PE-CVD加热板检测装置制造方法及图纸

本申请公开了一种PE

【技术实现步骤摘要】
PE
‑
CVD加热板检测装置


[0001]本申请涉及PE
‑
CVD设备检测
，特别涉及一种PE
‑
CVD加热板检测装置。

技术介绍

[0002]等离子体增强化学气相沉积(PE
‑
CVD)是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。对应的PE
‑
CVD设备中，加热板作为不可或缺的零部件，用来对玻璃进行加热以及在腔体内上下移动，再生作业完成后，无法确认加热板内部加热线以及温度感应器是否继续正常工作，加热板不良造成产品不合格，只能反推依次检查各部件及工序，造成资源浪费。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种PE
‑
CVD加热板检测装置，可快速检测加热板的热释放分布，并形成热释放分布图，直观得出加热板内部加热线的状态，避免使用不良加热板进行生产。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]本申请实施例公开了一种PE
‑
CVD加热板检测装置，包括水平设置的工作台和依次设置于工作台的加热板、热感应玻璃和盖板，所述加热板内设置有若干加热线和与加热线一一对应的温度传感器，所述加热线和温度传感器分别连接于控制箱，所述热感应玻璃连接于显示装置。
[0006]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述工作台包括支撑架和固定于支撑架顶部的铝制基座，所述基座顶面设置有若干铝制支撑块。
[0007]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述基座内设置有穿线孔，用于加热线和温度传感器与控制箱的线路连接。
[0008]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述盖板的底面凹设有保温腔。
[0009]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述保温腔的内壁设置有保温棉。
[0010]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述保温腔的侧壁分别设置有视窗，所述视窗贯穿保温棉，所述视窗内设置有透明玻璃。
[0011]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述控制箱内设置有加热板控制电路，所述加热板控制电路包括连接电源的一次回路和分别连接于主回路的若干二次回路，对应的所述加热线和温度传感器分别连接于同一个二次回路。
[0012]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，所述二次回路包括依次连接于一次回路的接触器、电源控制器和控制电源控制器的温度调节控制器，所述加热线连接于电源控制器，所述温度传感器连接于对应的温度调节控制器。
[0013]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，二次还回路包括控制接触器同时启闭的自锁回路。
[0014]优选的，在上述的PE
‑
CVD加热板检测装置中，每个所述二次回路分别连接有电流表和电压表。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：该PE
‑
CVD加热板检测装置结构简单，可快速检测加热板的热释放分布，并形成热释放分布图，直观得出加热板内部加热线和温度传感器的状态。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1所示为本专利技术具体实施例中PE
‑
CVD加热板检测装置的结构示意图。
[0018]图2所示为本专利技术具体实施例中工作台的结构示意图。
[0019]图3所示为本专利技术具体实施例中盖板的结构示意图。
[0020]图4所示为本专利技术具体实施例中一次回路的电路图。
[0021]图5所示为本专利技术具体实施例中温度调节控制器的接线示意图。
[0022]图6所示为本专利技术具体实施例中自锁回路的电路图。
[0023]图7所示为本专利技术具体实施例中加热线的接线示意图。
[0024]图8所示为本专利技术具体实施例中温度传感器的接线示意图。
[0025]图9所示为本专利技术具体实施例中加热板热释放分布图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]参图1至图3所示，一种PE
‑
CVD加热板检测装置，包括水平设置的工作台1和依次设置于工作台1的加热板2、热感应玻璃3和盖板4，加热板2内设置有八组加热线(分别为H1至H8)和与加热线一一对应的八组温度传感器(热电偶)，加热线和温度传感器分别连接于控制箱5，热感应玻璃3连接于显示装置(未图示)。
[0028]该技术方案中，热感应玻璃选用现有技术记载的结构，能实现感应加热板表面的温度即可，控制箱启动加热板工作，热感应玻璃感应加热板的温度，并把数据通过控制线传送至显示装置，显示装置为安装有midas NFX软件的电脑，直观得出加热板的热释放分布，从而判断出加热板内部加热线和温度传感器的工作状态。
[0029]进一步地，工作台1包括支撑架11和固定于支撑架11顶部的铝制基座12，基座12顶面设置有若干铝制支撑块13。
[0030]该技术方案中，PE
‑
CVD加热板为铝合金材质，选用相近或一样的材料制成基座12和支撑块13，基座12可加少加热板底部的热量流失，支撑块13减少加热板与基座12的接触面积，从而减少热传递导致的热量流失。
[0031]进一步地，基座12的中心设置有穿线孔121，用于加热线和温度传感器与控制箱5的线路连接。
[0032]该技术方案中，加热板放置时，其内部加热线和温度传感器的导线、接头设置底面，并通过穿线孔连接于控制箱，热感应玻璃的控制线亦可由穿线孔连接至显示装置。
[0033]进一步地，盖板4的底面凹设有保温腔41。
[0034]该技术方案中，盖板放置以后，配合基座顶面，将热感应玻璃和加热板封装于保温腔内，减少热量的流失，提高检测准确度。
[0035]进一步地，保温腔的内壁设置有保温棉(未图示)。
[0036]该技术方案中，保温棉选用现有技术即可，用于提高盖板的保温效果。
[0037]进一步地，保温腔的侧壁分别设置有视窗42，视窗贯穿保温棉，视窗内设置有透明玻璃。
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PE
‑
CVD加热板检测装置，其特征在于，包括水平设置的工作台和依次设置于工作台的加热板、热感应玻璃和盖板，所述加热板内设置有若干加热线和与加热线一一对应的温度传感器，所述加热线和温度传感器分别连接于控制箱，所述热感应玻璃连接于显示装置。2.根据权利要求1所述的PE
‑
CVD加热板检测装置，其特征在于：所述工作台包括支撑架和固定于支撑架顶部的铝制基座，所述基座顶面设置有若干铝制支撑块。3.根据权利要求2所述的PE
‑
CVD加热板检测装置，其特征在于：所述基座内设置有穿线孔，用于加热线和温度传感器与控制箱的线路连接。4.根据权利要求1所述的PE
‑
CVD加热板检测装置，其特征在于：所述盖板的底面凹设有保温腔。5.根据权利要求4所述的PE
‑
CVD加热板检测装置，其特征在于：所述保温腔的内壁设置有保温棉。6.根据权利要求4所述的PE
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴京春，张龙浩，许昂，
申请(专利权)人：苏州外延世电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：