晶圆存储智能仓及其存取料方法技术

本发明专利技术公开了晶圆存储智能仓及其存取料方法，它涉及储料技术领域，包括多个用于放置晶圆的晶舟盒、检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；所述标签打印机用于打印标签。采用上述技术方案后，本发明专利技术能够节约人工、提高效率、降低成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
晶圆存储智能仓及其存取料方法


[0001]本专利技术涉及储料
，具体涉及晶圆存储智能仓及其存取料方法。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之半导体产品。
[0003]晶圆在未加工或加工完成后，在其上一般都会有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库时，需要对每个晶圆进行字符识别，将每个晶圆信息记录到调度系统中，然后再对其入库，需要使用晶圆时，再根据对应的订单信息取出对应的晶圆，传统的晶圆入库一般采用人工对其进行字符识别，然后人工运输送入库中，这样长期劳作下，会降低运输及入库的效率，且由于疲劳可能会出现信息记录错误，同时人工成本较高。
[0004]另外，现有的自动化储料仓，入库或出库过程基本都是一个物料入库或出库完成后，再处理下一个物料，效率比较低。
[0005]有鉴于此，本专利技术针对上述过程中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本专利技术。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种能够节约人工、提高效率、降低成本的晶圆存储智能仓及其存取料方法。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案是：
[0008]晶圆存储智能仓，其包括
[0009]多个用于放置晶圆的晶舟盒；所述晶舟盒是用于放置晶圆的载体，每个晶舟盒可放置多个晶圆，晶圆之间具有一定的间距，即方便晶圆的夹取，也可确保晶圆之间不会摩擦，保护晶圆面；所述晶舟盒的数量按需设置；
[0010]多个物料传送装置，所述物料传送装置包括存传送组件、存取物料抓取移动机构及窗口自动开闭机构，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送，所述窗口自动开闭机构用于开启或关闭智能仓，所述存取物料抓取移动机构设置在传送组件上；
[0011]检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；
[0012]所述环形轨道传输机构与所述物料传送装置对接，所述晶舟盒在通过存取物料抓取移动机构在物料传送装置和环形轨道传输机构之间传送；
[0013]所述环形轨道传输机构包括环形轨道、多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述多个物料平台设置在环形轨道上，物料平台用于放置晶舟盒；
[0014]所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；
[0015]所述标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；
[0016]多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及出入仓物料抓取移动机构，
[0017]所述换向机构用于带动晶舟盒旋转；
[0018]所述出入仓物料抓取移动机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动；
[0019]多个多层缓存巷道机，所述多层缓存巷道机与所述换向机构对接，所述多层缓存巷道机上设置有巷道、抓取机械手及缓存仓；
[0020]所述多层缓存巷道机在巷道上来回移动，
[0021]所述抓取机械手可上下移动和左右旋转及伸缩，所述抓取机械手用于将晶舟盒在换向机构和缓存仓之间传递；
[0022]货架，所述货架采用M列N层的结构设置储料位置，分布在所述多层缓存巷道机的两侧，所述货架用于存储所述晶舟盒；所述货架的数量和组合方式按需设置；
[0023]空气净化器，所述空气净化器用于净化晶圆存储智能仓内的空气；
[0024]空气洁净度检查装置，所述空气洁净度检查装置用于检测空气洁净度；
[0025]智能仓管理调度系统，所述智能仓管理调度系统与所述物料传送装置、检料仓、多层缓存巷道机、货架、标签打印机、空气净化器及空气洁净度检查装置绑定，用于晶圆存储智能仓的物料管理及存料、取料调度控制；
[0026]晶圆智能存储仓采用模块化结构，各模块可依据物料存储容量和存取效率要求，设置数量、布局方式及调度控制模式。
[0027]进一步，所述出入仓物料抓取移动机构包括立柱、气缸安装板、滑动气缸、升降气缸、夹取气缸及夹爪，所述立柱设置在工作台上，所述气缸安装板设置在立柱上，所述滑动气缸设置在气缸安装板上，所述升降气缸设置在滑动气缸上，所述夹取气缸设置在升降气缸上，所述夹爪设置在夹取气缸的两侧，所述夹爪用于夹取晶舟盒。
[0028]进一步，所述传送组件包括支撑柱、传送带，所述传送带设置在支撑柱上，所述存取物料抓取移动机构设置在传送带上，存取物料抓取移动机构用于将晶舟盒从传送带上夹取至所述环形轨道传输机构上，所述窗口自动开闭机构设置在支撑柱上，用于控制物料传送装置的料口的开和关。
[0029]进一步，所述环形轨道传输机构还包括皮带、多个皮带轮及多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动。
[0030]进一步，所述视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。
[0031]进一步，所述换向机构与出入仓物料抓取移动机构对接，所述换向机构包括底架、气缸固定板、旋转气缸、夹块及垫板，所述气缸固定板设置在底架上，所述气缸固定板上设置有旋转气缸，所述夹块设置在旋转气缸上，所述夹块上设置有垫板。
[0032]进一步，所述晶圆机械手包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂及传感器，所述支撑盘设置在控制底座上，所述两第一连接臂
的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，所述传感器设置在第三连接臂上。
[0033]进一步，所述多层缓存巷道机还包括滑动板、第一电机、立板、第一滑轨、第一滑块、滑台、第二电机、连接板，所述滑动板可滑动的设置在巷道上，第一电机驱动滑动板在巷道上滑动，立板设置在滑动板上，第一滑轨设置在立板上，第一滑块可滑动的设置在第一滑轨上，滑台设置在第一滑块上，第二电机驱动第一滑块在第一滑轨上滑动，连接板设置在滑台上；
[0034]所述缓存仓设置在滑动板上，缓存仓上间隔设置有多层料架；
[0035]所述抓取机械手设置在连接板上，所述抓取机械手包括夹手底座、夹板、第二滑轨、第二滑块、第三电机及旋转电机，所述夹手底座通过旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆存储智能仓,其特征在于：其包括多个用于放置晶圆的晶舟盒；多个物料传送装置，所述物料传送装置包括存传送组件、存取物料抓取移动机构及窗口自动开闭机构，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送，所述窗口自动开闭机构用于开启或关闭智能仓，所述存取物料抓取移动机构设置在传送组件上；检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；所述环形轨道传输机构与所述物料传送装置对接，所述晶舟盒在通过存取物料抓取移动机构在物料传送装置和环形轨道传输机构之间传送；所述环形轨道传输机构包括环形轨道、多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述多个物料平台设置在环形轨道上，物料平台用于放置晶舟盒；所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；所述标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及出入仓物料抓取移动机构，所述换向机构用于带动晶舟盒旋转；所述出入仓物料抓取移动机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动；多个多层缓存巷道机，所述多层缓存巷道机与所述换向机构对接，所述多层缓存巷道机上设置有巷道、抓取机械手及缓存仓；所述多层缓存巷道机在巷道上来回移动，所述抓取机械手可上下移动和左右旋转及伸缩，所述抓取机械手用于将晶舟盒在换向机构和缓存仓之间传递；货架，所述货架采用M列N层的结构设置储料位置，分布在所述多层缓存巷道机的两侧，所述货架用于存储所述晶舟盒；所述货架的数量和组合方式按需设置；空气净化器，所述空气净化器用于净化晶圆存储智能仓内的空气；空气洁净度检查装置，所述空气洁净度检查装置用于检测空气洁净度；智能仓管理调度系统，所述智能仓管理调度系统与所述物料传送装置、检料仓、多层缓存巷道机、货架、标签打印机、空气净化器及空气洁净度检查装置绑定，用于晶圆存储智能仓的物料管理及存料、取料调度控制。2.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述出入仓物料抓取移动机构包括立柱、气缸安装板、滑动气缸、升降气缸、夹取气缸及夹爪，所述立柱设置在工作台上，所述气缸安装板设置在立柱上，所述滑动气缸设置在气缸安装板上，所述升降气缸设置在滑动气缸上，所述夹取气缸设置在升降气缸上，所述夹爪设置在夹取气缸的两侧，所述夹爪用于夹取晶舟盒。3.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述传送组件包括支撑柱、传送带，所述传送带设置在支撑柱上，所述存取物料抓取移动机构设置在传送带上，存取物料抓取移动机构用于将晶舟盒从传送带上夹取至所述环形轨道传输机构上，所述窗口自动开闭机构设置在支撑柱上，用于控制物料传送装置的料口的开和关。4.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述环形轨道传输机构还包括
皮带、多个皮带轮及多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动。5.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。6.根据权利要求1所述的晶圆存储智能仓，其特征在于：所述换向机构与出入仓物料抓取移动机构对接，所述换向机构包括底架、气缸固定板、旋转气缸、夹块及垫板，所述气缸固定板设置在底架上，所述气缸固定板上设置有旋转气缸，所述夹块设置在旋转气缸上，所述夹块上设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾琦，
申请(专利权)人：厦门宏泰智能制造有限公司，
类型：发明
国别省市：