实用新型专利技术结构稳固、响应迅速、升降行程长；旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动，保证晶圆的加工质量。保证晶圆的加工质量。保证晶圆的加工质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体涉及一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装。

技术介绍

[0002]晶圆MEMS芯片中高速逻辑元器件晶圆表层镀有一层low
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k膜，使用low
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k电介质作为ILD，可以有效地降低互连线之间的分布电容，从而可使芯片总体性能提升10%左右；low
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k镀膜在晶圆附着强度较低，容易产生脱落；常规刀片切割过程中，刀片对low
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k膜有较大的应力，严重影响芯片成品率；通过激光在切割道中快速制造出激光凹槽，将相邻的两片晶粒间的low
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k膜提前断开，然后以标准速度对晶粒切割，可有效的高成品率，同时减少或消除碎屑、分层和其他切割质量问题。在low
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k镀膜前对晶圆进行涂胶喷涂可有利于提高low
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k镀膜与晶圆的结合强度，以提高low
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k晶圆在行业中的运用。常规设置的晶圆载台配合设有动力驱动组件、升降驱动组件，在高速旋转启动过程中产生较大的旋转力矩，使得晶圆载台支撑框架产生抖动，长期使用造成晶圆载台变形进而带来安全隐患；此外，动力驱动组件的高速启动，容易给晶圆载台的升降驱动组件产生大的反向冲击，造成设备部件损坏，升降组件在升降过程中机械振动会导致晶圆产品产生震动错位，降低晶圆加工精度。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，以解决
技术介绍
中存在的问题。/>[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，涂胶喷涂工装包括：
[0005]升降台支撑板，所述升降台支撑板中央设有安装腔体；
[0006]升降台座，所述升降台座包括升降台板和升降悬架，所述升降台板设有升降台支撑板上方，所述升降悬架固定设于升降台板底部，且升降悬架置于所述安装腔体内；
[0007]旋转喷涂载台，所述旋转喷涂载台包括载台本体，所述载台本体底部中央设有驱动轴，所述驱动轴转动设于升降台板上，所述升降悬架上固定设有动力输入机构，所述动力输入机构与驱动轴传动连接；
[0008]若干组导向组件，所述导向组件包括导向套以及导向套内滑动设置的支撑导柱，所述导向套对应设于安装腔体周向的升降台支撑板上，所述支撑导柱对应设于升降台板底部；
[0009]至少两组升降驱动机构，所述升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧，且升降驱动机构的动力端通过连接件与升降台板连接，所述升降驱动机构驱动升降台座沿着导向组件升降运动；
[0010]至少两组第一缓冲组件，所述第一缓冲组件对应设于升降悬架两侧；
[0011]至少两组第二缓冲组件，所述第二缓冲组件对应设于升降台支撑板两侧，且第二
缓冲组件设于升降台板下侧。
[0012]优选地，所述载台本体外圆周固定连接有安装环板，所述安装环板外圆周向设有若干组卡爪限位组件。
[0013]优选地，所述动力输入机构包括设于升降悬架底端的减速机构，与所述减速机构配合设有驱动电机；
[0014]所述减速机构输出轴通过联轴器与驱动轴固定连接。
[0015]优选地，所述第一缓冲组件包括限位安装板，所述限位安装板上设有若干组缓冲柱。
[0016]优选地，所述第二缓冲组件包括升降板缓冲垫块，所述升降板缓冲垫块上设有若干组缓冲柱；所述升降台板上开设有通孔，所述缓冲柱顶端贯穿所述通孔。
[0017]优选地，所述升降台支撑板上与第二缓冲组件对应设有升降板限位块。
[0018]优选地，所述升降驱动机构为驱动气缸、液压缸或驱动电缸。
[0019]优选地，所述导向套为直线轴承。
[0020]优选地，所述连接件为浮动接头。
[0021]优选地，所述载台本体为真空载台，且载台本体板面上设有若干真空抽气孔。
[0022]本技术的上述技术方案的至少包括以下技术效果：
[0023]1、本申请实施例的涂胶喷涂工装，结构稳固、响应迅速、升降行程长；旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动，提高涂胶喷涂工装的使用寿命，保证晶圆的加工质量；
[0024]2、本申请实施例的第一缓冲组件、第二缓冲组件，缓冲柱采用橡胶材料制得，从而可实现升降悬架顶部、底部与升降台支撑板之间形成弹性缓冲，避免升降台座在升降驱动机构作用下升降时，避免与升降台支撑板产生刚性碰撞，提高升降台座抗震性能；
[0025]3、本申请实施例的旋转喷涂载台在高速旋转过程中，卡爪限位组件在离心力作用下其前端卡爪可对晶圆钢环限位并防止晶圆被拋飞；
[0026]4、本申请实施例的动力输入机构通过驱动电机将动力输入至减速机构，并通过减速机构将动力传递至驱动轴，从而可稳定、高效的实现对旋转喷涂载台的旋转驱动。
[0027]本申请实施例还包括其他具体技术效果见诸如实施例中。
附图说明
[0028]图1为本申请实施例的涂胶喷涂工装立体结构示意图；
[0029]图2为图1中涂胶喷涂工装结构俯视图；
[0030]图3为图1中涂胶喷涂工装结构仰视图；
[0031]图4为图1中涂胶喷涂工装结构右视图；
[0032]图5为图1中涂胶喷涂工装结构主视图。
[0033]附图标记：
[0034]100、涂胶喷涂工装；1、旋转喷涂载台；2、载台本体；3、安装环板；4、卡爪限位组件；5、升降台板；6、升降台支撑板；7、支撑导柱；8、第一缓冲组件；9、升降驱动机构；10、升降板限位块；11、升降板缓冲垫块；12、导向套；13、连接件；14、升降悬架；15、减速机构；16、驱动电机；17、驱动轴；18、联轴器；19、第二缓冲组件。
具体实施方式
[0035]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图1
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5，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0036]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，涂胶喷涂工装100包括升降台支撑板6、升降台座、旋转喷涂载台1、导向组件、第一缓冲组件8和第二缓冲组件19，所述升降台支撑板6中央设有安装腔体；所述升降台座包括升降台板5和升降悬架14，所述升降台板5设有升降台支撑板上方，所述升降悬架14固定设于升降台板5底部，且升降悬架14置于所述安装腔体内；所述旋转喷涂载台1包括载台本体2，所述载台本体2底部中央设有驱动轴17，所述驱动轴17转动设于升降台板5上，所述升降悬架14上固定设有动力输入机构，所述动力输入机构与驱动轴17传动连接；所述导向组件包括导向套12以及导向套内滑动设置的支撑导柱7，所述导向套12对应设于安装腔体周向的升降台支撑板上，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，涂胶喷涂工装（100）包括：升降台支撑板（6），所述升降台支撑板（6）中央设有安装腔体；升降台座，所述升降台座包括升降台板（5）和升降悬架（14），所述升降台板（5）设有升降台支撑板上方，所述升降悬架（14）固定设于升降台板（5）底部，且升降悬架（14）置于所述安装腔体内；旋转喷涂载台（1），所述旋转喷涂载台（1）包括载台本体（2），所述载台本体（2）底部中央设有驱动轴（17），所述驱动轴（17）转动设于升降台板（5）上，所述升降悬架（14）上固定设有动力输入机构，所述动力输入机构与驱动轴（17）传动连接；若干组导向组件，所述导向组件包括导向套（12）以及导向套内滑动设置的支撑导柱（7），所述导向套（12）对应设于安装腔体周向的升降台支撑板上，所述支撑导柱（7）对应设于升降台板（5）底部；至少两组升降驱动机构（9），所述升降驱动机构（9）对应设于升降台支撑板（6）两侧，且升降驱动机构（9）的动力端通过连接件（13）与升降台板（5）连接，所述升降驱动机构（9）驱动升降台座沿着导向组件升降运动；至少两组第一缓冲组件（8），所述第一缓冲组件（8）对应设于升降悬架（14）两侧；至少两组第二缓冲组件（19），所述第二缓冲组件（19）对应设于升降台支撑板两侧，且第二缓冲组件设于升降台板（5）下侧。2.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述载台本体（2）外圆周固定连接有安装环板（3），所述安装环板（3）外圆周向设...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫兴，陶为银，巩铁建，蔡正道，乔赛赛，张伟，鲍占林，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：