下载一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置的技术资料

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本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域,具体为一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置,包括底座,还包括提升转运机构、拼接机构、缓冲机构、折叠机构、夹持限位机构和防尘机构,所述提升转运机构固定安装在底座底部两侧,所述拼接机构固定安装在底座外壁两侧,本实用...
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