【技术实现步骤摘要】
碳化硅晶片抛光用的制备装置
[0001]本技术属于硅晶片抛光相关
,具体涉及碳化硅晶片抛光用的制备装置。
技术介绍
[0002]碳化硅在大自然也存在罕见的矿物。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。碳化硅晶片在加工过程中需要经过抛光程序,进而需要抛光设备对其表面进行抛光处理,以保证平整度与光滑度。
[0003]通过在CN201920990419.4公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置,包括工作台,所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板,且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆,所述工作台顶部外壁开设有安装槽,且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱,该装置通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片,抵紧板在晶片底部抵紧晶片,避免晶片在打磨过程中发生位移,解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。
[0004]现有的碳化硅晶片抛光制备装置技术存在以下问题:现有的碳化硅晶片抛光制备装置在使用过程中, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.碳化硅晶片抛光用的制备装置,包括加工机台(2)以及固定在加工机台(2)顶面两侧的支撑杆(1),所述支撑杆(1)的顶端固定连接有导轨(3),所述导轨(3)上滑动设置有电动滑座(4),所述电动滑座(4)的底面安装有抛光设备(5),其特征在于:所述加工机台(2)的顶面中心位置固定连接有用于放置晶片的放置盘(6),所述放置盘(6)的两侧对称设置有两个夹壳(7),所述加工机台(2)的内侧设置有用于驱使两个夹壳(7)夹固晶片的驱动机构(9),所述夹壳(7)的两端设置有用于顶紧晶片的顶压组件(10)。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶片抛光用的制备装置,其特征在于:所述驱动机构(9)包括电机(91),所述电机(91)固定安装在加工机台(2)的一侧,所述电机(91)的输出端固定连接有丝杆(92),所述丝杆(92)的外壁上设有两段螺纹方向相反的螺纹段,所述丝杆(92)的两端外侧套设有螺纹套(93),两个所述螺纹套(93)分别与两段螺纹段螺纹连接。3.根据权利要求2所述的碳化硅晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:高中伟,常杰,张静娜,高增禄,
申请(专利权)人:新郑市宝德高技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。