一种集成电路生产洁净室系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种集成电路生产洁净室系统，属于洁净室技术领域，其技术方案要点包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，解决了现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用，从而影响使用效果的问题。从而影响使用效果的问题。从而影响使用效果的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产洁净室系统


[0001]本技术涉及洁净室
，特别涉及一种集成电路生产洁净室系统。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。
[0003]集成电路在生产过程中需要在洁净室内进行生产工作，而现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种集成电路生产洁净室系统，旨在解决现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产洁净室系统，包括洁净室主体(1)，其特征在于：所述洁净室主体(1)的后侧固定连通有空调机组(4)，所述洁净室主体(1)的右侧固定连通有回风箱(5)，所述回风箱(5)的内部活动连接有回风机构(3)，所述回风箱(5)的前侧固定连接有电机(7)，所述电机(7)与回风机构(3)传动连接，所述回风箱(5)远离洁净室主体(1)的一端固定连通有固定箱(6)，所述固定箱(6)与空调机组(4)固定连通，所述固定箱(6)的内部活动连接有净化机构(2)；所述净化机构(2)包括固定架(201)、第一滤网(202)和第二滤网(203)，所述固定架(201)的表面与固定箱(6)的内壁接触，所述第一滤网(202)固定连接在固定箱(6)内部的前侧，所述第二滤网(203)固定连接在固定箱(6)内部的后侧。2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述回风机构(3)包括转杆(301)、风扇(302)、传动轮(303)和传动带(304)，所述转杆(301)活动连接在回风箱(5)的内部，所述转杆(301)的表面与风扇(302)的内壁固定连接，所述传动轮(303)分别固定连接在转杆(301)和电机(7)的输出端，所述传动带(304)缠绕在传动轮(303)的内部。3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐亚辉，徐东京，
申请(专利权)人：东嘉厦门工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：