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本实用新型公开了一种集成电路生产洁净室系统，属于洁净室技术领域，其技术方案要点包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，...
该专利属于东嘉（厦门）工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东嘉（厦门）工程技术有限公司授权不得商用。

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