光接收元件和光接收装置制造方法及图纸

根据本公开的光接收元件从光入射侧开始包括线栅偏振元件、波长选择装置60和光电转换部。波长选择装置60包括多个波长选择构件61A和61B。由等离子滤波器构成的波长选择构件61A和61B透射具有不同波长的光。和61B透射具有不同波长的光。和61B透射具有不同波长的光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光接收元件和光接收装置


[0001]本公开涉及光接收元件和包括多个光接收元件的光接收装置。

技术介绍

[0002]例如，如JP 2018
‑
098343A中所公开的，包括光入射侧的线栅偏振元件，等离子滤波器和光电转换部的成像元件是众所周知的。具体地，专利公开的第【0201】段公开了线栅型偏振器301可内置到成像元件12D中，并且因此可被配置为层压在层间膜102的上层上，该层间膜102层压在等离子滤波器121上，如专利公开的图29中所示。
[0003][引用列表][0004][专利文献][0005][专利文献1][0006]JP 2018
‑
098343A

技术实现思路

[0007][技术问题][0008]但是，没有公开一个成像元件能够接收多个波长的光的结构，或者能够接收宽波段的光的结构。
[0009]因此，本公开的目的是提供一种光接收元件，该光接收元件具有能够接收具有多个波长的光的配置或结构并且具有接收多个波长的光的配置或结构，以及提供一种包括多个光接收元件的光接收装置。
[0010][问题的解决方案][0011]用于实现上述目的的本公开的光接收元件包括：
[0012]从光入射侧开始的线栅偏振元件，波长选择装置和光电转换部，
[0013]其中，波长选择装置包括多个波长选择构件，以及
[0014]由等离子滤波器构成的波长选择构件透射不同波长的光。
[0015]用于实现上述目的的本公开的光接收装置包括：
[0016]多个光接收元件单元，每个光接收元件单元由多个光接收元件构成，
[0017]其中，构成每个光接收元件单元的光接收元件中的每一个从光入射侧开始包括线栅偏振元件，波长选择装置和光电转换部，
[0018]波长选择装置包括多个波长选择构件，以及
[0019]由等离子滤波器构成的波长选择构件透射不同波长的光。
附图说明
[0020]图1是沿图2和图3中的箭头A
‑
A截取的示例1中的光接收装置的示意性局部截面图。
[0021]图2是包含在构成示例1中的光接收装置中的光接收元件单元的四个光接收元件
中的线栅偏振元件的示意性平面图。
[0022]图3是包含在构成示例1中的光接收装置中的光接收元件单元的光接收元件中的波长选择装置的示意性平面图。
[0023]图4A是示出构成示例1中的光接收装置中的光接收元件单元的四个光接收元件中所包括的线栅偏振元件的排列的概念平面图，以及图4B是示出波长选择装置的排列的概念平面图。
[0024]图5是示出构成示例1中的光接收装置中的光接收元件单元的四个光接收元件中所包括的光电转换部的排列的概念平面图。
[0025]图6是构成本公开的光接收元件的线栅偏振元件的示意性透视图。
[0026]图7是根据线栅偏振元件的变形例的示意性透视图。
[0027]图8A和图8B是线栅偏振元件的示意性局部截面图。
[0028]图9A和图9B是线栅偏振元件的示意性局部截面图。
[0029]图10是沿着图2和图3中的箭头A
‑
A截取的示例1中的光接收装置的变形例的示意性局部截面图。
[0030]图11是示例1的光接收装置(固态成像装置)中的光电转换部的等效电路图。
[0031]图12是在由等离子共振体构成的等离子滤波器中获得等离子异常透射现象(表面等离子共振体)中的激发波长与第二方向上相邻孔的孔间距P
HL
之间的关系的图，所述等离子共振体由其中在第二方向上设置了孔组的基板构成。
[0032]图13A是示出包含在构成示例2中的光接收装置中的光接收元件组的四个光接收元件中的线栅偏振元件的排列的概念平面图，以及图13B是示出波长选择装置的排列的概念平面图。
[0033]图14是示出包括在构成示例2中的光接收装置中的光接收元件组的四个光接收元件中的光电转换部的排列的概念平面图。
[0034]图15是构成示例3的光接收装置中的光接收元件单元的光接收元件中包含的波长选择装置的示意性平面图。
[0035]图16是构成示例4的光接收装置中的光接收元件单元的光接收元件中所包含的波长选择装置的示意性平面图。
[0036]图17A，图17B，图17C和图17D是用于示出制造构成本公开的光接收装置的线栅偏振元件的方法的基底绝缘层等的示意性局部截面图。
[0037]图18是在本公开的光接收装置应用于固态成像装置的情况下的固态成像装置的概念图。
[0038]图19是作为应用本公开的光接收装置的固态成像装置的电子设备(相机)的概念图。
[0039]图20是示出了车辆控制系统的示意性配置的示例的框图。
[0040]图21是示出车外信息检测单元及成像单元的安装位置的示例图。
[0041]图22是示出内窥镜手术系统的示意性配置的示例图。
[0042]图23是示出摄像机头和CCU的功能配置的示例的框图。
[0043]图24是示出穿过线栅偏振元件等的光的概念图。
具体实施方式
[0044]在下文中，将参考附图基于示例描述本公开。然而，本公开不限于这些示例，并且示例中的各种数值和材料是示例。将按照以下顺序给出描述。
[0045]1.本公开的光接收元件和本公开的光接收装置的总体描述
[0046]2.示例1(本公开的光接收元件和光接收装置)
[0047]3.示例2(示例1的变形例)
[0048]4.示例3(示例1和示例2的变形例)
[0049]5.示例4(示例1和示例2的另一变形例)
[0050]6.示例5(示例1至示例4的光接收装置的应用示例)
[0051]7.其他
[0052]<本公开的光接收元件和本公开的光接收装置的总体描述>
[0053]可以采用线栅偏振元件被配置为使得带状层压结构(稍后描述)延伸的方向与用于消光的偏振方向一致，以及带状层压结构重复的方向与透射的偏振方向一致的模式。即，光反射层具有作为偏振器的功能，衰减入射在线栅偏振元件上的光之中的在平行于层压结构的延伸方向的方向上具有电场分量的偏振波(TE波/S波和TM波/P波中的任一个)，以及传输在与所述层压结构的延伸方向(所述带状层压结构的重复方向)正交的方向上具有电场分量的偏振波(TE波/S波和TM波/P波中的另一个)。即，层压结构的延伸方向是线栅偏振元件的光吸收轴，而正交于层压结构的延伸方向的方向是线栅偏振元件的光透射轴。为了方便起见，带状层压结构(即，构成线和空间结构的布线部)的延伸方向(线栅偏振元件的光吸收轴)可以被称为“第一方向”，以及为了方便起见，带状层压结构(布线部)的重复方向(与带状层压结构的延伸方向正交的方向，和线栅偏振元件的光透射轴)可以被称为“第二方向”。
[0054]由稍后描述的角度α与第二方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光接收元件，包括：从光入射侧开始的线栅偏振元件、波长选择装置、以及光电转换部，其中，所述波长选择装置包括多个波长选择构件，以及由等离子滤波器构成的所述波长选择构件中的每一个透射不同波长的光。2.根据权利要求1所述的光接收元件，其中，每个波长选择构件由周期性结构构成，以及所述周期性结构包括基板和设置在所述基板中的多个孔。3.根据权利要求2所述的光接收元件，其中，当所述线栅偏振元件的光吸收轴被设置为第一方向、并且所述线栅偏振元件的光透射轴被设置为第二方向时，所述多个孔的排列方向平行于所述第二方向。4.根据权利要求3所述的光接收元件，其中，孔组由排列在所述第二方向上并且构成每个波长选择构件的所述多个孔构成，并且多个所述孔组排列在所述第一方向上。5.根据权利要求4所述的光接收元件，其中，构成每个波长选择构件的孔组交替地排列在所述第一方向上。6.根据权利要求1所述的光接收元件，其中，每个波长选择构件由周期性结构构成，以及所述周期性结构包括基底层、设置在所述基底层上的点、以及设置在所述基底层上并且填充在所述点之间的介电材料。7.根据权利要求6所述的光接收元件，其中，当所述线栅偏振元件的光吸收轴被设置为第一方向、并且所述线栅偏振元件的光透射轴被设置为第二方向时，多个所述点的排列方向平行于所述第二方向。8.根据权利要求7所述的光接收元件，其中，点组由排列在所述第二方向上并且构成每个波长选择构件的多个所述点构成，并且多个所述点组排列在所述第一方向上。9.根据权利要求8所述的光接收元件，其中，构成每个波长选择构件的所述点组交替地排列在所述第一方向上。10.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋山久志，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：