一种集成电路生产洁净室系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种集成电路生产洁净室系统，属于洁净室技术领域，其技术方案要点包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，解决了现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用，从而影响使用效果的问题。从而影响使用效果的问题。从而影响使用效果的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产洁净室系统


[0001]本技术涉及洁净室
，特别涉及一种集成电路生产洁净室系统。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。
[0003]集成电路在生产过程中需要在洁净室内进行生产工作，而现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种集成电路生产洁净室系统，旨在解决现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用，从而影响使用效果的问题。
[0005]本技术是这样实现的，一种集成电路生产洁净室系统，包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，所述电机与回风机构传动连接，所述回风箱远离洁净室主体的一端固定连通有固定箱，所述固定箱与空调机组固定连通，所述固定箱的内部活动连接有净化机构；
[0006]所述净化机构包括固定架、第一滤网和第二滤网，所述固定架的表面与固定箱的内壁接触，所述第一滤网固定连接在固定箱内部的前侧，所述第二滤网固定连接在固定箱内部的后侧。
[0007]为了达到排放回风的效果，作为本技术的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述回风机构包括转杆、风扇、传动轮和传动带，所述转杆活动连接在回风箱的内部，所述转杆的表面与风扇的内壁固定连接，所述传动轮分别固定连接在转杆和电机的输出端，所述传动带缠绕在传动轮的内部。
[0008]为了达到对净化机构固定的效果，作为本技术的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述第一滤网和第二滤网的后侧均固定连接有支撑块，所述第一滤网的前侧活动连接有螺栓，所述螺栓的后侧贯穿第一滤网和第二滤网的内部并延伸至后侧支撑块的内
部。
[0009]为了达到提高固定强度的效果，作为本技术的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述支撑块的数量为八个，且支撑块分别固定连接在第一滤网和第二滤网后侧的四角，所述第一滤网和第二滤网通过支撑块和螺栓与固定架固定连接，所述支撑块靠近固定架内壁的一侧与固定架固定连接。
[0010]为了达到对回风机构支撑的效果，作为本技术的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述回风箱内部的两侧均固定连接有支撑板，所述支撑板的内部开设有通风口，所述转杆表面的两侧均固定连接有轴承，所述轴承靠近支撑板的一侧与支撑板固定连接。
[0011]为了达到限制净化机构的效果，作为本技术的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述固定箱的右侧活动连接有箱门，所述箱门的左侧与固定架的右侧接触，所述固定箱右侧的后侧活动连接有把手，所述把手与箱门紧密接触。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]该集成电路生产洁净室系统，在空调机组向洁净室主体内通入冷却空气降温后，由电机带动回风机构工作，使回风机构将洁净室主体内空气排入固定箱内部，并使第一滤网对回风进行净化，可以过滤回风中较大的杂质，然后通过第二滤网拦截回风中较小的杂质，通过第一滤网和第二滤网的双重净化下，可以达到对回风净化的效果，从而减小空调机组内部过滤结构的负载，并延缓空调机组内部过滤结构堵塞的速率，保证了通入洁净室主体内部冷风的洁净度。
附图说明
[0014]图1为本技术的集成电路生产洁净室系统的整体结构图；
[0015]图2为本技术中回风箱和固定箱的连接示意图；
[0016]图3为本技术中回风箱的剖视图；
[0017]图4为本技术回风箱的结构图；
[0018]图5为本技术中固定箱的俯视图；
[0019]图6为本技术中净化机构的结构图。
[0020]图中，1、洁净室主体；2、净化机构；201、固定架；202、第一滤网；203、第二滤网；3、回风机构；301、转杆；302、风扇；303、传动轮；304、传动带；4、空调机组；5、回风箱；6、固定箱；7、电机；8、支撑块；9、螺栓；10、支撑板；11、通风口；12、轴承；13、箱门；14、把手。
具体实施方式
[0021]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另
有明确具体的限定。
[0023]请参阅图1
‑
6，本技术提供技术方案：一种集成电路生产洁净室系统，包括洁净室主体1，洁净室主体1的后侧固定连通有空调机组4，洁净室主体1的右侧固定连通有回风箱5，回风箱5的内部活动连接有回风机构3，回风箱5的前侧固定连接有电机7，电机7与回风机构3传动连接，回风箱5远离洁净室主体1的一端固定连通有固定箱6，固定箱6与空调机组4固定连通，固定箱6的内部活动连接有净化机构2；
[0024]净化机构2包括固定架201、第一滤网202和第二滤网203，固定架201的表面与固定箱6的内壁接触，第一滤网202固定连接在固定箱6内部的前侧，第二滤网203固定连接在固定箱6内部的后侧。
[0025]在本实施例中：在空调机组4向洁净室主体1内通入冷却空气降温后，由电机7带动回风机构3工作，使回风机构3将洁净室主体1内空气排入固定箱6内部，并使第一滤网202对回风进行净化，可以过滤回风中较大的杂质，然后通过第二滤网203拦截回风中较小的杂质，通过第一滤网202和第二滤网203的双重净化下，可以达到对回风净化的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产洁净室系统，包括洁净室主体(1)，其特征在于：所述洁净室主体(1)的后侧固定连通有空调机组(4)，所述洁净室主体(1)的右侧固定连通有回风箱(5)，所述回风箱(5)的内部活动连接有回风机构(3)，所述回风箱(5)的前侧固定连接有电机(7)，所述电机(7)与回风机构(3)传动连接，所述回风箱(5)远离洁净室主体(1)的一端固定连通有固定箱(6)，所述固定箱(6)与空调机组(4)固定连通，所述固定箱(6)的内部活动连接有净化机构(2)；所述净化机构(2)包括固定架(201)、第一滤网(202)和第二滤网(203)，所述固定架(201)的表面与固定箱(6)的内壁接触，所述第一滤网(202)固定连接在固定箱(6)内部的前侧，所述第二滤网(203)固定连接在固定箱(6)内部的后侧。2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述回风机构(3)包括转杆(301)、风扇(302)、传动轮(303)和传动带(304)，所述转杆(301)活动连接在回风箱(5)的内部，所述转杆(301)的表面与风扇(302)的内壁固定连接，所述传动轮(303)分别固定连接在转杆(301)和电机(7)的输出端，所述传动带(304)缠绕在传动轮(303)的内部。3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐亚辉，徐东京，
申请(专利权)人：东嘉厦门工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：