晶棒检查装置制造方法及图纸

本公开涉及一种晶棒检查装置，包括：壳体，壳体的内部设置有具有通孔的隔板，将壳体分为第一容纳腔和第二容纳腔，第一容纳腔用于放置晶棒；光源，设置在隔板上，用于发射激光；海绵垫，吸纳有检查油，设置在第二容纳腔中；检查部；以及第一驱动部，用于驱动海绵垫沿晶棒的轴向运动，以使海绵垫在两个容纳腔之间运动，第一驱动部还配置为驱动海绵垫绕晶棒的轴线转动，和/或，晶棒检查装置具有用于驱动晶棒绕轴线自转的第二驱动部。使用时，将晶棒放入第一容纳腔中，推动海绵垫涂抹检查油并用光源照射晶棒，借助显示器检查破损处，可以避免将晶棒放在桌上检查容易沾灰，导致检测结果出现误差，另外可以避免人手直接涂抹对人体造成伤害。害。害。

【技术实现步骤摘要】
晶棒检查装置


[0001]本公开涉及蓝宝石的处理加工领域，具体地，涉及一种晶棒检查装置。

技术介绍

[0002]蓝宝石晶片因其优良的介电性能、化学稳定性、热传导性和高表面平滑度等特点而成为制备高温超导薄膜、红外光学材料、微电子器件等的最优质基片和衬底材料。晶棒检验为生产蓝宝石晶片作业的第一步，现有的晶棒检验需要将晶棒搬运至桌面进行人工手动检测，晶棒检验人员会在检验晶棒时将冬青油涂覆至晶棒表面，使用海绵垫将冬青油擦拭均匀，再使用绿色激光笔从晶棒侧面反复照射，将肉眼能检查出的晶棒缺陷使用油性笔标注。由于在检验晶棒时，晶棒需要放置在桌面，容易粘到桌面灰尘，从而在激光笔的强光照射下，会影响检验晶棒时的视觉效果，造成误以为有缺陷的错觉，影响检测的准确性和效率。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种晶棒检查装置，以至少部分地解决相关技术中存在的问题。
[0004]为了实现上述目的，本公开提供一种晶棒检查装置，包括：壳体，构造为可开闭的中空结构，所述壳体的内部设置有具有通孔的隔板，以将所述壳体分为第一容纳腔和第二容纳腔，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒检查装置，其特征在于，包括：壳体(10)，构造为可开闭的中空结构，所述壳体(10)的内部设置有具有通孔的隔板(20)，以将所述壳体(10)分为第一容纳腔(31)和第二容纳腔(32)，所述第一容纳腔(31)用于放置所述晶棒；光源，设置在所述隔板(20)上，用于朝向所述晶棒发射激光；海绵垫(40)，吸纳有检查油，并设置在所述第二容纳腔(32)中；检查部，包括设置在所述第一容纳腔(31)内的摄像头和连接所述摄像头的显示器(50)；以及第一驱动部，用于驱动所述海绵垫(40)沿所述晶棒的轴向运动，以使所述海绵垫(40)通过所述通孔在所述第一容纳腔(31)和所述第二容纳腔(32)之间运动，其中，所述第一驱动部还配置为驱动所述海绵垫(40)绕所述晶棒的轴线转动，和/或，所述晶棒检查装置具有用于驱动所述晶棒绕轴线自转的第二驱动部。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第一驱动部包括第一连接件和第一摇杆(81)，所述第一连接件固定安装在所述海绵垫(40)的远离所述第一容纳腔(31)的端部，所述壳体(10)的靠近所述第一连接件的形成面设有第一贯穿孔以供所述第一摇杆(81)从所述壳体(10)外侧穿入而连接所述第一连接件。3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，所述第一贯穿孔与所述第一摇杆(81)的伸入所述第二容纳腔(32)的部分形状相匹配，以通过所述第一摇杆(81)连接所述第一连接件实现对所述海绵垫(40)的径向定位。4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第二驱动部包括第二连接件(61)和第二摇杆(62)，所述第二连接件(61)可旋转地安装在所述第一容纳腔(31)的远离所述第二容纳腔(32)的内壁上...

【专利技术属性】
技术研发人员：许永峰，宋亚滨，翟虎，陆继波，陈桥玉，潘涛，万建军，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：