多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法技术

本发明专利技术涉及晶圆封装技术领域，尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理，将晶圆送入到对准工位中，进行扫码对准，再将位置对准后的晶圆搬运至对应的点胶机进行点胶作业，点胶作业完成后，搬运设备将晶圆取走送入冷却工位，对该晶圆进行冷却处理，冷却完成后搬运设备将晶圆取走，送入到原料盒装载工位的料盒内的出料层，完成作业。两个料盒装载工位通过搬运设备交叉输送晶圆时互不影响，两个料盒装载工位分别装载两种或一种不同工艺的晶圆，作业方式更灵活；料盒装载工位可绑定1～4台点胶机，多工位点胶机可进行连续的作业不中断、不出现空工位，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法


[0001]本专利技术涉及晶圆封装
，尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。

技术介绍

[0002]点胶机作为一种新型的自动化设备，主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。
[0003]现有的晶圆输送点胶机作业存在以下缺点：1、这种设备价格高，同一时间只能执行一个工艺，因此，该作业方式不灵活，作业时非常容易出现工位空缺需等待工件的情况，效率低下，导致作业效率严重下降，影响工期；2、加工过程中当其中一台点胶机工位突发异常时，其状态由等待进料变为异常，形成晶圆的滞留，进而对整个生产流程影响。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种两个料盒装载工位通过搬运设备交叉输送晶圆时互不影响，采用该双料盒的晶圆输送交叉作业的控制方法，两个料盒装载工位分别装载两种或一种不同工艺的晶圆，作业方式更灵活，工作效率高的多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，其特征在于：所述多工位点胶机包括：控制器：用于接收、判断、发出所有工位的工作指令；搬运设备（2）：用于向各工位取/送晶圆，并保证在运动过程中晶圆的安全；料盒装载工位：分为第一料盒装载工位（3）和第二料盒装载工位（4），用于放置料盒，为搬运设备（2）供料，并将作业完成的晶圆收回料盒；预热工位（5）：用于对晶圆进行预热，并打开真空吸附；对准工位（6）：用于对晶圆进行对中操作，找到槽口，并扫描晶圆编号；冷却工位（7）：用于对完成作业的晶圆进行冷却降温，冷却完成后送回料盒；多台点胶机：用于进行点胶作业；所述多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，包括以下步骤：S1：将料盒放置在对应的料盒装载工位上，每个料盒装载工位可根据作业需要绑定对应的点胶机（1），两个料盒装载工位绑定的点胶机为互斥设置，按下料盒装载按钮，控制器上即可显示每个料盒装载工位所绑定的点胶机（1）；S2：料盒装载工位开始载入料盒，确认点胶机（1）的工艺配方与该批次料盒装载工位上的晶圆所需的工艺匹配，即可开始正常作业，同一时间，只能进行一个料盒装载工位的载入动作；S3：控制器通知搬运设备开始作业，搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理，控制器通知预热工位作业，预热一定时间后，晶圆预热完成，预热工位反馈控制器；S4：控制器通知搬运设备，将步骤S3得到的晶圆送入到对准工位（6）中，并通知控制器，控制器通知对准工位（6）作业，对该晶圆进行扫码对准，并通知控制器；S5：点胶机进料准备就绪，控制器通知搬运设备（2），将对步骤S4得到的晶圆搬运至对应的点胶机（1），并通知控制器，控制器通知该点胶机（1）进行点胶作业，点胶作业完成，处于可以出料的状态，点胶机（1）通知控制器；S6：控制器通知搬运设备（2），搬运设备（2）将步骤S5得到的晶圆取走送入冷却工位（7），并通知控制器，控制器通知冷却工位（7）作业，对该晶圆进行冷却处理，冷却完成后通知控制器；S7：控制器通知搬运设备（2），搬运设备（2）将步骤S6得到的晶圆取走，并送入到原料盒装载工位的料盒内的出料层，完成作业。2.根据权利要求1所述的多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，其特征在于：还包括步骤S8临时工位（8），用来临时存放流转异常的晶圆，当点胶机（1）突发异常，导致搬运设备（2）中已经为该点胶机准备的晶圆无法正常输送时，将该晶圆从当前工位取出后，放入临时工位（8）。3.根据权利要求1所述的多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，其特征在于：所述的步骤S1包括以下步骤：S100：第一料盒装载工位（3）和第二料盒装载工位（4）绑定流程开始；S101：控制器判断第一料盒装载工位（3）绑定点胶机是否进料就绪，若是，则进入下一步骤S102，判断第一料盒是否有料；若否，则进入下一步骤S103，判断第二料盒装载工位（4）
绑定点胶机是否进料就绪；S102：控制器判断第一料盒是否有料，若是，则执行第一料盒的晶圆搬运决策，若否，则进入下一步骤S203；S103：控制器判断第二料盒装载工位（4）绑定点胶机（1）是否进料就绪，若是，则进入下一步骤S104，判断第二料盒是否有料，若否，则返回步骤S101，重新判断第一料盒装载工位（3）绑定点胶机（1）是否进料就绪；S104：控制器判断第二料盒是否有料，若是，则执行第二料盒的晶圆搬运决策，若否，则返回步骤S101，重新判断第一料盒装载工位（3）绑定点胶机（1）是否进料就绪。4.根据权利要求1所述的多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，其特征在于：所述的步骤S2包括以下步骤：S300：当料盒放置在第一料盒装载工位（3）开始载入时，用户确认点胶机（1）配方正确，即可开始正常作业流程；S301：控制器判断第二料盒装载工位（4）是否正在载入，若是，则提示用户等待第二料盒装载工位（4）载入完成；若否，确认第二料盒装载工位（4）中料盒内的生产配方；S302：控制器判断绑定第二料盒装载工位的点胶机的配方是否正确，若是，扫描料盒中的晶圆；若否，提示用户禁止载入；S303：控制器判断料盒中晶圆是否正常，若是，载入完成晶圆开始流转；若否，提示用户卸载料盒；S304：控制器判断料盒中晶圆是否全部作业完成，若是，提示用户卸载料盒，流程结束；若否，等待作业完成，然后循环步骤S304的判断。5.根据权利要求1所述的多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法，其特征在于：所述的步骤S3包括以下步骤：S400：预热工位开始流程启动；S401：控制器判断是否有点胶机（1）进料就绪，若是，则进入下一步骤S402，若否，则进入下一步骤S408，判断搬运设备（2）的两个机械手是否均空闲，S402：控制器判断对准工位（6）是否有料，若是，则控制器则决策其它动作，若否，进入下一步骤S403；S403：控制器判断任一搬运设备（2）的机械手是否空闲，若是，则进入下一步骤S404，若否，控制器则决策其它动作；S404：控制器判断预热工位（5）是否有料，若是，则进入下一步骤S405，若否，则进入下一步骤S410；S405：控制器判断S404中预热的晶圆与该点胶机（1）是否对应，若是，则进入下一步骤S406，等待晶圆预热完成，若否，则控制器则决策其它动作；S406：控制器判断预热工位（5）...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲东升，苗虎，王江坤，李长峰，周典虬，郜福亮，丁波，刘枭枭，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：