下载一种线槽测量辅助装置的技术资料

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本技术涉及硅片切割技术领域。一种线槽测量辅助装置,包括安装底座,安装底座用于可拆卸安装在绕线辊的安装法兰盘上;还包括一支撑框架、拨片以及用于引导拨片三维运动的导向机构;导向机构包括引导方向为第一直线方向的第一导轨、引导方向为第二直线方向的第...
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