本公开涉及一种晶棒检查装置，包括：壳体，壳体的内部设置有具有通孔的隔板，将壳体分为第一容纳腔和第二容纳腔，第一容纳腔用于放置晶棒；光源，设置在隔板上，用于发射激光；海绵垫，吸纳有检查油，设置在第二容纳腔中；检查部；以及第一驱动部，用于驱动海绵垫沿晶棒的轴向运动，以使海绵垫在两个容纳腔之间运动，第一驱动部还配置为驱动海绵垫绕晶棒的轴线转动，和/或，晶棒检查装置具有用于驱动晶棒绕轴线自转的第二驱动部。使用时，将晶棒放入第一容纳腔中，推动海绵垫涂抹检查油并用光源照射晶棒，借助显示器检查破损处，可以避免将晶棒放在桌上检查容易沾灰，导致检测结果出现误差，另外可以避免人手直接涂抹对人体造成伤害。害。害。
【技术实现步骤摘要】
晶棒检查装置
[0001]本公开涉及蓝宝石的处理加工领域，具体地，涉及一种晶棒检查装置。
技术介绍
[0002]蓝宝石晶片因其优良的介电性能、化学稳定性、热传导性和高表面平滑度等特点而成为制备高温超导薄膜、红外光学材料、微电子器件等的最优质基片和衬底材料。晶棒检验为生产蓝宝石晶片作业的第一步，现有的晶棒检验需要将晶棒搬运至桌面进行人工手动检测，晶棒检验人员会在检验晶棒时将冬青油涂覆至晶棒表面，使用海绵垫将冬青油擦拭均匀，再使用绿色激光笔从晶棒侧面反复照射，将肉眼能检查出的晶棒缺陷使用油性笔标注。由于在检验晶棒时，晶棒需要放置在桌面，容易粘到桌面灰尘，从而在激光笔的强光照射下，会影响检验晶棒时的视觉效果，造成误以为有缺陷的错觉，影响检测的准确性和效率。
技术实现思路
[0003]本公开的目的是提供一种晶棒检查装置，以至少部分地解决相关技术中存在的问题。
[0004]为了实现上述目的，本公开提供一种晶棒检查装置，包括：壳体，构造为可开闭的中空结构，所述壳体的内部设置有具有通孔的隔板，以将所述壳体分为第一容纳腔和第二容纳腔，所述第一容纳腔用于放置所述晶棒；光源，设置在所述隔板上，用于朝向所述晶棒发射激光；海绵垫，吸纳有检查油，并设置在所述第二容纳腔中；检查部，包括设置在所述第一容纳腔内的摄像头和连接所述摄像头的显示器；以及第一驱动部，用于驱动所述海绵垫沿所述晶棒的轴向运动，以使所述海绵垫通过所述通孔在所述第一容纳腔和所述第二容纳腔之间运动，其中，所述第一驱动部还配置为驱动所述海绵垫绕所述晶棒的轴线转动，和/或，所述晶棒检查装置具有用于驱动所述晶棒绕轴线自转的第二驱动部。
[0005]可选地，所述第一驱动部包括第一连接件和第一摇杆，所述第一连接件固定安装在所述海绵垫的远离所述第一容纳腔的端部，所述壳体的靠近所述第一连接件的形成面设有第一贯穿孔以供所述第一摇杆从所述壳体外侧穿入而连接所述第一连接件。
[0006]可选地，所述第一贯穿孔与所述第一摇杆的伸入所述第二容纳腔的部分形状相匹配，以通过所述第一摇杆连接所述第一连接件实现对所述海绵垫的径向定位。
[0007]可选地，所述第二驱动部包括第二连接件和第二摇杆，所述第二连接件可旋转地安装在所述第一容纳腔的远离所述第二容纳腔的内壁上，用于连接所述晶棒的端部，所述壳体的安装所述第二连接件的形成面设有第二贯穿孔以供所述第二摇杆从所述壳体外侧穿入而连接所述第二连接件。
[0008]可选地，所述第二容纳腔的顶部设置有可开闭的盖板，以用于在打开时供所述海绵垫补充所述检查油。
[0009]可选地，所述光源包括两个激光笔，分别用于朝向所述晶棒的端面和周面放射激
光。
[0010]可选地，还包括可沿所述晶棒轴向运动的标注机构，所述标注机构构造为直径可缩放的弹性环状件，所述标注机构间隔套设在所述晶棒的外侧，并且在直径缩小时可与所述晶棒的周面接触，其中，所述标注机构的内表面涂覆有标记物。
[0011]可选地，所述标注机构配置为可开合的环状件，以用于在打开时将所述晶棒放入所述第一容纳腔。
[0012]可选地，所述壳体的底面设置有调节机构，以使所述隔板可沿所述晶棒的轴向移动地设置在所述壳体的底面，其中，所述调节机构包括设置在所述壳体的底部的滑轨和设置在所述隔板下方用于与所述滑轨配合的滑块。
[0013]可选地，所述海绵垫构造为横截面为弧形或圆形的长条状，所述通孔的横截面构造为与所述海绵垫的横截面相互匹配的弧形，其中，所述通孔和所述晶棒同轴设置且所述通孔的内径与所述晶棒的外径重合。
[0014]通过上述技术方案，使用时，将晶棒放入第一容纳腔中，推动海绵垫涂抹检查油并用光源照射晶棒，借助显示器检查破损处，如此，可以避免直接将晶棒放在桌上检查容易沾灰，导致检测结果出现误差的问题，另外可以避免人手直接涂抹检查油对人体造成伤害。
[0015]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0016]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0017]图1是根据本公开示例性示出的一种晶棒检查装置的示意图。
[0018]附图标记说明
[0019]10
‑
壳体；20
‑
隔板；31
‑
第一容纳腔；32
‑
第二容纳腔；40
‑
海绵垫；50
‑ꢀ
显示器；61
‑
第二连接件；62
‑
第二摇杆；70
‑
激光笔；81
‑
第一摇杆；90
‑
标注机构；100
‑
调节机构。
具体实施方式
[0020]以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
[0021]在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词“顶”、“底”是基于相关部件实际使用的方向定义的，例如第二容纳腔的“顶部”设置有可开闭的盖板指的是第二容纳腔使用时放正后远离地面的形成面设置成可开闭的盖板；“内”、“外”是针对相应零部件的本身轮廓而言的，例如第二摇杆可从壳体“外侧”穿入指的是第二摇杆可以从壳体的外部穿过壳体的形成面进入壳体内部的容纳空间。
[0022]除此之外，在本公开中，使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。
[0023]首先，需要说明的是，晶棒指的是蓝宝石棒体，构造为细长圆柱状，用于制造蓝宝石晶片，以作为制备高温超导薄膜、红外光学材料、微电子器件等的最优质基片和衬底材料，晶棒的结构和性能为本领域技术人员所熟知，这里不作过多解释。
[0024]参照图1，本公开提供一种晶棒检查装置，包括构造为可开闭的中空结构的壳体10、用于朝向晶棒发射激光的光源、吸纳有检查油的海绵垫40、用于观察晶棒的检查部以及用于驱动海绵垫40沿晶棒的轴向运动的第一驱动部，以使海绵垫40通过下述的通孔在下述的第一容纳腔31和下述的第二容纳腔32之间运动，其中，壳体10的内部设置有具有通孔的隔板20，以将壳体10分为第一容纳腔31和第二容纳腔32，第一容纳腔31用于放置晶棒；光源设置在隔板20上；海绵垫40设置在第二容纳腔32中；检查部包括设置在第一容纳腔31内的摄像头和连接摄像头的显示器50；其中，第一驱动部还配置为驱动海绵垫40绕晶棒的轴线转动，和/或，晶棒检查装置具有用于驱动晶棒绕轴线自转的第二驱动部。这里，本公开对检查油的种类不作具体限定，可以是冬青油、八角油等，只要满足能够涂抹在晶棒周向以用于配合激光检查晶棒的破损等瑕疵即可。
[0025]首先，本公开对壳体10的形状本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶棒检查装置，其特征在于，包括：壳体(10)，构造为可开闭的中空结构，所述壳体(10)的内部设置有具有通孔的隔板(20)，以将所述壳体(10)分为第一容纳腔(31)和第二容纳腔(32)，所述第一容纳腔(31)用于放置所述晶棒；光源，设置在所述隔板(20)上，用于朝向所述晶棒发射激光；海绵垫(40)，吸纳有检查油，并设置在所述第二容纳腔(32)中；检查部，包括设置在所述第一容纳腔(31)内的摄像头和连接所述摄像头的显示器(50)；以及第一驱动部，用于驱动所述海绵垫(40)沿所述晶棒的轴向运动，以使所述海绵垫(40)通过所述通孔在所述第一容纳腔(31)和所述第二容纳腔(32)之间运动，其中，所述第一驱动部还配置为驱动所述海绵垫(40)绕所述晶棒的轴线转动，和/或，所述晶棒检查装置具有用于驱动所述晶棒绕轴线自转的第二驱动部。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第一驱动部包括第一连接件和第一摇杆(81)，所述第一连接件固定安装在所述海绵垫(40)的远离所述第一容纳腔(31)的端部，所述壳体(10)的靠近所述第一连接件的形成面设有第一贯穿孔以供所述第一摇杆(81)从所述壳体(10)外侧穿入而连接所述第一连接件。3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，所述第一贯穿孔与所述第一摇杆(81)的伸入所述第二容纳腔(32)的部分形状相匹配，以通过所述第一摇杆(81)连接所述第一连接件实现对所述海绵垫(40)的径向定位。4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第二驱动部包括第二连接件(61)和第二摇杆(62)，所述第二连接件(61)可旋转地安装在所述第一容纳腔(31)的远离所述第二容纳腔(32)的内壁上...
【专利技术属性】
技术研发人员：许永峰，宋亚滨，翟虎，陆继波，陈桥玉，潘涛，万建军，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。