一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法及其焊接装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法及其焊接装置，包括以下步骤：步骤一：首先将一块板材放入热处理炉进行热处理，消除应力；步骤二：将步骤一中的板材放置于加工中心工作台的真空吸盘上，进行真空吸附固定；步骤三：使用刀具对板材进行表面切削加工，切削至目标厚度，其中包含功能面以及缔结面。本发明专利技术针对现有技术中在化学气象沉积设备下部电机的制备中，通过普通方式焊接会使得焊接面不够干净、消耗材料多和产生的气体污染较大等问题进行改进。本发明专利技术具有在化学气象沉积设备下部电机的制备中，通过搅拌摩擦焊进行台板盖板焊接，使得焊接面干净、焊接材料消耗少和降低污染，并且在焊接工作时，焊接更加高效等优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法及其焊接装置


[0001]本专利技术涉及电极制备
，尤其涉及一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法及其焊接装置。

技术介绍

[0002]在化学气象沉积设备下部电机的制备中，需要将通过盖板将加热线凹槽进行焊接密封。
[0003]现有技术中，在将盖板与凹槽进行焊接时，一般都是普通焊接方式进行焊接，普通焊接方式焊接具有焊接面不够干净、消耗材料多和产生的气体污染较大等缺点，因此，需要一种焊接面干净、焊接材料消耗少和降低污染的焊接方式。
[0004]针对以上技术问题，本专利技术公开了一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法及其焊接装置，本专利技术具有在化学气象沉积设备下部电机的制备中，通过搅拌摩擦焊进行台板盖板焊接，使得焊接面干净、焊接材料消耗少和降低污染，并且在焊接工作时，焊接更加高效等优点。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法及其焊接装置，以解决现有技术中在化学气象沉积设备下部电机的制备中，通过普通方式焊接会使得焊接面不够干净、消耗材料多和产生的气体污染较大等技术问题，本专利技术具有在化学气象沉积设备下部电机的制备中，通过搅拌摩擦焊进行台板盖板焊接，使得焊接面干净、焊接材料消耗少和降低污染，并且在焊接工作时，焊接更加高效等优点。
[0006]本专利技术通过以下技术方案实现：本专利技术公开了一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法，包括以下步骤：步骤一：首先将一块板材放入热处理炉进行热处理，消除应力；步骤二：将步骤一中的板材放置于加工中心工作台的真空吸盘上，进行真空吸附固定；步骤三：使用刀具对板材进行表面切削加工，切削至目标厚度，其中包含功能面以及缔结面；步骤四：将板材进行翻转，继续通过加工中心的真空吸盘进行真空吸附固定；步骤五：使用刀具对板材进行表面切削加工，切削至目标厚度，其中包含下表面以及加热线放置槽；步骤六：取另一块圆柱形材料，使用车床对圆柱的内，外侧进行加工，直至目标厚度；步骤七：再领取两块板材，放置于加工中心，加工两个对称的加热线放置槽的盖板；步骤八：将两个加热线进行折弯，最终形状与加热线凹槽相同；
步骤九：将折弯后的加热线进行通电加热测试；步骤十：将两个加热线与四个感温探头，放置于加热线凹槽内；步骤十一：将两个盖板，盖在加热线凹槽上，进行按压组装；步骤十二：将盖板表面及下表面进行酒精清洁；步骤十三：将盖板与下表面的缝隙通过焊接装置进行搅拌摩擦焊接；步骤十四：使用步骤六的套筒对加热线与感温探头的延伸段进行包裹；步骤十五：套筒底部与下表面进行氩弧焊；步骤十六：使用氦气检漏仪对所有焊接部进行检漏检查；步骤十七：对加热线、感温探头进行电性检查步骤十八：将台板放置于热处理颅内进行加热；步骤十九：待自然冷却后，将台板取出，使用激光平坦度测量对台板功能面进行平坦度测量；步骤二十：将台板放置在加工中心上，真空吸附固定；步骤二十一：对表面的孔、螺纹孔、边角进行精修；步骤二十二：重复步骤十六的操作；步骤二十三：使用端子及热缩护套，对加热线和感温探头的末端进行连接及标记。
[0007]进一步的，板材与圆柱形材料的材质均为铝合金。
[0008]一种化学气象沉积设备下部电极制备用的焊接装置，包括底座以及设置在底座一侧的搅拌摩擦焊设备，搅拌摩擦焊设备上设置有电控箱以及焊接部，底座的上方设置有上料点，搅拌摩擦焊设备工作台上设置有焊接点，底座的上方还设有环形循环输送机构，环形循环输送机构包括环形支撑架、板材移动机构、驱动机构和定位机构，环形循环输送机构的一端固定设置在底座的上方，环形循环输送机构的另一端设置在搅拌摩擦焊设备的工作台上且位于焊接点处，且环形循环输送机构水平布置，板材移动机构至少设置有两个，且板材移动机构通过环形支撑架的限位在焊接部的下方做环形运动，板材移动机构通过驱动机构在环形支撑架上进行自动化运动，环形支撑架的前端与后端均设置有对板材移动机构进行定位的定位机构。
[0009]进一步的，电控箱可对环形循环输送机构进行电控，底座上方还设有检测机构，环形支撑架包括环形架和环形导轨，环形导轨固定设置在环形架的上方，环形导轨为V形导轨。
[0010]进一步的，板材移动机构包括移动板、限位导轮、安装架和板材固定机构，移动板设置在环形架的上方，移动板下方设置有限位导轮，且限位导轮的一端与移动板转动连接，限位导轮至少有四个，限位导轮呈两排分布，且限位导轮为V形导轮，环形导轨插接在限位导轮的V形凹槽内部，且限位导轮与环形导轨滚动连接，安装架固定设置在移动板的上方，板材固定机构固定设置在安装架的上方。
[0011]进一步的，板材固定机构包括基准座和自动下压机构，基准座与自动下压机构均固定设置在安装架的上方，自动下压机构包括电动推杆和下压板，电动推杆至少设置有八个，且电动推杆分布在基准座的四边，电动推杆的伸缩轴一端固定设置有下压板，电动推杆伸缩轴在收缩时，下压板下移可以与基准座的上端面贴合，下压板与电动推杆的伸缩轴一端螺纹连接，电动推杆伸缩轴的一端固定设置有连接柱，连接柱的内部螺纹连接有螺杆，螺
杆的另一端与下压板转动连接，且螺杆另一端的外壁固定套接有螺帽，安装架由上固板和下固板组成，且上固板与下固板之间留有空间，上固板与下固板之间通过支撑杆固定连接，安装架上固定安装有蓄电池组单独对上方的电动推杆进行供电，蓄电池组安装在上固板和下固板之间，基准座的上端面横边和竖边均设置有基准块。
[0012]进一步的，驱动机构包括固定架、转轴、驱动轮和环形传送带，固定架设置有两个，两个固定架分别固定设置在环形架内部的两侧，转轴设置有四个，四个转轴呈矩形分布在环形架内部的两侧，且转轴与固定架通过轴承转动连接，转轴的两端分别延伸至固定架的上方与下方，转轴位于固定架上方的一端固定设置有驱动轮，驱动轮的外部套接有环形传送带，且驱动轮与环形传送带通过齿牙啮合连接，转轴的底端设置有驱动电机，且驱动电机固定安装在固定架的下方，驱动电机的输出端与转轴的底端固定连接，移动板的外壁与环形传送带的外壁固定连接。
[0013]进一步，检测机构包括导轨机构、平移机构、连接架、转动杆、转动盘和量具，导轨机构固定设置在底座的上方，且导轨机构位于上料点处，平移机构与导轨机构滑动配合，平移机构的上方设置有连接架，且连接架为L形，连接架的一端转动连接有转动杆，转动杆的底端固定设置有转动盘，转动盘的下端面一侧磁力安装有量具，转动杆的顶端设置有转动把手，导轨机构包括底板和滑轨，底板固定设置在底座的上端面，滑轨设置有两个，两个滑轨分别固定设置在底板上端面的两侧，平移机构包括移动架、滑套、螺纹筒、螺纹杆和操作转盘，移动架位于滑轨的上方，移动架下端面的两侧均固定设置有滑套，且滑套滑动套接在滑轨的外壁，移动架通过滑套和滑轨的配合在底座的上方朝向环形架方向进行滑动移动，螺纹筒固定设置在移动架的上方，螺纹筒的内部螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的另一端与连接架转动连接，且螺纹杆的外壁固定套接有对螺纹杆进行转动操作的操作转盘。
[0014]进一步，安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：首先将一块板材放入热处理炉进行热处理，消除应力；步骤二：将步骤一中的板材放置于加工中心工作台的真空吸盘上，进行真空吸附固定；步骤三：使用刀具对板材进行表面切削加工，切削至目标厚度，其中包含功能面以及缔结面；步骤四：将板材进行翻转，继续通过加工中心的真空吸盘进行真空吸附固定；步骤五：使用刀具对板材进行表面切削加工，切削至目标厚度，其中包含下表面以及加热线放置槽；步骤六：取另一块圆柱形材料，使用车床对圆柱的内，外侧进行加工，直至目标厚度；步骤七：再领取两块板材，放置于加工中心，加工两个对称的加热线放置槽的盖板；步骤八：将两个加热线进行折弯，最终形状与加热线凹槽相同；步骤九：将折弯后的加热线进行通电加热测试；步骤十：将两个加热线与四个感温探头，放置于加热线凹槽内；步骤十一：将两个盖板，盖在加热线凹槽上，进行按压组装；步骤十二：将盖板表面及下表面进行酒精清洁；步骤十三：将盖板与下表面的缝隙通过焊接装置进行搅拌摩擦焊接；步骤十四：使用步骤六的套筒对加热线与感温探头的延伸段进行包裹；步骤十五：套筒底部与下表面进行氩弧焊；步骤十六：使用氦气检漏仪对所有焊接部进行检漏检查；步骤十七：对加热线、感温探头进行电性检查步骤十八：将台板放置于热处理颅内进行加热；步骤十九：待自然冷却后，将台板取出，使用激光平坦度测量对台板功能面进行平坦度测量；步骤二十：将台板放置在加工中心上，真空吸附固定；步骤二十一：对表面的孔、螺纹孔、边角进行精修；步骤二十二：重复步骤十六的操作；步骤二十三：使用端子及热缩护套，对加热线和感温探头的末端进行连接及标记。2.如权利要求1所述的一种化学气象沉积设备下部电极的制备方法，其特征在于，所述板材与圆柱形材料的材质均为铝合金。3.一种化学气象沉积设备下部电极制备用的焊接装置，包括底座（1）以及设置在底座（1）一侧的搅拌摩擦焊设备（2），所述搅拌摩擦焊设备（2）上设置有电控箱（3）以及焊接部（5），其特征在于，所述底座（1）的上方设置有上料点，所述搅拌摩擦焊设备（2）工作台上设置有焊接点，所述底座（1）的上方还设有环形循环输送机构（4），所述环形循环输送机构（4）包括环形支撑架（41）、板材移动机构（42）、驱动机构（43）和定位机构（44），所述环形循环输送机构（4）的一端固定设置在底座（1）的上方，所述环形循环输送机构（4）的另一端设置在搅拌摩擦焊设备（2）的工作台上且位于焊接点处，且环形循环输送机构（4）水平布置，所述板材移动机构（42）至少设置有两个，且板材移动机构（42）通过环形支撑架（41）的限位在焊接部（5）的下方做环形运动，所述板材移动机构（42）通过驱动机构（43）在环形支撑架（41）上进行自动化运动，所述环形支撑架（41）的前端与后端均设置有对板材移动机构（42）进行
定位的定位机构（44）。4.如权利要求3所述的一种化学气象沉积设备下部电极制备用的焊接装置，其特征在于，所述电控箱（3）可对环形循环输送机构（4）进行电控，所述底座（1）上方还设有检测机构（6），所述环形支撑架（41）包括环形架（411）和环形导轨（412），所述环形导轨（412）固定设置在环形架（411）的上方，所述环形导轨（412）为V形导轨。5.如权利要求3所述的一种化学气象沉积设备下部电极制备用的焊接装置，其特征在于，所述板材移动机构（42）包括移动板（421）、限位导轮（422）、安装架（423）和板材固定机构（424），所述移动板（421）设置在环形架（411）的上方，所述移动板（421）下方设置有限位导轮（422），且限位导轮（422）的一端与移动板（421）转动连接，所述限位导轮（422）至少有四个，所述限位导轮（422）呈两排分布，且限位导轮（422）为V形导轮，所述环形导轨（412）插接在限位导轮（422）的V形凹槽内部，且限位导轮（422）与环形导轨（412）滚动连接，所述安装架（423）固定设置在移动板（421）的上方，所述板材固定机构（424）固定设置在安装架（423）的上方。6.如权利要求5所述的一种化学气象沉积设备下部电极制备用的焊接装置，其特征在于，所述板材固定机构（424）包括基准座（4241）和自动下压机构（4242），所述基准座（4241）与自动下压机构（4242）均固定设置在安装架（423）的上方，所述自动下压机构（4242）包括电动推杆（42421）和下压板（42422），所述电动推杆（42421）至少设置有八个，且电动推杆（42421）分布在基准座（4241）的四边，所述电动推杆（42421）的伸缩轴一端固定设置有下压板（42422），所述电动推杆（42421）伸缩轴在收缩时，下压板（42422）下移可以与基准座（4241）的上端面贴合，所述下压板（42422）与电动推杆（42421）的伸缩轴一端螺纹连接，所述电动推杆（42421）伸缩轴的一端固定设置有连接柱（7），所述连接柱（7）的内部螺纹连接有螺杆（8），所述螺杆（8）的另一端与下压板（42422）转动连接，且螺杆（8）另一端的外壁固定套接有螺帽（9），所述安装架（423）由上固板（4232）和下固...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴京春，倪响，
申请(专利权)人：苏州外延世电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：