一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置及处理方法制造方法及图纸

技术编号:34520006 阅读:62 留言:0更新日期:2022-08-13 21:09
本发明专利技术公开了一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置及处理方法,包括生产桶体和检测瓶,所述生产桶体的底部设置有用于保护的处理腔体,所述处理腔体的外壁开设有用于传动的转动口和用于安装的安装槽,所述转动口的内部设置有用于驱动的传动组件,所述处理腔体的内壁开设有槽口,所述处理腔体的外壁且靠近生产桶体的内部设置有用于排出气体的排气组件,通过第一夹持组件的作用使得检测瓶推动推杆,进而使得安装组件将检测瓶进行固定,此时手握把手将安装桶从安装槽的内部拿出,进而得到了气体收集完成后的检测瓶,气体取样工作均在处理腔体的内部进行,进而提高了气体取样分析测定过程的安全性,同时操作简单,转动三次传动组件即可完成气体取样工作。即可完成气体取样工作。即可完成气体取样工作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置及处理方法


[0001]本专利技术涉及六氟丁二烯生产检测
,具体为一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置及处理方法。

技术介绍

[0002]六氟丁二烯在工业上有多方面的应用,不仅是制备多种含氟高分子弹性材料聚六氟丁二烯的单体,还是一种温室效应极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,其比传统等离子蚀刻气体的蚀刻选择性更高,进而近年来,六氟丁二烯在半导体行业蚀刻工艺中的市场需求量持续增长。
[0003]在六氟丁二烯的生产过程中,需要对其进行分析测定,但是六氟丁二烯在取样的过程中,容易出现泄漏的问题,当六氟丁二烯气体散发时,会对黏膜有轻度刺激作用,具有窒息性,同时皮肤接触液体会引起冻伤,当浓度高时,可引起视力模糊、眼鼻刺激加重和麻醉感,在高浓度下暴露25分钟以上会导致死亡。
[0004]为此,提出一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置及处理方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置及处理方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置,包括生产桶体(1)和检测瓶(62),其特征在于:所述生产桶体(1)的底部设置有用于保护的处理腔体(2),所述处理腔体(2)的外壁开设有用于传动的转动口(3),所述处理腔体(2)的外壁开设有用于安装的安装槽(48),所述转动口(3)的内部设置有用于驱动的传动组件,所述处理腔体(2)的内壁开设有槽口(9),所述处理腔体(2)的外壁且靠近生产桶体(1)的内部设置有用于排出气体的排气组件,所述槽口(9)的底部固定连接有用于稳定滑动第一稳定板(17),所述第一稳定板(17)的内部设置有用于收集的升降平台(18),所述升降平台(18)的内部开设有弹簧槽(19),所述弹簧槽(19)的内部固定连接有第二弹簧(20),所述第二弹簧(20)的底部与处理腔体(2)的内壁固定连接,所述升降平台(18)的内侧开设有用于稳定升降的传动槽(21),所述传动槽(21)的内壁开设有用于稳定滑动的第一稳定槽(22),所述升降平台(18)的外侧设置有拿取机构,所述拿取机构包括摆动组件、第一夹持组件、固定组件和第二夹持组件,所述安装槽(48)的内部活动安装有用于固定夹持的安装组件,所述检测瓶(62)的内部设置有用于保存气体的封堵组件。2.根据权利要求1所述的一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置,其特征在于:所述传动组件包括转动轴(4)、转把(5)、轴承块(6)、稳定套筒(7)、齿轮(8)和凸齿(23),所述转动口(3)的内部转动连接有用于传动的转动轴(4),所述转动轴(4)转动连接在传动槽(21)的内部,所述转动轴(4)的外壁固定连接有用于稳定的凸块,所述凸块活动连接在第一稳定槽(22)的内部,所述转把(5)固定安装在转动轴(4)的外侧,所述生产桶体(1)的外壁固定连接有用于稳定转动的轴承块(6),所述转动口(3)的外壁与轴承块(6)的内壁固定连接,所述处理腔体(2)的内壁通过螺栓固定连接有用于稳定转动的稳定套筒(7),所述转动口(3)的外壁固定连接有用于传动的齿轮(8),所述凸齿(23)固定安装在升降平台(18)的外侧,所述齿轮(8)的外壁与凸齿(23)相互啮合。3.根据权利要求1所述的一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置,其特征在于:所述排气组件包括接收管(10)、第一弹簧(11)、第一活塞块(12)、活动孔(13)、支撑杆(14)、抵板(15)和出气头(16),所述接收管(10)通过螺栓固定安装在处理腔体(2)的外壁,所述第一弹簧(11)固定连接在接收管(10)的内部,所述第一活塞块(12)固定连接在第一弹簧(11)的顶部,所述第一活塞块(12)活动连接在接收管(10)的内部,所述第一活塞块(12)的中部贯穿开设有用于气体流通的活动孔(13),所述支撑杆(14)的上端固定连接在接收管(10)的内壁,所述支撑杆(14)的下端活动连接在活动孔(13)的内部,所述支撑杆(14)的底部固定连接有用于控制气体流通的抵板(15),所述抵板(15)的上表面与第一活塞块(12)的下表面相互抵接,所述第一活塞块(12)的底部固定连接有用于气体排放的出气头(16)。4.根据权利要求1所述的一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置,其特征在于:所述摆动组件包括第一固定板(24)、第二固定板(25)、摆动板(26)、推拉板(27)和摆动块(28),所述第一固定板(24)对称安装在第一稳定板(17)的外壁,所述第二固定板(25)对称安装在升降平台(18)的外壁,两个所述第一固定板(24)的内侧均转动连接有用于摆动的摆动板(26),两个所述第二固定板(25)的内侧均转动连接有用于推拉支撑的推拉板(27),两个所述推拉板(27)的上端均与摆动板(26)的内侧转动连接,所述摆动块(28)固定安装在两个摆动板(26)的上端。5.根据权利要求4所述的一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置,其特征在于:所述
第一夹持组件包括第二稳定槽(29)、第三弹簧(30)、第一夹持块(31)和第二稳定板(32),所述摆动块(28)的外壁开设有用于稳定运动的第二稳定槽(29),所述第三弹簧(30)对称安装在摆动块(28)的内侧,两个所述第三弹簧(30)的内侧均固定连接有用于夹持的第一夹持块(31),两个所述第一夹持块(31)的外侧均固定连接有用于稳定运动的第二稳定板(32),所述第二稳定板(32)活动连接在第二稳定槽(29)的外壁。6.根据权利要求1所述的一种用于六氟丁二烯生产的分析测定装置,其特征在于:所述固定组件包括凸台(33)、第一活动槽(34)、第四弹簧(35)、活动体(36)、稳定杆(37)、第一卡槽(38)、第一卡杆(39)、第五弹簧(40)和推块(41),所述凸台(33)固定安装在升降平台(18)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱军伟周文平张前臻郑南辉张奎
申请(专利权)人:福建省杭氟电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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