一种线槽测量辅助装置制造方法及图纸

本技术涉及硅片切割技术领域。一种线槽测量辅助装置，包括安装底座，安装底座用于可拆卸安装在绕线辊的安装法兰盘上；还包括一支撑框架、拨片以及用于引导拨片三维运动的导向机构；导向机构包括引导方向为第一直线方向的第一导轨、引导方向为第二直线方向的第二导轨以及引导方向为竖直方向的第三导轨，支撑框架上安装有第一导轨；还包括第一滑动座，滑动座上开设有与第一导轨滑动连接的导向孔；第一滑动座的中央开设有用于拨片伸出的通孔，第一滑动座上安装有第二导轨，第二导轨上滑动连接有第二滑动座；第二滑动座上开设有第三导轨；第一滑动座上安装有用于检测第二滑动座的运动位移量的传感器。实现了对错槽值的测量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片切割，具体涉及线槽测量辅助装置。

技术介绍

1、目前多线切割机已被广泛地应用于太阳能硅片加工领域中，同时由于金刚线的引入以及在太阳能硅片薄片化、大尺寸化的趋势下，对于切片设备工艺也提出了更高的要求。

2、为了改善切片过程中硅片厚度一致性差问题，多线切割线网通常会采用错槽的方式布线，然而，由于金刚线细线化和大轴距切割机的急速推广，使得在操作人员在布线过程中对于错槽值的测量存在着较大的误差，从而影响工艺的一致性，进而对硅片的切割良率产生影响。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本技术提供一种线槽测量辅助装置，已解决上述至少一个技术问题。

2、本技术的技术方案是：一种线槽测量辅助装置，其特征在于，包括安装底座，所述安装底座用于可拆卸安装在绕线辊的安装法兰盘上；

3、还包括一支撑框架、拨片以及用于引导拨片三维运动的导向机构；

4、所述导向机构包括引导方向为第一直线方向的第一导轨、引导方向为第二直线方向的第二导轨以及引导方向为竖直方向的第三导轨，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种线槽测量辅助装置，其特征在于，包括安装底座，所述安装底座用于可拆卸安装在绕线辊的安装法兰盘上；

2.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述安装底座上安装有用于磁性吸附在所述安装法兰盘上的磁性表座。

3.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述安装底座上固定有两个搭接在所述安装法兰盘的外圆周上的弧形片。

4.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述支撑框架是一矩形框架；

5.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述第二导轨包括导向杆以及导向套筒；

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【技术特征摘要】

1.一种线槽测量辅助装置，其特征在于，包括安装底座，所述安装底座用于可拆卸安装在绕线辊的安装法兰盘上；

2.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述安装底座上安装有用于磁性吸附在所述安装法兰盘上的磁性表座。

3.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述安装底座上固定有两个搭接在所述安装法兰盘的外圆周上的弧形片。

4.根据权利要求1所述的一种线槽测量辅助装置，其特征在于：所述支撑框架是一矩形框架；

5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林博洋，贺贤汉，
申请(专利权)人：上海申和投资有限公司，
类型：新型
国别省市：