一种蚀刻设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蚀刻设备，包括：蚀刻仓、设置于蚀刻仓内的圆筒管道、多个玻璃基板固定组件以及多个防酸喷头；多个玻璃基板固定组件环绕分布设置在圆筒管道外表面，所述玻璃基板固定组件由防酸支架、防酸管以及防酸夹具组成，所述防酸管一端固定安装在圆筒管道外表面，另一端与防酸支架活动连接，防酸夹具设置在防酸支架上，用于将玻璃基板固定在防酸支架上；所述多个防酸喷头均匀分布设置在蚀刻仓内壁与圆筒管道外表面，用于喷淋蚀刻液。本实用新型专利技术提出的蚀刻设备能够保证蚀刻的玻璃基板具有高品质及高平整度，并且能够减少蚀刻液的浪费，节省蚀刻成本。节省蚀刻成本。节省蚀刻成本。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻设备


[0001]本技术涉及蚀刻领域，特别涉及一种蚀刻设备。

技术介绍

[0002]可折叠手机的盖板玻璃需要用到极薄的Ultra Thin Glass(简称为UTG，该材料解决了当前的盖板材料CPI存在的问题)，Ultra Thin Glass类产品要求精密且均匀的玻璃厚度和表面品质，玻璃厚度需保证在0.1mm以下。现在市面上制造薄玻璃使用的装置设备，是先将玻璃基板固定在篮具，将篮具只按照进行方向的左右移动进行蚀刻。
[0003]这时由于玻璃基板的厚度较厚，当玻璃蚀刻量增多时，由从上往下流动的溶液和因蚀刻溶液的喷射压力偏差造成的各区域蚀刻条件不同，最终导致厚度偏差增高、表面品质低下等缺点。因此，需要制定出均匀蚀刻玻璃的蚀刻喷淋装置方案，才能够有效提升蚀刻良率及产能。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，提供了一种蚀刻设备，能够确保玻璃基板每个角落的蚀刻均匀性，有效提升蚀刻良率及产能。
[0005]本技术采用的技术方案如下：一种蚀刻设备，包括：蚀刻仓、设置于蚀刻仓内的圆筒管道、多个玻璃基板固定组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻设备，其特征在于，包括：蚀刻仓(1)、设置于蚀刻仓(1)内的圆筒管道(2)、多个玻璃基板固定组件以及多个防酸喷头(7)；多个玻璃基板固定组件环绕分布设置在圆筒管道(2)外表面，所述玻璃基板固定组件由防酸支架(4)、防酸管(3)以及防酸夹具(5)组成，所述防酸管(3)一端固定安装在圆筒管道(2)外表面，另一端与防酸支架(4)活动连接，防酸夹具(5)设置在防酸支架(4)上，用于将玻璃基板(8)固定在防酸支架(4)上；所述多个防酸喷头(7)均匀分布设置在蚀刻仓(1)内壁与圆筒管道(2)外表面，用于喷淋蚀刻液。2.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述防酸支架(4)通过防酸转轴(6)实现与防酸管(3)的活动连接。3.根据权利要求2所述的蚀...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌洁，
申请(专利权)人：成都拓米智能系统技术有限公司，
类型：新型
国别省市：