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本发明涉及晶圆封装技术领域,尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理,将晶圆送入到对准工位中,进行扫码对准,再将位置对准后的晶圆搬运至对应的点胶机进行点胶作业,点胶...该专利属于常州铭赛机器人科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州铭赛机器人科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及晶圆封装技术领域,尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理,将晶圆送入到对准工位中,进行扫码对准,再将位置对准后的晶圆搬运至对应的点胶机进行点胶作业,点胶...