热电模块以及光模块制造技术

本发明专利技术提供一种热电模块以及光模块。热电模块具有：基板、热电元件、将基板与热电元件接合的包括电极的接合部、覆盖接合部的表面的有机材料膜、以及覆盖有机材料膜的无机材料膜。以及覆盖有机材料膜的无机材料膜。以及覆盖有机材料膜的无机材料膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热电模块以及光模块


[0001]本公开涉及热电模块以及光模块。

技术介绍

[0002]已知由于珀尔帖效应而吸热或者发热的热电模块。通过将热电模块的热电元件通电，热电模块吸热或者发热。当热电模块在结露的状态下通电时，可能发生电化学迁移，因金属的移动而产生电路短路或者断开。在专利文献1中，已经公开一种利用原子层沉积法(ALD：Atomic Layer Deposition)形成气密阻挡层以覆盖热电元件的技术。在专利文献2中，已经公开一种具有将吸热侧基板与散热侧基板之间密封的密封部件的热电模块。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：(日本)特表2014
‑
504331号公报
[0006]专利文献2：(日本)特开2005
‑
303183号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]通过由无机材料膜覆盖热电元件，存在可抑制热电元件结露的可能性。但是，因为无机材料膜较脆，所以，当在设有无机材料膜的对象物的表面存在凹凸时，无机材料膜上产生裂纹的可能性较大。当无机材料膜上产生裂纹时，难以充分抑制热电元件结露，可能发生电化学迁移。
[0009]通过由密封部件将吸热侧基板与散热侧基板之间密封，存在可抑制热电元件结露的可能性。但是，在密封部件只由环氧树脂构成的情况下，存在不能充分抑制热电元件结露的可能性。当不能充分抑制热电元件结露时，则可能发生电化学迁移。
[0010]本公开的目的在于提供一种可抑制发生电路短路或者断开的热电模块。
[0011]用于解决技术问题的技术方案
[0012]根据本公开，提供一种热电模块，该热电模块具有：基板、热电元件、将所述基板与所述热电元件接合的包括电极的接合部、覆盖所述接合部的表面的有机材料膜、以及覆盖所述有机材料膜的无机材料膜。
[0013]根据本公开，提供一种热电模块，该热电模块具有：一对基板、在一对所述基板之间配置的热电元件、与所述基板的周线部连接且将一对所述基板之间进行密封的基膜、以及覆盖所述基膜的表面的无机材料膜。
[0014]专利技术的效果
[0015]根据本公开，能够提供可抑制发生电路短路或者断开的热电模块。
附图说明
[0016]图1是表示第一实施方式的光模块的剖视图。
[0017]图2是表示第一实施方式的热电模块的剖视图。
[0018]图3是表示第一实施方式的热电模块的一部分的剖视放大图。
[0019]图4是表示第一实施方式的热电模块的制造方法的流程图。
[0020]图5是表示第一实施方式的热电模块的性能测试结果的图。
[0021]图6是表示第二实施方式的热电模块的剖视图。
[0022]图7是表示第二实施方式的热电模块的制造方法的流程图。
[0023]图8是表示第二实施方式的热电模块的性能测试结果的图。
[0024]图9是表示第二实施方式的热电模块的第一变形例的剖视图。
[0025]图10是表示第二实施方式的热电模块的第二变形例的剖视图。
[0026]图11是表示第二实施方式的热电模块的第三变形例的剖视图。
具体实施方式
[0027]下面，参照附图，针对本公开的实施方式进行说明，但本公开不限于此。如下说明的多个实施方式的结构主要部件可以适当进行组合。另外，也有时不使用一部分结构主要部件。
[0028]在如下的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系，针对各部的位置关系进行说明。使与规定面内的X轴平行的方向为X轴向，使规定面内与正交于X轴的Y轴平行的方向为Y轴向，使与正交于规定面的Z轴平行的方向为Z轴向。X轴、Y轴、以及Z轴正交。另外，使包括X轴及Y轴的平面为XY平面，使包括Y轴及Z轴的平面为YZ平面，使包括Z轴及X轴的平面为XZ平面。XY平面与规定面平行。XY平面、YZ平面、以及XZ平面正交。
[0029][第一实施方式][0030]针对第一实施方式进行说明。
[0031]＜光模块＞
[0032]图1是表示实施方式的光模块100的剖视图。光模块100例如在光通信中使用。如图1所示，光模块100具有：热电模块1、发光元件101、散热片102、第一头座103、受光元件104、第二头座105、温度传感器106、金属板107、透镜108、透镜支架109、第一端子110、第二端子111、引线112、以及壳体113。
[0033]另外，光模块100具有：光隔离器115、光套管116、光纤117、以及套筒118。
[0034]热电模块1由于珀尔帖效应而吸热或者发热。热电模块1具有一对基板2、以及在一对基板2之间配置的热电元件3。
[0035]发光元件101射出光。发光元件101例如包括射出激光的激光二极管。散热片102支承发光元件101。散热片102将由发光元件101产生的热量散发。第一头座103支承散热片102。散热片102固定在第一头座103。
[0036]受光元件104对由发光元件101产生的光进行检测。受光元件104例如包括光电二极管。第二头座105支承受光元件104。受光元件104固定在第二头座105。
[0037]温度传感器106对金属板107的温度进行检测。温度传感器106例如包括热敏电阻。
[0038]金属板107支承第一头座103、第二头座105、以及温度传感器106。第一头座103、第二头座105、以及温度传感器106由焊料固定在金属板107。
[0039]透镜108将从发光元件101射出的光进行聚集。透镜支架109保持透镜108。
[0040]第一端子110与第一头座103、第二头座105、以及温度传感器106连接。第二端子111与热电模块1连接。第一端子110与第二端子111经由引线112而连接。
[0041]壳体113收纳有热电模块1、发光元件101、散热片102、第一头座103、受光元件104、第二头座105、温度传感器106、金属板107、透镜108、透镜支架109、第一端子110、第二端子111、以及引线112。壳体113具有使从发光元件101射出的光通过的开口部114。
[0042]光隔离器115在壳体113的外侧进行配置以封堵开口部114。光隔离器115使在一个方向行进的光通过，遮挡在相反方向行进的光。从发光元件101射出且通过了透镜108的光经由开口部114，射入光隔离器115。射入光隔离器115的光通过光隔离器115。
[0043]光套管116将从光隔离器115射出的光引导向光纤117。套筒118支承光套管116。
[0044]接着，针对光模块100的工作进行说明。从发光元件101射出的光在由透镜108聚集后，经由开口部114而射入光隔离器115。射入光隔离器115的光在通过光隔离器115后，经由光套管116，射入光纤117的端面。
[004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种热电模块，其特征在于，具有：基板；热电元件；接合部，其将所述基板与所述热电元件接合，并包括电极；有机材料膜，其覆盖所述接合部的表面；无机材料膜，其覆盖所述有机材料膜。2.如权利要求1所述的热电模块，其特征在于，所述有机材料膜含有聚对二甲苯，所述无机材料膜含有二氧化硅。3.如权利要求1或2所述的热电模块，其特征在于，所述接合部包括由镍形成的防止扩散层。4.如权利要求1至3中任一项所述的热电模块，其特征在于，所述无机材料膜的厚度比所述有机材料膜的厚度薄。5.如权利要求1至4中任一项所述的热电模块，其特征在于，所述热电元件的表面由所述有机材料膜覆盖，覆盖所述热电元件的表面的所述有机材料膜由所述无机材料膜覆盖。6.如权利要求1至5中任一项所述的热电模块，其特征在于，具有设置柱电极的柱体，所述柱体经由第二接合部与所述基板接合。7.如权利要求6所述的热电模块，其特征在于，所述柱体与所述基板之间的所述第二接合部的表面由所述有机材料膜及所述无机材料膜覆盖。8.如权利要求7所述的热电模块，其特征在于，所述柱体的表面由所述有机材料膜及所述无机材料膜覆盖。9.一种热电模块，其特征在于，具有一对基板；热电元件，其配置在一对所述基板之间；基膜，其与所述基板的周线部连接，并将一对所述基板之间进行密封；无机材料膜，其覆盖所述基膜的表面。10.如权利要求9所述的热电模块，其特征在于，所述基膜为有机材料膜。11.如权利要求10所述的热电模块，其特征在于，所述有机材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田崇明，田中哲史，松并博之，是枝晴华，
申请(专利权)人：株式会社KELK，
类型：发明
国别省市：