一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括底座，还包括提升转运机构、拼接机构、缓冲机构、折叠机构、夹持限位机构和防尘机构，所述提升转运机构固定安装在底座底部两侧，所述拼接机构固定安装在底座外壁两侧，本实用新型专利技术通过设置有折叠机构、夹持限位机构和防尘机构，将陶瓷盘放置在置物板顶部，陶瓷盘两侧与两个夹板相抵触，使夹板带动伸缩板向内移动，从而使第二伸缩弹簧向内收缩，产生回弹力，使夹板将陶瓷盘两侧夹紧固定，更好的对陶瓷盘进行夹持限位，防止在转运过程中陶瓷盘在置物板内侧来回移动，导致晶片的掉落，影响后续的使用，同时夹板一侧的防滑垫可以更加便捷的对陶瓷盘连个进行防滑。进行防滑。进行防滑。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置


[0001]本技术涉及碳化硅晶片
，特别是涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

技术介绍

[0002]碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，碳化硅晶片在加工过程中需要进行抛光，在抛光段需要将盛放有碳化硅晶片的陶瓷盘转运到抛光机上进行抛光，一次抛光完成后需要转运进入下一个阶段，在整个抛光工序中贴有晶片的陶瓷盘需要在不同的车间进行转运。
[0003]目前使用的转运装置在使用过程中无法很好的对晶片进行防护，在转运过程中外界空气中的灰尘或颗粒会对晶片造成污染，影响晶片后续的抛光，降低了装置的使用效果。
[0004]因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本技术提供了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括底座（1），其特征在于：还包括提升转运机构（2）、拼接机构（3）、缓冲机构（4）、折叠机构（5）、夹持限位机构（6）和防尘机构（7），所述提升转运机构（2）固定安装在底座（1）底部两侧，所述拼接机构（3）固定安装在底座（1）外壁两侧，所述缓冲机构（4）固定安装在底座（1）一侧，所述折叠机构（5）固定安装在底座（1）顶部，所述折叠机构（5）包括四个分别固定安装在底座（1）顶部两侧的电动推杆（51）、固定安装在四个电动推杆（51）的伸缩端的顶板（52）、四个分别固定安装在顶板（52）底部两侧的安装块（53）、四个分别固定安装在四个安装块（53）底部的第一销轴（54）、四个分别通过第一销轴（54）与安装块（53）铰接的折叠杆（55）、固定连接在四个折叠杆（55）底部的置物板（56）、四个分别开设在置物板（56）顶部两侧的安装槽（57）和四个分别固定安装在四个安装槽（57）内侧的第二销轴（58），四个所述折叠杆（55）的底部固定连接在四个第二销轴（58）顶部，所述夹持限位机构（6）固定安装在置物板（56）内壁两侧，所述防尘机构（7）固定安装在顶板（52）外壁两侧。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述提升转运机构（2）包括四个分别固定安装在底座（1）底部两侧的地脚（21）、四个分别固定安装在四个地脚（21）内部的电动升降套杆（22）和四个分别固定安装在四个电动升降套杆（22）的底端的滚轮（23）。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述拼接机构（3）包括两个分别固定安装在底座（1）外壁两侧的合页（31）、两个分别固定安装在两个合页（31）一侧的支撑板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有群，章磊，贺贤汉，陈辉，孙大方，
申请(专利权)人：上海申和投资有限公司，
类型：新型
国别省市：