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本公开涉及一种晶棒检查装置，包括：壳体，壳体的内部设置有具有通孔的隔板，将壳体分为第一容纳腔和第二容纳腔，第一容纳腔用于放置晶棒；光源，设置在隔板上，用于发射激光；海绵垫，吸纳有检查油，设置在第二容纳腔中；检查部；以及第一驱动部，用于驱动海...
该专利属于甘肃旭晶新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甘肃旭晶新材料有限公司授权不得商用。

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